防尘装置和具有其的单晶炉制造方法及图纸

本技术公开了一种防尘装置和具有其的单晶炉，所述单晶炉包括坩埚和设于坩埚上方的导流筒，导流筒的内侧设有水冷屏，所述防尘装置包括固定杆和防尘盖。固定杆沿上下方向延伸且穿设于导流筒内，固定杆的上端与位于单晶炉上方的固定装置可拆卸地连接；防尘盖与固定杆的下端连接，防尘盖设于导流筒内用于封堵导流筒的内部通道，水冷屏的至少部分位于防尘盖的上方。根据本技术的防尘装置，在硅块加料完成后，将防尘盖放回导流筒，可以在硅块相撞产生的粉尘在硅块的加热过程中受热浮力影响上升时将粉尘拦截在防尘盖下方，避免粉尘或硅液粘接在导流筒内侧的水冷屏的位于防尘盖上方的表面上，避免影响水冷屏的散热效果，避免造成拉晶失败。

【技术实现步骤摘要】

本技术主要涉及光伏，尤其涉及一种防尘装置和具有其的单晶炉。

技术介绍

1、相关技术中，单晶炉的加料过程，下落的硅块碰撞，可能产生硅粉，粉尘受热后浮起，遇到高温硅液，硅粉或硅液容易粘结在水冷屏或者导流筒上面，造成拉晶失败。

2、参见相关技术文件cn209227096u，公开了通过在单晶炉中设置热屏结构，包括外胆体、内胆体、水冷组件和屏蔽筒。通过设置水冷组件，大大改善了热场内部纵向温度梯度，提高了单晶体硅的生长速度。屏蔽筒的设置减少喷硅、溅硅等异常对水冷胆体的影响，提高了水冷组件的使用安全性。

3、此单晶炉主要通过水冷组件在热场内部纵向改善拉晶时的纵向温度，但是这种方式仍然会发生水冷组件上粘结硅粉或硅液，水冷屏的散热效果较差等问题。

技术实现思路

1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种防尘装置，所述防尘装置可以避免影响水冷屏的散热效果，避免造成拉晶失败，降低晶棒的生产成本。

2、本技术还提出一种单晶炉，所述单晶炉包括上述的防尘装置。

3、根据本技术实施例的防尘装置，所述单晶炉包括坩埚和设于所述坩埚上方的导流筒，所述导流筒的内侧设有水冷屏，所述防尘装置包括固定杆和防尘盖。所述固定杆沿上下方向延伸且穿设于所述导流筒内，所述固定杆的上端与位于所述单晶炉上方的固定装置可拆卸地连接；所述防尘盖与所述固定杆的下端连接，所述防尘盖设于所述导流筒内用于封堵所述导流筒的内部通道，所述水冷屏的至少部分位于所述防尘盖的上方。</p>

4、根据本技术实施例的防尘装置，通过将沿上下方向延伸的固定杆穿设于导流筒内，且固定杆的上端与位于单晶炉上方的固定装置可拆卸地连接，使固定杆的连接方式较为简单。同时防尘盖与固定杆的下端连接，防尘盖设于导流筒内用于封堵导流筒的内部通道，水冷屏的至少部分位于防尘盖的上方。在单晶炉需要进行加料时，将固定杆与固定装置分离，并将防尘盖从导流筒内部取出；在硅块加料完成后，将防尘盖沿导流筒的轴线方向放回导流筒底部，可以在加料过程中硅块相撞产生的粉尘在硅块的加热过程中受热浮力影响上升时将粉尘拦截在防尘盖下方，尽量避免粉尘或硅液粘接在导流筒内侧的水冷屏的位于防尘盖上方的表面上，避免影响水冷屏的散热效果，避免造成拉晶失败，降低晶棒的生产成本。

5、在本技术的一些实施例中，所述防尘盖的中心具有安装孔，所述固定杆的下端穿设于所述安装孔内且与所述防尘盖连接。

6、在本技术的一些实施例中，所述固定杆的下端设有限位板，所述防尘盖支撑于所述限位板上方。

7、在本技术的一些实施例中，所述防尘盖上设有在所述防尘盖的厚度方向上贯穿所述防尘盖的检测口。

8、在本技术的一些实施例中，所述检测口与所述防尘盖的中心间隔设置。

9、在本技术的一些实施例中，所述检测口为间隔开的多个。

10、在本技术的一些实施例中，所述防尘盖包括保温件和保护板。所述保温件厚度方向的两侧均设有与所述保温件层叠设置的所述保护板。

11、在本技术的一些实施例中，所述保温件为保温毡；和/或，所述保护板为cc板。

12、在本技术的一些实施例中，所述防尘盖位于所述水冷屏的下方。

13、根据本技术实施例的单晶炉，包括上述的防尘装置。

14、根据本技术实施例的单晶炉，通过将沿上下方向延伸的固定杆穿设于导流筒内，且固定杆的上端与位于单晶炉上方的固定装置可拆卸地连接，使固定杆的连接方式较为简单。同时防尘盖与固定杆的下端连接，防尘盖设于导流筒内用于封堵导流筒的内部通道，水冷屏的至少部分位于防尘盖的上方。在单晶炉需要进行加料时，将固定杆与固定装置分离，并将防尘盖从导流筒内部取出；在硅块加料完成后，将防尘盖沿导流筒的轴线方向放回导流筒底部，可以在加料过程中硅块相撞产生的粉尘在硅块的加热过程中受热浮力影响上升时将粉尘拦截在防尘盖下方，尽量避免粉尘或硅液粘接在导流筒内侧的水冷屏的位于防尘盖上方的表面上，避免影响水冷屏的散热效果，避免造成拉晶失败，降低晶棒的生产成本。

15、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种防尘装置，其特征在于，用于单晶炉，所述单晶炉包括坩埚和设于所述坩埚上方的导流筒，所述导流筒的内侧设有水冷屏，所述防尘装置包括：

2.根据权利要求1所述的防尘装置，其特征在于，所述防尘盖的中心具有安装孔，所述固定杆的下端穿设于所述安装孔内且与所述防尘盖连接。

3.根据权利要求2所述的防尘装置，其特征在于，所述固定杆的下端设有限位板，所述防尘盖支撑于所述限位板上方。

4.根据权利要求1所述的防尘装置，其特征在于，所述防尘盖上设有在所述防尘盖的厚度方向上贯穿所述防尘盖的检测口。

5.根据权利要求4所述的防尘装置，其特征在于，所述检测口与所述防尘盖的中心间隔设置。

6.根据权利要求4所述的防尘装置，其特征在于，所述检测口为间隔开的多个。

7.根据权利要求1所述的防尘装置，其特征在于，所述防尘盖包括：

8.根据权利要求7所述的防尘装置，其特征在于，所述保温件为保温毡；

9.根据权利要求1所述的防尘装置，其特征在于，所述防尘盖位于所述水冷屏的下方。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括根据权利要求1-9中任一项所述的防尘装置。

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【技术特征摘要】

1.一种防尘装置，其特征在于，用于单晶炉，所述单晶炉包括坩埚和设于所述坩埚上方的导流筒，所述导流筒的内侧设有水冷屏，所述防尘装置包括：

2.根据权利要求1所述的防尘装置，其特征在于，所述防尘盖的中心具有安装孔，所述固定杆的下端穿设于所述安装孔内且与所述防尘盖连接。

3.根据权利要求2所述的防尘装置，其特征在于，所述固定杆的下端设有限位板，所述防尘盖支撑于所述限位板上方。

4.根据权利要求1所述的防尘装置，其特征在于，所述防尘盖上设有在所述防尘盖的厚度方向上贯穿所述防尘盖的检测口。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘磊，周永驰，张华利，汪晨，
申请(专利权)人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：