【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶制造，尤其是涉及一种冷却装置和具有其的单晶炉。
技术介绍
1、单晶硅作为半导体材料具有广泛的市场需求，常用单晶炉制备。单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。水冷屏作为单晶炉热场的重要部件之一，主要作用为调节拉晶生产过程中的温度梯度，其热传导速度即稳定性直接影响单晶硅棒的拉晶速度、成晶率、断线率等重要指标。
2、单晶炉在工作过程中，随着多次加料过程中颗粒硅加料量及加料速度的不断提升，加料过程中可能造成硅粉漂浮、跳硅等问题，颗粒料粘结在水冷屏内壁表面，会污染水冷屏壁，缩短水冷屏的使用寿命，并且影响单晶硅棒的拉晶性能。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出一种冷却装置，该冷却装置可改善单晶生产过程中的硅粉漂浮、跳硅现象，使得拉晶过程稳定，延长水冷屏的使用寿命。
2、本技术的另一个目的在于提出一种单晶炉。
3、根据本技术实施例的冷却装置，包括：环状的冷却主体，所述冷却主体内部设有冷却流道；环形管，所述环形管设置在所述冷却主体的顶部，所述环形管上开设有多个导向孔，所述导向孔的开口朝向所述冷却主体的内部；用于输送气体的输送管，所述输送管适于与气源相连，所述输送管与所述环形管连通。
4、根据本技术实施例的冷却装置，通过设置环形管向冷却主体的内部输送气流，在冷却主体的内侧形成向下的均匀气流，在液面上部的区域内形成稳定的向
5、在一些实施例中，所述导向孔被构造成倾斜延伸以朝向所述冷却主体的内壁导气。
6、在一些实施例中，所述导向孔的开孔方向与竖直方向之间的夹角为10度-15度。
7、在一些实施例中，相邻两个所述导向孔与所述环形管的中心点之间的连线之间的夹角为20度-35度。
8、在一些实施例中，所述导向孔的孔径为2mm-5mm。
9、在一些实施例中，所述冷却装置还包括：进液管和出液管，所述进液管和所述出液管分别与所述冷却流道连通。
10、可选地，所述输送管至少部分设置在所述进液管和/或所述出液管内。
11、在一些实施例中，所述冷却装置还包括连接在所述冷却主体的连接臂组件，所述进液管、所述出液管和所述输送管分别设于所述连接臂组件内。
12、具体地，所述连接臂组件包括间隔设置的第一连接臂和第二连接臂，所述进液管设置在所述第一连接臂内，所述出液管设置在所述第二连接臂内；所述输送管至少部分设置在所述第一连接臂内和/或所述第二连接臂内。
13、根据本技术实施例的单晶炉，包括上述任一项所述的冷却装置。
14、根据本技术实施例的单晶炉，通过设置上述冷却装置，单晶炉在加料过程中产生的粉粒漂浮和颗粒跳动现象得到改善，制备单晶棒的工作稳定性更强。
15、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
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1.一种冷却装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述导向孔被构造成倾斜延伸以朝向所述冷却主体的内壁导气。
3.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，所述导向孔的开孔方向与竖直方向之间的夹角为10度-15度。
4.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，相邻两个所述导向孔与所述环形管的中心点之间的连线之间的夹角为20度-35度。
5.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述导向孔的孔径为2mm-5mm。
6.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括：进液管和出液管，所述进液管和所述出液管分别与所述冷却流道连通。
7.根据权利要求6所述的冷却装置，其特征在于，所述输送管至少部分设置在所述进液管和/或所述出液管内。
8.根据权利要求6所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括连接在所述冷却主体的连接臂组件，所述进液管、所述出液管和所述输送管分别设于所述连接臂组件内。
9.根据权利要求8所述的冷却装置，其特征在于，所述连接
10.一种单晶炉，其特征在于，包括权利要求1-9中任意一项所述的冷却装置。
...【技术特征摘要】
1.一种冷却装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述导向孔被构造成倾斜延伸以朝向所述冷却主体的内壁导气。
3.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，所述导向孔的开孔方向与竖直方向之间的夹角为10度-15度。
4.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，相邻两个所述导向孔与所述环形管的中心点之间的连线之间的夹角为20度-35度。
5.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述导向孔的孔径为2mm-5mm。
6.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括：进液管和出液管，所述进液管和所述出液管分别与所述冷...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵玉兵，周声浪，张华利，周永驰，
申请(专利权)人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：
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