【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶制备,具体涉及一种降低单晶中氧含量的降氧装置。
技术介绍
1、随着单晶大热场技术的快速发展和n型电池市场占有率的不断提升,降低单晶中的氧含量成为了单晶制备时首要解决的技术难点。现有技术中,大多数是通过降低石英坩埚底部温度、缩小主加热器发热区域、改变主加热器发热区域与石英坩埚的相对位置或者改变埚转、炉压等工艺条件的方式来降低单晶硅棒氧含量。通过这些方式,n型单晶氧含量能够控制在12.5ppma以下,p型单晶氧含量在14ppma以下。但在此氧含量条件下,单晶硅棒仍然会因氧杂质原因而在下游电池生产中出现氧沉淀“同心圆”现象,严重影响电池的转化效率。因此,仍然需要继续寻求能够降低单晶硅棒中氧含量的方案。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足,本技术的目的在于提供一种降低单晶中氧含量的降氧装置。
2、为解决上述问题,本技术所采用的技术方案如下:一种降低单晶中氧含量的降氧装置,所述降氧装置安装于下保温筒的上沿,所述降氧装置包括由上至下依次连接的第一支撑环、第二支撑环和第三支撑环,所述第一支撑环和所述第二支撑环之间填充有保温毡。
3、相比现有技术,本技术的有益效果在于:由于石英坩埚在高温环境下与硅液反应,氧杂质残留在硅液中导致单晶硅棒的氧含量超标,而本降氧装置安装在下保温筒的上沿,能够减少主加热器对石英坩埚的辐射范围,有效阻挡主加热器热量的传递,进而减少氧的析出,从而达到降氧的目的。从而进一步降低石英坩埚底部温度来减少石英坩埚的热反应,进一步降低单晶硅棒
4、上述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,所述第一支撑环、所述第二支撑环与所述第三支撑环同轴设置,且所述第一支撑环的外径与所述第二支撑环的外径均小于所述第三支撑环的外径。
5、上述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,所述第一支撑环、所述第二支撑环与所述第三支撑环的内侧均开设有两组缺口,且两组所述缺口相对设置。
6、上述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,所述第一支撑环上的两组所述缺口将所述第一支撑环隔断为两个半环,且所述第二支撑环上的两组所述缺口将所述第二支撑环隔断为两个半环。
7、上述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,所述第一支撑环、所述第二支撑环与所述第三支撑环之间通过螺纹连接件进行连接。
8、上述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,所述螺纹连接件沿周向分布有多组。
9、上述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,所述第一支撑环与所述第二支撑环之间的间距为20mm。
10、上述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,所述第一支撑环与所述第二支撑环之间的间距小于所述第二支撑环与所述第三支撑环之间的间距。
11、下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细说明。
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1.一种降低单晶中氧含量的降氧装置,其特征在于,所述降氧装置安装于下保温筒的上沿,所述降氧装置包括由上至下依次连接的第一支撑环(100)、第二支撑环(200)和第三支撑环(300);
2.根据权利要求1所述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,其特征在于,所述第一支撑环(100)、所述第二支撑环(200)与所述第三支撑环(300)同轴设置,且所述第一支撑环(100)的外径与所述第二支撑环(200)的外径均小于所述第三支撑环(300)的外径。
3.根据权利要求1所述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,其特征在于,所述第一支撑环(100)、所述第二支撑环(200)与所述第三支撑环(300)的内侧均开设有两组缺口(400),且两组所述缺口(400)相对设置。
4.根据权利要求3所述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,其特征在于,所述第一支撑环(100)上的两组所述缺口(400)将所述第一支撑环(100)隔断为两个半环,且所述第二支撑环(200)上的两组所述缺口(400)将所述第二支撑环(200)隔断为两个半环。
5.根据权利要求1所述的一种降低单
6.根据权利要求5所述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,其特征在于,所述螺纹连接件(500)沿周向分布有多组。
7.根据权利要求1所述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,其特征在于,所述第一支撑环(100)与所述第二支撑环(200)之间的间距为20mm。
8.根据权利要求1所述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,其特征在于,所述第一支撑环(100)与所述第二支撑环(200)之间的间距小于所述第二支撑环(200)与所述第三支撑环(300)之间的间距。
...【技术特征摘要】
1.一种降低单晶中氧含量的降氧装置,其特征在于,所述降氧装置安装于下保温筒的上沿,所述降氧装置包括由上至下依次连接的第一支撑环(100)、第二支撑环(200)和第三支撑环(300);
2.根据权利要求1所述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,其特征在于,所述第一支撑环(100)、所述第二支撑环(200)与所述第三支撑环(300)同轴设置,且所述第一支撑环(100)的外径与所述第二支撑环(200)的外径均小于所述第三支撑环(300)的外径。
3.根据权利要求1所述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,其特征在于,所述第一支撑环(100)、所述第二支撑环(200)与所述第三支撑环(300)的内侧均开设有两组缺口(400),且两组所述缺口(400)相对设置。
4.根据权利要求3所述的一种降低单晶中氧含量的降氧装置,其特征在于,所述第一支撑环(100)上的两组所述缺口(400)将所...
【专利技术属性】
技术研发人员:袁得梅,余亮亮,汪奇,
申请(专利权)人:青海高景太阳能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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