LED晶粒扫瞄与点测的运作系统及运作方法技术方案

一种LED晶粒扫瞄与点测的运作系统及运作方法，用于检测自晶圆承载装置输出的LED晶粒载具上的LED晶粒，该LED晶粒扫瞄与点测的运作系统包括一输送带、一组用于搬运LED晶粒载具的汲取装置、至少一个设置于该输送带任一侧的扫描装置及一个以上设置于该输送带任一侧上的LED晶粒点测装置，而该输送带将该LED晶粒载具运送进入该扫描装置内时，会对该LED晶粒载具上的晶粒进行坐标扫描与储存，之后，会再由该输送带将该LED晶粒载具运送进入任一LED晶粒点测装置，以对该LED晶粒载具上的晶粒进行点测。本发明专利技术能够将晶粒扫描与晶粒点测流程一致化，不再需要人工进行搬运，可大幅提升晶粒点测的效率，节省制造成本与人力成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术关于一种LED晶粒扫瞄与点测的运作系统及运作方法，尤其是一种自动化检测系统，于该系统中能一并进行晶粒扫瞄与点测该晶圆承载装置所输出的LED晶粒载具上的LED晶粒。
技术介绍
在进行测试LED晶圆时，会先使用晶圆扫瞄设备(如扫描机、自动化光学设备) 进行各晶粒坐标的晶圆扫瞄，以便产生以绝对坐标确认晶粒分布资料，之后，再对LED晶粒进行点测以取得各晶粒的电性、光学特性、外观等晶粒属性资料并加以分级，用以能够检查出LED晶圆的晶粒的优劣，以便提高产品的品质。然而，目前现有的其中一种实施方式是将LED晶圆由晶圆扫瞄设备对晶粒进行坐标扫瞄后，必须由人力搬运的方式将扫描过晶圆的晶圆承载装置搬运至点测设备，才能够开始对LED晶粒进行测试，而人工搬运的方式造成效率低落，因此目前的晶粒扫描与晶粒点测仍然有很大的问题必须解决；因此，若能够将晶粒扫描与晶粒点测同时运作于同一系统中，并利用自动化将晶粒扫描后的晶圆运送至晶粒点测设备中，将晶粒扫描与晶粒点测流程一致化，如此将不再需要人工搬运，即可大幅提升晶粒点测的效率，同时亦可节省因人力所造成的制造成本与人力成本，为一最佳解决方案。
技术实现思路
本专利技术的目的即在于提供一种LED晶粒扫瞄与点测的运作系统及运作方法，能够将晶圆承载装置所输出的LED晶粒载具上的LED晶粒，一并于本系统中自动进行LED晶粒扫瞄与LED晶粒点测的流程。本专利技术的再一目的在于提供一种结合扫描及测试的一对多的点测系统，将原本不对称的扫描及点测时间，透过多点测试站的设置，消化原本扫描流程时间过快、点测时间过久问题，而取得两者作业时间的平衡。可达成上述专利技术目的的LED晶粒扫瞄与点测的运作系统及运作方法，用于检测自晶圆承载装置输出的LED晶粒载具上的LED晶粒，该LED晶粒扫瞄与点测的运作系统包括一输送带、一组可于该晶圆承载装置及输送带位置之间作动的汲取装置、至少一个设置于该输送带任一侧的扫描装置及一个以上设置于该输送带任一侧上的LED晶粒点测装置，而该输送带将该LED晶粒载具搬运进入该扫描装置内时，会对该LED晶粒载具上的晶粒进行坐标扫描与储存，之后，该LED晶粒载具经过坐标扫描后，由该输送带将该LED晶粒载具运送进入任一 LED晶粒点测装置，以对该LED晶粒载具上的晶粒进行点测。更具体的说，所述LED晶粒扫瞄与点测的运作系统具有一与该输送带及该LED晶粒点测装置相连接的控制单元，该控制单元用于控制该LED晶粒载具送入任一 LED晶粒点测装置；另外该LED晶粒点测装置内具有至少一个空片检测元件，用以判断该LED晶粒点测装置内是否已载入LED晶粒载具，并将判断讯号回传至该控制单元。更具体的说，所述LED晶粒 载具上具有三个识别标记，由该扫描装置对该LED晶粒载具的识别标记进行坐标扫描与储存，作为点测前对位之用。更具体的说，所述输送带包含有至少一组横向移动轨道及至少一组纵向移动轨道，以使该输送带所搬运的LED晶粒载具能够进行横向或是纵向移动。更具体的说，所述晶圆承载装置为晶圆片匣、晶圆片盒等等能够承载LED晶粒载具的容器。另外，本专利技术除了使用输送带搬运LED晶粒载具之外，亦能够使用拾取臂的方式搬运LED晶粒载具，因此该LED晶粒扫瞄与点测的运作系统亦可包括有一用以提供摆放具有多个LED晶粒载具的进料区、一用以提供摆放具有多个完测LED晶粒载具的出料区，至少一个扫描装置、一组用以搬移LED晶粒载具于进料区、出料区及扫描装置之间的拾取臂、一个以上的LED晶粒点测装置，因此当拾取臂使该LED晶粒载具运送进入该扫描装置内，即会对该LED晶粒载具上的晶粒进行坐标扫描与储存，之后，该LED晶粒载具经过该扫描装置坐标扫描后、于搬运至出料区之前，由该拾取臂将该LED晶粒载具运送进入任一 LED晶粒点测装置，以对该LED晶粒载具上的晶粒进行点测。更具体的说，所述LED晶粒扫瞄与点测的运作系统具有一与该拾取臂及该LED晶粒点测装置相连接的控制单元，该控制单元用于控制该LED晶粒载具送入任一 LED晶粒点测装置；另外该LED晶粒点测装置内具有至少一个空片检测元件，用以判断该LED晶粒点测装置内是否已载入LED晶粒载具，并将判断讯号回传至该控制单元。更具体的说，所述LED晶粒载具上具有三个识别标记，由该扫描装置对该LED晶粒载具的识别标记进行坐标扫描与储存，作为点测前对位之用。更具体的说，所述晶圆承载装置为晶圆片匣、晶圆片盒等等能够承载LED晶粒载具的容器。另外，本专利技术LED晶粒扫瞄与点测的运作方法，用于检测自晶圆承载装置输出的 LED晶粒载具上的LED晶粒，其主要步骤为(1)由汲取装置将晶圆承载装置上的一 LED晶粒载具移动至输送带上；(2)该输送带将该LED晶粒载具运送至该扫描装置中，以对该LED晶粒载具上的晶粒进行坐标扫描与储存，并汇出一组对应该LED晶粒载具上晶粒位置的坐标讯息；以及(3)将LED晶粒载具移出该扫描装置，由该输送带将该LED晶粒载具运送进入任一 LED晶粒点测装置，并将该组对应该LED晶粒载具上晶粒位置的坐标讯息汇入该LED晶粒点测装置，藉以对该LED晶粒载具上的晶粒进行点测。更具体的说，所述LED晶粒载具移动至输送带之前，会将LED晶粒载具的一识别标记进行坐标扫描与储存，以做为进入任一 LED晶粒点测装置对位之用。更具体的说，所述LED晶粒载具搬运至该扫描装置后，先判断LED晶粒载具的识别标记坐标，若确认无误，才会开始进行晶粒坐标的扫描。更具体的说，所述LED晶粒载具搬运至该LED晶粒点测装置后，会先判断LED晶粒载具的识别标记坐标，若确认无误，才会开始进行点测该LED晶粒载具上的晶粒。本专利技术所提供的一种LED晶粒扫瞄与点测的运作系统及运作方法，与其他习用技术相互比较时，更具备下列优点本专利技术能够将晶圆承载装置所输出的LED晶粒载具上的LED晶粒，一并于本系统中自动进行LED晶粒扫瞄与LED晶粒点测的流程，因此将可自动化将晶粒扫描后的晶圆运送至晶粒点测设备中，将晶粒扫描与晶粒点测流程一致化。本专利技术于LED晶粒扫瞄与LED晶粒点测过程中将不再需要人工进行搬运，因此可大幅提升晶粒点测的效率，同时亦可节省因人力所造成的制造成本与人力成本。附图说明图IA至图IF为本专利技术LED晶粒扫瞄与点测的运作系统及运作方法的第一实施例图；图2为本专利技术LED晶粒扫瞄与点测的运作系统及运作方法的运作流程图；以及图3A至图3F为本专利技术LED晶粒扫瞄与点测的运作系统及运作方法的第二实施例图。具体实施例方式有关于本专利技术的前述及其他
技术实现思路
、特点与功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。请参阅图IA至图1F，为本专利技术一种LED晶粒扫瞄与点测的运作系统及运作方法的第一实施例图，该LED晶粒扫瞄与点测的运作系统用以检测自晶圆承载装置1输出的LED 晶粒载具2上的LED晶粒21，如图IA所示，一组位于该晶圆承载装置1及输送带4位置之间作动的汲取装置3，能够由该晶圆承载装置1内吸附出一 LED晶粒载具2，并如图IB所示， 能藉由该汲取装置3将该LED晶粒载具2上放置于输送带4上，再如图IC所示，再由该输送带4将该LED晶粒载具2向前搬运至一设置于该输送带4任一侧的扫描装置5内，以对该LED晶粒载具2上的LED晶粒本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种ＬＥＤ晶粒扫瞄与点测的运作系统，用于检测自晶圆承载装置输出的ＬＥＤ晶粒载具上的ＬＥＤ晶粒，其特征在于，该ＬＥＤ晶粒扫瞄与点测的运作系统包括：一输送带；一组可于该晶圆承载装置及输送带位置之间作动的汲取装置，用于搬运ＬＥＤ晶粒载具；至少一个扫描装置，设置于该输送带的任一侧，该输送带使该ＬＥＤ晶粒载具运送进入该扫描装置内，以对该ＬＥＤ晶粒载具上的晶粒进行坐标扫描与储存；以及一个以上的ＬＥＤ晶粒点测装置，设置于该输送带的任一侧上，以使该ＬＥＤ晶粒载具经过坐标扫描后，由该输送带将该ＬＥＤ晶粒载具运送进入任一ＬＥＤ晶粒点测装置，以对该ＬＥＤ晶粒载具上的晶粒进行点测。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林晋生，白智亮，李聪明，温俊熙，
申请(专利权)人：致茂电子苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：32