多晶硅铸锭炉上料用坩埚吊装夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种多晶硅铸锭炉上料用坩埚吊装夹具，用于夹持其上放置有坩埚的坩埚底板(3)，夹具包括吊装架(1)、夹持装置(2)和锁紧机构(4)，吊装架(1)的底端与夹持装置(2)活动连接，其中夹持装置(2)包括两个相对平行设置的用于夹持坩埚底板(3)的夹持臂(21)以及由每个夹持臂(21)的两端向内垂直延伸的活动臂(22)，吊装架(1)的底端具有两个垂直于夹持臂(21)的支撑梁(11)，活动臂(22)相对支撑梁(11)可滑动地连接，锁紧机构(4)用于在夹持臂(21)接合坩埚底板(3)后将活动臂(22)相对支撑梁(11)锁定。该夹具结构简易，方便使用，同时通过减少了对坩埚底板的损毁。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅的生产
，特别是在多晶硅铸锭炉上料过程中使用的一种坩埚吊装夹具。
技术介绍
在多晶硅的生产过程中，由于对铸锭炉上料时直接将石墨坩埚放置在热交换台上，而石墨坩埚与热交换台的接触位置直接影响到坩埚内置放的多晶硅生长时的热场分布，因此在铸锭炉上料时对石墨坩埚的定位要求非常高。具体地，在铸锭炉上料时，石墨坩埚底板的每个边缘与热交换台的边缘外侧的距离差异都应该严格控制在2毫米之内。目前，多晶硅铸锭炉上料通常使用液压叉车将装满硅料的坩埚和坩埚护板平行送至铸锭炉中心的热交换台上。在这一过程中，需要人工一边量测石墨坩埚的底板与热交换台边缘的距离，一边利用液压叉车的叉臂或撬棍来调整石墨坩埚底板的位置，来满足铸锭炉上料时石墨坩埚的位置要求。然而，在对石墨坩埚的位置进行调整时，石墨坩埚底板的两侧经常会在液压叉车叉起石墨坩埚时受到冲击，同时，由于操作人员在调整过程中使得石墨底板单边受力不均等也会造成底板的损毁，减少了底板的使用寿命，增加了生产成本。专利技术人范玉红等提出一种用于吊装石英坩埚的夹具，该夹具于2009年11月19提交了技术专利申请，申请号为200920254518. 2。该夹具的提出目的是方便石英坩埚的吊装并减少对坩埚本身因硬性冲击而带来损伤，其包括吊架1和加紧装置1，吊架1的底端与夹紧装置活动连接，其中所述夹紧装置2由两瓣或两瓣以上的弧形卡盘3构成，弧形卡盘的内弧面与石英坩埚的外圆相配，相邻卡盘3间采用锁紧螺栓4联接。然而，范玉红等提出的这种夹具是直接卡紧到石英坩埚的外圆上而并非夹紧在坩埚用的底板上，这样仍然易于对坩埚造成直接的损伤。因此，迫切需要改进上料方式，提供一种结构简易且安全方便的吊装夹具。
技术实现思路
因此，本技术的目的是解决现有的铸锭炉上料时所遇到的上述问题，并提供一种多晶硅铸锭炉上料用坩埚吊装夹具，该吊装夹具使得坩埚定位方便准确从而提高了上料效率，同时通过减少对坩埚底板的损毁从而延长了底板的使用寿命。为实现上述目的，本技术提供一种多晶硅铸锭炉上料用坩埚吊装夹具，用于夹持其上放置有坩埚的坩埚底板，所述夹具包括吊装架、夹持装置和锁紧机构，所述吊装架的底端与所述夹持装置活动连接，其特征在于，所述夹持装置包括两个沿第一方向相对平行设置的用于在其内夹持所述坩埚底板的夹持臂，以及由每个所述夹持臂的两端向内延伸的活动臂，所述吊装架的底端具有两个沿横向于第一方向的第二方向相对平行设置的支撑梁，每个所述活动臂相对相应的所述支撑梁可滑动地连接，所述锁紧机构用于在所述夹持臂接合所述坩埚底板后将所述活动臂相对所述支撑梁锁定。优选地，所述锁紧机构包括位于所述活动臂上的钩形件以及位于支撑梁上的锁紧手柄，当所述夹持臂接合所述坩埚底板时，所述锁紧手柄上的搭扣件卡扣到所述钩形件上， 从而使夹持臂相对所述支撑梁固定并夹紧所述坩埚底板。再进一步，所述夹具还包括限位机构，该限位机构包括限位销和形成于所述活动臂上的滑槽以及形成于所述支撑梁上的限位孔，所述限位销穿过所述限位孔以及所述滑槽将所述活动臂相对所述支撑梁可滑动地固定。还进一步，在每个所述夹持臂上设置有向内延伸的定位承载销柱，且在所述坩埚底板的相应两侧上设置有内孔，所述定位承载销柱与对应的所述内孔相接合。定位承载销柱和相应内孔的数量可根据需要设置，从一个到多个。优选地，所述支撑梁内设有滑动通道，所述活动臂的自由端嵌套于该滑动通道内从而相对所述支撑梁向外可伸缩地滑动。优选地，所述滑槽为设于活动臂的顶壁的纵向长槽。优选地，所述活动臂的一端与所述夹持臂固定连接。优选地，所述吊装架是由底部支撑梁、两侧支撑框和顶部吊装臂固接而成。相比于现有技术而言，上述坩埚吊装夹具可有效地解决上述所提及的上料过程造成的石墨底板的损毁，延长石墨底板的使用寿命，通过减少上料时对坩埚的位置调整来提高生产效率，同时能够增强上料的灵活性，使定位方便准确，提高了上料效率。附图说明图1是根据本技术优选实施方式的多晶硅铸锭炉上料用坩埚吊装夹具的示意性透视图，其中所述活动臂处于第一位置；图2是根据本技术优选实施方式中使用的石墨坩埚底板的示意性透视图；图3是显示图1中坩埚用吊装夹具的锁紧机构的局部放大图；图4是显示图1中坩埚用吊装夹具的限位机构的局部放大图；图5是图1中的坩埚吊装夹具的示意性透视图，其中所述活动臂处于第二位置；图6是根据本技术优选实施方式的坩埚吊装夹具的工作状态示意图。具体实施方式下面将参考附图详细描述本技术的优选实施方式。首先参见图1，根据本技术的一优选实施方式，提供一种多晶硅铸锭炉上料用坩埚吊装夹具100，用于夹持其上放置有坩埚的坩埚底板3，其包括吊装架1和夹持装置2， 吊装架1的底端具有两个平行间隔开的支撑梁11，夹持装置2包括两个相对设置的用于夹持坩埚的承载底板3的夹持臂21，以及由每个所述夹持臂21的两端分别向内延伸的活动臂 22，所述活动臂22活动连接于所述支撑梁11上，所述夹持臂21与所述支撑梁11形成的内部空间与坩埚底板3的形状相适应，以便将坩埚底板3夹持于吊装夹具100内(见图6)。需要说明的是，由于本优选实施方式中的坩埚底板3大致呈正方体形状(见图2)， 为了与其侧面相适应，上述两个支撑梁11设置成平行间隔的方式。当然，这些支撑梁11的设置方式也可以随着坩埚底板3的设置形式作相应变化；类似地，夹持臂21也会因此作出相应的改变。在如图1所示，吊装架1包括两个底部支撑梁11、两侧支撑框12和顶部吊装臂13，其中，每个底部支撑梁11和每侧支撑框12形成外框架，吊装臂13横跨于两侧外框架并固定其上。同时，吊装臂13上形成有吊装孔14，以便吊车类工具的吊钩穿过其中，将载有坩埚的吊装夹具100吊起上料。参见图1和图5，为了方便将吊装夹具100安装并夹紧到承载有石墨坩埚的坩埚底板上，将上述夹持臂21通过活动臂22活动连接到支撑梁11上。具体地，在本实施方式中， 将支撑梁11做成中空状，即在其内设有滑动通道15，上述活动臂22的自由端嵌套在该滑动通道15内，从而活动臂22可相对所述支撑梁11向外滑动，也就是说，活动臂22可根据需要相对所述支撑梁11在滑动通道15内的第一位置和第二位置之间移动。而上述活动臂22 的相反于其自由端的一端与所述夹持臂21固定连接，从而活动臂22相对支撑梁11的位置改变带来的结果是夹持臂21滑动远离支撑梁11或滑动靠近支撑梁11并固定于其上。如图1所示并结合图6，当活动臂22位于滑动通道15内的第一位置即吊装位置时，所述夹持臂21接合所述坩埚底板3的两侧并夹紧坩埚底板，从而进入吊装准备状态；如图2所示，当活动臂22位于滑动通道15内的第二位置即安装位置时，所述夹持臂21远离所述支撑梁11，使得两个相对的夹持臂21之间形成较大的空间，从而可使吊装夹具100从上向下安装将坩埚底板3套装于其内。需要说明的是，为了实现该安装，两个相对的支撑梁 11之间的空间要稍稍大于坩埚底板3的宽度。参见图2所示，为了在吊装过程中，使得吊装夹具100更稳固地承载坩埚底板3及其上的石墨坩埚，优选地在每个所述夹持臂21上设置有多个向内延伸的定位承载销柱23， 且在所述坩埚底板3的相应两侧上设置有多个内孔31，所述定位承载销柱23与对应的所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种多晶硅铸锭炉上料用坩埚吊装夹具，用于夹持其上放置有坩埚的坩埚底板（３），所述夹具包括吊装架（１）、夹持装置（２）和锁紧机构（４），所述吊装架（１）的底端与所述夹持装置（２）活动连接，其特征在于，所述夹持装置（２）包括两个沿第一方向相对平行设置的用于在其内夹持所述坩埚底板（３）的夹持臂（２１），以及由每个所述夹持臂（２１）的两端向内延伸的活动臂（２２），所述吊装架（１）的底端具有两个沿横向于第一方向的第二方向相对平行设置的支撑梁（１１），每个所述活动臂（２２）相对相应的所述支撑梁（１１）可滑动地连接，所述锁紧机构（４）用于在所述夹持臂（２１）接合所述坩埚底板（３）后将所述活动臂（２２）相对所述支撑梁（１１）锁定。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：程宜红，薛抗美，朱战军，陈龙，胡亚兰，
申请(专利权)人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32