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本技术公开一种三氯氢硅合成炉升温系统，属于三氯氢硅合成技术领域。包括三氯氢硅合成炉、热水储罐和加热器，三氯氢硅合成炉连接有用于升温三氯氢硅合成炉的热水管线、氢气管线和氯化氢管线；热水储罐通过热水管线与三氯氢硅合成炉连接，三氯氢硅合成炉通过回...
该专利属于四川永祥新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川永祥新能源有限公司授权不得商用。

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