加料筒和具有其的晶体生长装置制造方法及图纸

技术编号:41081145 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-25 10:35
本技术公开了一种加料筒和具有其的晶体生长装置,所述加料筒包括:筒体,所述筒体的一端敞开形成为投料口;盖体,所述盖体设于所述筒体的所述一端,所述盖体沿所述筒体的轴向可移动地以打开和关闭所述投料口,其中,所述筒体和所述盖体中的一个设有凸部且另一个形成有凹槽,所述凸部与所述凹槽的形状适配,所述盖体关闭所述投料口时,所述凸部配合于所述凹槽内。根据本技术的加料筒,通过筒体和盖体之间凸部和凹槽配合,可以增大筒体和盖体配合处的接触面积,从而降低筒体和盖体配合处被压溃使原料漏出的概率,进而提升加料筒工作过程中的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体生长,尤其是涉及一种加料筒和具有其的晶体生长装置


技术介绍

1、在使用单晶炉进行晶体生长的过程中,需要使用加料筒向单晶炉中加料。例如相关技术202021732184.8中,公开了一种单晶炉的二次加料装置,包括:料筒,料筒包括不锈钢外筒和碳化硅内筒,不锈钢外筒套接于碳化硅内筒轴侧,碳化硅内筒的上端法兰和不锈钢外筒的上端法兰之间夹持有垫环,不锈钢外筒的轴侧固定连接于限位盘,限位盘顶接于喉口;提拉部,提拉部包括传动连杆、石英锥和支撑盘,传动连杆上下移动于碳化硅内筒中,传动连杆的下端连接于支撑盘,石英锥套接于传动连杆的下端侧,石英锥下端的直径大于碳化硅内筒的内径。需要进行单晶炉加料作业时,单晶炉上炉体中的提升装置通过提升传动连杆,带动支撑盘上升,进而带动石英锥上升,石英锥下端的边缘抵触至碳化硅内筒的下端,使碳化硅内筒下端口密闭。

2、此装置中石英锥的下端锥面与碳化硅内筒下端抵接可以使料筒下端封闭,但在生产中发现,由于料筒和石英锥接触的地方作用力较大,料筒的侧壁与石英锥锥面抵接处接触面积较小,容易使料筒的侧壁与石英锥锥面抵接处被压溃,从而使原料从压溃处漏出。


技术实现思路

1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本技术在于提出一种加料筒,所述加料筒在工作过程中可靠性更高。

2、本技术还提出一种具有上述加料筒的晶体生长装置。

3、根据本技术第一方面的加料筒,包括:筒体,所述筒体的一端敞开形成为投料口;盖体,所述盖体设于所述筒体的所述一端,所述盖体沿所述筒体的轴向可移动地以打开和关闭所述投料口,其中,所述筒体和所述盖体中的一个设有凸部且另一个形成有凹槽,所述凸部与所述凹槽的形状适配,所述盖体关闭所述投料口时,所述凸部配合于所述凹槽内。

4、根据本技术第一方面的加料筒,通过筒体和盖体之间凸部和凹槽配合,可以增大筒体和盖体配合处的接触面积,从而降低筒体和盖体配合处被压溃使原料漏出的概率,进而提升加料筒工作过程中的可靠性。

5、根据本技术的一些实施例,所述凸部沿所述筒体的周向和/或径向延伸。

6、根据本技术的一些实施例,所述凸部的数量为多个,多个所述凸部沿所述筒体的周向间隔排布,所述凹槽的数量为多个,多个所述凸部与多个所述凹槽一一对应。

7、根据本技术的一些实施例,所述凸部沿以所述筒体的中心轴线为圆心的圆弧线延伸。

8、根据本技术的一些实施例,所述凸部形成于所述盖体上,在所述筒体的周向方向上,相邻的两个所述凸部之间的间距为2mm-5mm。

9、根据本技术的一些实施例,所述筒体的所述一端形成有第一配合面,所述盖体的朝向所述筒体的一侧形成有第二配合面,所述凸部和所述凹槽分别形成于所述第一配合面和所述第二配合面上,所述盖体关闭所述投料口时,所述第一配合面与所述第二配合面抵接。

10、根据本技术的一些实施例,所述盖体包括盖主体和配合板部,所述盖主体的朝向所述筒体内的一侧表面为锥面且位于所述筒体的径向内侧,所述配合板部连接在所述盖主体的周沿且沿所述盖主体的径向向外延伸,所述盖主体的朝向所述筒体的一侧表面形成为所述第二配合面。

11、根据本技术的一些实施例,所述第一配合面和所述第二配合面垂直于所述筒体的轴线。

12、根据本技术的一些实施例,所述的加料筒还包括:连杆,所述连杆设于所述筒体的径向内侧,所述连杆的一端与所述盖体固定且另一端朝向所述筒体的另一端延伸,所述连杆用于驱动所述盖体打开和关闭所述投料口。

13、根据本技术第二方面的晶体生长装置,包括上述根据本技术第一方面的加料筒。

14、根据本技术第二方面的晶体生长装置,通过设置上述根据本技术第一方面的加料筒,可以提升晶体生长装置工作过程中的可靠性。

15、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。

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【技术保护点】

1.一种加料筒,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的加料筒,其特征在于,所述凸部沿所述筒体的周向和/或径向延伸。

3.根据权利要求2所述的加料筒,其特征在于,所述凸部的数量为多个,多个所述凸部沿所述筒体的周向间隔排布,所述凹槽的数量为多个,多个所述凸部与多个所述凹槽一一对应。

4.根据权利要求3所述的加料筒,其特征在于,所述凸部沿以所述筒体的中心轴线为圆心的圆弧线延伸。

5.根据权利要求3所述的加料筒,其特征在于,所述凸部形成于所述盖体上,在所述筒体的周向方向上,相邻的两个所述凸部之间的间距为2mm-5mm。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的加料筒,其特征在于,所述筒体的所述一端形成有第一配合面,所述盖体的朝向所述筒体的一侧形成有第二配合面,所述凸部和所述凹槽分别形成于所述第一配合面和所述第二配合面上,所述盖体关闭所述投料口时,所述第一配合面与所述第二配合面抵接。

7.根据权利要求6所述的加料筒,其特征在于,所述盖体包括盖主体和配合板部,所述盖主体的朝向所述筒体内的一侧表面为锥面且位于所述筒体的径向内侧,所述配合板部连接在所述盖主体的周沿且沿所述盖主体的径向向外延伸,所述盖主体的朝向所述筒体的一侧表面形成为所述第二配合面。

8.根据权利要求6所述的加料筒,其特征在于,所述第一配合面和所述第二配合面垂直于所述筒体的轴线。

9.根据权利要求1所述的加料筒,其特征在于,还包括:连杆,所述连杆设于所述筒体的径向内侧,所述连杆的一端与所述盖体固定且另一端朝向所述筒体的另一端延伸,所述连杆用于驱动所述盖体打开和关闭所述投料口。

10.一种晶体生长装置,其特征在于,包括根据权利要求1-9中任一项所述的加料筒。

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【技术特征摘要】

1.一种加料筒,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的加料筒,其特征在于,所述凸部沿所述筒体的周向和/或径向延伸。

3.根据权利要求2所述的加料筒,其特征在于,所述凸部的数量为多个,多个所述凸部沿所述筒体的周向间隔排布,所述凹槽的数量为多个,多个所述凸部与多个所述凹槽一一对应。

4.根据权利要求3所述的加料筒,其特征在于,所述凸部沿以所述筒体的中心轴线为圆心的圆弧线延伸。

5.根据权利要求3所述的加料筒,其特征在于,所述凸部形成于所述盖体上,在所述筒体的周向方向上,相邻的两个所述凸部之间的间距为2mm-5mm。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的加料筒,其特征在于,所述筒体的所述一端形成有第一配合面,所述盖体的朝向所述筒体的一侧形成有第二配合面,所述凸部和所述凹槽分别形成于所述第一配合面和所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘磊周永驰张华利汪晨
申请(专利权)人:江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
类型:新型
国别省市:

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