【技术实现步骤摘要】
本技术具体涉及一种三氯氢硅合成炉升温系统，属于多晶硅生产中的三氯氢硅合成。
技术介绍
1、三氯氢硅是改良西门子法生产多晶硅的重要原料。目前，合成三氯氢硅的原理包括：将硅粉和氯化氢在280-350℃进行放热反应，生成三氯氢硅、四氯化硅、氢气等。其中，一般使用流化床技术，涉及的工艺流程具体包括：硅粉通过管道加入至合成炉底部，热氮气（采用电加热器）从底部进入合成炉使硅粉处于流化状态，并对合成炉进行加热；当合成炉温度达到280℃以上后，缓慢通入氯化氢并停止通入氮气；当温度达到330-350℃时，合成炉接通夹套水系统，通入夹套水对合成炉进行降温，最终稳定合成炉温度，保证反应连续进行。
2、在合成炉的初始开车时，为了使氯化氢和硅粉达到280℃以上的反应温度，需要通过电加热器对氮气加热至380℃以上，但这种加热方式存在如下缺陷：
3、1、对合成炉加热后的氮气不能进入三氯氢硅尾气系统，必须放空、淋洗，造成氮气浪费；
4、2、由于氮气比热低，导致合成炉升温速度慢，温度升至280℃以上，需要28h；
5、3、...
【技术保护点】
1.一种三氯氢硅合成炉升温系统，包括三氯氢硅合成炉（1）、热水储罐（2）和加热器（3），其特征在于：所述三氯氢硅合成炉（1）连接有用于升温三氯氢硅合成炉（1）的热水管线（4）、氢气管线（5）和氯化氢管线（6）；
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成炉升温系统，其特征在于：所述热水储罐（2）连接有蒸汽管（8），蒸汽管（8）上设置有蒸汽调节阀（9），热水储罐（2）上设置有温度检测仪Ⅰ，温度检测仪Ⅰ与蒸汽调节阀（9）之间通过电信号联锁。
3.根据权利要求1或2所述的三氯氢硅合成炉升温系统，其特征在于：所述三氯氢硅合成炉（1）外侧套设有两段式夹套，两段...
【技术特征摘要】
1.一种三氯氢硅合成炉升温系统，包括三氯氢硅合成炉（1）、热水储罐（2）和加热器（3），其特征在于：所述三氯氢硅合成炉（1）连接有用于升温三氯氢硅合成炉（1）的热水管线（4）、氢气管线（5）和氯化氢管线（6）；
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成炉升温系统，其特征在于：所述热水储罐（2）连接有蒸汽管（8），蒸汽管（8）上设置有蒸汽调节阀（9），热水储罐（2）上设置有温度检测仪ⅰ，温度检测仪ⅰ与蒸汽调节阀（9）之间通过电信号联锁。
3.根据权利要求1或2所述的三氯氢硅合成炉升温系统，其特征在于：所述三氯氢硅合成炉（1）外侧套设有两段式夹套，两段式夹套包括夹套ⅰ（12）和夹套ⅱ（13），热水管线（4）通过支管ⅰ（14）与夹套ⅰ（12）连通，支管ⅰ（14）上设置有流量计ⅰ（15）和调节阀ⅰ（16），流量计ⅰ（15）与调节阀ⅰ（16）之间通过电信号联锁；
4.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成炉升温系统，其特征在于：所述三氯氢硅合成炉（1）的氯化氢进口设置在三氯氢硅合成炉（1）底部，加热器（3）出料口通过管线ⅰ（20）与氯化氢进口连接；
5.根据权利要求4所述的三氯氢硅合成炉升温系统，其特征在于：所述管线ⅰ（20）上设置有温度检测仪ⅱ（22），温度检测仪ⅱ（22）与加热器（3）中的控制器（23）之间通过电信号联锁。
6.根据权利要求4或5所述的三氯氢硅合成炉升温系统，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：王朝阳，罗周，涂大勇，向春林，彭杨，张小强，冯欢，明勇，蒲勇，
申请(专利权)人：四川永祥新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：
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