【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶体材料杂质磷含量的检测装置，具体涉及一种新型磷检拉制设备。
技术介绍
1、现有技术中的磷检设备多为太阳能级产品的磷检设备结构，采用普通的骨架油封和无水冷的下轴结构，抽真空的真空度只能满足＜3pa的要求，随着多晶硅的不断发展以及产品的升级，根据公司目前产品的出炉情况，需要进行样品制备并分析出炉产品的电阻、寿命、碳含量等参数，但现目前太阳能级产品的磷检炉，分析出的数据碳含量还不能满足电子一级的产品检验标准。
2、如于2012年05月02日公开了申请号为“cn201120315602.8”，名称为“一种晶体材料区熔基磷检测装置”的技术专利，公开了一种晶体材料区熔基磷检测装置包括上部升降机构、密闭腔体、下部升降机构、导轨和机架，所述密闭腔体设置在机架中部，上部升降机构对应密闭腔体且通过上轴联动密闭腔体内的原料棒，下部升降机构上部通过下轴联动密闭腔体内的籽晶，所述上部升降机构、密闭腔体和下部升降机构为同心设置，上部升降机构和下部升降机构通过丝杠、导轨做轴向运动，所述密闭腔体通过抽气口连接管连接真空泵形成所述晶体材料区熔基磷检测装置，为目前常用的太阳能级产品的磷检设备结构，也存在上述问题。
3、因此，仍需对现有磷检炉进行改造或设计新的设备以满足电子级产品检验需求。
技术实现思路
1、本技术中提出一种新型磷检拉制设备，是在原太阳能级产品用的磷检设备结构上的进一步优化，以适应电子一级的产品检验标准，旨在解决现有技术中的磷检拉制设备不能满足电子级的产品检验标准的问
2、为了实现上述专利技术目的，本技术的技术方案如下：
3、一种新型磷检拉制设备，包括上轴升降机构、炉室、下轴升降机构、导轨和机架，所述上轴升降机构中的上轴、下轴升降机构的下轴均为空心水冷轴，所述上轴、下轴采用磁流体波纹管密封，炉室上设有进气口和排气口，炉室通过连接管连接高真空插板阀后再与分子泵连接形成所述晶体材料区熔基磷检拉制设备。
4、进一步的，炉室上方设有四根导向杆，所述磁流体波纹管通过四根导向杆导向。
5、进一步的，炉室中部设有加热线圈，加热线圈采用无氧铜制成的线圈。
6、进一步的，所述炉室的进气口和出气口均为氩气进排气两用口。
7、进一步的，炉室上设有抽气口，炉室通过抽气口连通连接管后与高真空插板阀、分子泵连接，所述抽气口内径为100~150mm。
8、进一步的，所述炉室为采用304不锈钢材料制成的腔体，炉室内壁为抛光后的304不锈钢材料制成的结构。
9、进一步的，所述炉室上方的上轴设有冷却水进口ⅰ，冷却水进口ⅰ连通上轴的空心腔，上轴设有冷却水出口ⅰ；下轴的底部设有冷却水进口ⅱ，炉室下方的下轴设有冷却水出口ⅱ，冷却水出口ⅰ、冷却水出口ⅱ通过循环水管道连接冷却水制冷机组，冷却水制冷机组的冷水出口分别连接设备的冷却水进口ⅰ、冷却水进口ⅱ。
10、进一步的，所述炉室内的用于放置下轴的籽晶座、用于放置上轴的卡料座均采用316l制得的固定结构。
11、本技术的有益效果：
12、一、本技术中，对现有太阳能级产品的磷检拉制设备进行优化，使其材质、结构、真空等均满足电子级产品的状态、拉制出的产品数据满足电子一级或者电子特级的产品要求，让太阳能级的磷检炉具备检验电子级产品的功能。
13、二、本技术中，采用磁流体波纹管对上轴、下轴等结构进行密封，取消了传统设备中采用骨架油封的结构方式，不再使用油类密封剂，避免油类密封剂对设备运行时产品的污染，造成拉制环境洁净度不够高的问题。
14、三、本技术中，在将现有的上轴升降机构、下轴升降机构的轴更换成空心水冷轴，通过向空心水冷轴中部的空心腔内通入冷却介质，对相应的轴进行冷却，一般可将轴的温度冷却至＜100℃，减少轴中杂质的挥发。
15、四、本技术中，采用分子泵对炉室抽真空，并匹配相应的高真空插板阀，相应的，需要更换成匹配的电离规、电阻规和复合真空计等部件，可将炉室内的真空度从-3pa降低至-3*10-3pa，显著提高真空度，提升拉制真空环境。
16、五、电子一级晶体材料是指晶体材料满足碳含量＜0.25，电阻＞1000ω，电阻达到1400~1500ω代表杂质含量更少，硼含量为≤0.25，磷含量为≤1.5，采用本方案的磷检拉制设备，可用于检测电子一级晶体材料中的磷含量。
17、六、本技术中，导向杆连接在炉室上面，是用于上轴上下移动时用的导向机构，布置安装有四根。
18、七、本技术中，加热线圈位于炉室中间，对上轴的母样进行加热，拉制过程中循环加热区熔，拉制成晶。
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1.一种新型磷检拉制设备，包括上轴升降机构（1）、炉室（2）、下轴升降机构（3）、导轨和机架（5），其特征在于：所述上轴升降机构（1）中的上轴（1.1）、下轴升降机构（3）的下轴（3.1）均为空心水冷轴，所述上轴（1.1）、下轴（3.1）采用磁流体波纹管（6）密封，炉室（2）上设有进气口（7）和排气口（8），炉室（2）通过连接管（9）连接高真空插板阀（10）后再与分子泵（11）连接形成晶体材料区熔基磷检拉制设备。
2.根据权利要求1所述的一种新型磷检拉制设备，其特征在于：炉室（2）上方设有四根导向杆（12），所述磁流体波纹管（6）通过四根导向杆（12）导向。
3.根据权利要求1所述的一种新型磷检拉制设备，其特征在于：炉室（2）中部设有加热线圈（13），加热线圈（13）采用无氧铜制成的线圈。
4.根据权利要求1所述的一种新型磷检拉制设备，其特征在于：所述炉室（2）的进气口（7）和排气口（8）均为氩气进排气两用口。
5.根据权利要求1所述的一种新型磷检拉制设备，其特征在于：炉室（2）上设有抽气口（14），炉室（2）通过抽气口（14）连通
6.根据权利要求1所述的一种新型磷检拉制设备，其特征在于：所述炉室（2）为采用304不锈钢材料制成的腔体，炉室（2）内壁为抛光后的304不锈钢材料制成的结构。
7.根据权利要求1所述的一种新型磷检拉制设备，其特征在于：所述炉室（2）上方的上轴（1.1）设有冷却水进口Ⅰ（15），冷却水进口Ⅰ（15）连通上轴（1.1）的空心腔，上轴（1.1）设有冷却水出口Ⅰ（16）；下轴（3.1）的底部设有冷却水进口Ⅱ（18），炉室（2）下方的下轴（3.1）设有冷却水出口Ⅱ（19），冷却水出口Ⅰ（16）、冷却水出口Ⅱ（19）通过循环水管道连接冷却水制冷机组（17），冷却水制冷机组（17）的冷水出口分别连接设备的冷却水进口Ⅰ（15）、冷却水进口Ⅱ（18）。
8.根据权利要求1所述的一种新型磷检拉制设备，其特征在于：所述炉室（2）内的用于放置下轴（3.1）的籽晶座、用于放置上轴（1.1）的卡料座均采用316L制得的固定结构。
...【技术特征摘要】
1.一种新型磷检拉制设备，包括上轴升降机构（1）、炉室（2）、下轴升降机构（3）、导轨和机架（5），其特征在于：所述上轴升降机构（1）中的上轴（1.1）、下轴升降机构（3）的下轴（3.1）均为空心水冷轴，所述上轴（1.1）、下轴（3.1）采用磁流体波纹管（6）密封，炉室（2）上设有进气口（7）和排气口（8），炉室（2）通过连接管（9）连接高真空插板阀（10）后再与分子泵（11）连接形成晶体材料区熔基磷检拉制设备。
2.根据权利要求1所述的一种新型磷检拉制设备，其特征在于：炉室（2）上方设有四根导向杆（12），所述磁流体波纹管（6）通过四根导向杆（12）导向。
3.根据权利要求1所述的一种新型磷检拉制设备，其特征在于：炉室（2）中部设有加热线圈（13），加热线圈（13）采用无氧铜制成的线圈。
4.根据权利要求1所述的一种新型磷检拉制设备，其特征在于：所述炉室（2）的进气口（7）和排气口（8）均为氩气进排气两用口。
5.根据权利要求1所述的一种新型磷检拉制设备，其特征在于：炉室（2）上设有抽气口（14），炉室（2）通...
【专利技术属性】
技术研发人员：周涛，雷子粤，陈彬，吴汶杰，李富民，刘健，易航，高应清，何智杰，夏彬，刘威洪，
申请(专利权)人：四川永祥新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：
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