芯片键合辅助加压装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种芯片键合辅助加压装置，属于微流控芯片加工技术领域。本实用新型专利技术包括限位块、底盘、圆锥接头、压紧螺母、压紧板、方形定位杆、连接杆、限位螺栓。限位块与底盘垂直固定，待键合的芯片放入底盘的定位凹台内，压紧板压在盖片上，限位螺栓穿过限位孔并与压紧螺母螺纹连接；限位螺栓下端固定圆锥接头，方形定位杆的一端插入限位块前端的限位槽，通过拧紧定位螺栓固定，方形定位杆的另一端穿过连接杆的方形连接孔，通过拧紧定位螺栓固定。本实用新型专利技术的装置有效加强常温键合键的键合强度和成功率，可广泛应用于微控芯片的键合辅助加压。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种芯片键合辅助加压装置，特别是涉及一种特别针对常温键合成功率低和键合强度不高的微流控芯片设计的一种芯片常温键合辅助加压装置，属于微流控芯片加工

技术介绍
微全分析系统(MicroTotal Analysis System, μ-TAS)是 20 世纪 90 年代中期以来影响最深远的重大科技发展之一，是融微电子学、生物学、物理学、化学、计算机科学为一体的高度交叉的新技术。通过化学分析设备的微型化与集成化，最大限度地把分析实验室的功能转移到便携的分析设备中，最终将整个生化分析实验室的功能集成在一张微芯片上，因此也被称为“芯片实验室”(1^13-011-3-吐丨？，11)0。微流控芯片(Microfluidic chips) 是μ-TAS中当前热点，它以微管道为网络，连接微泵、微阀、微储液池、微电板、微检测单元等具有光、电和流体输送功能的元器件，最大限度的将样品的制备、生物与化学反应、分离、 检测等基本单元集成到一块几平方厘米的芯片上，完成不同的生化反应，并对起产物进行分析，最集中地体现了将分析实验室的功能转移到芯片上的思想。目前微流控芯片的常温键合方法具有条件简单本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种芯片键合辅助加压装置，其特征在于包括：限位块（１）、底盘（２）、圆锥接头（３）、压紧螺母（５）、压紧板（６）、方形定位杆（７）、连接杆（８）、限位螺栓（１０）；限位块（１）与底盘（２）垂直固定，底盘（２）上加工有固定微流控芯片的定位凹台，定位凹台的凹面经过磨光处理，待键合的基片（４）和盖片（１２）表面活化后合并成芯片，放入底盘（２）的定位凹台内，压紧板（６）的底面为平面，上表面中心加工圆锥凹槽，压紧板（６）压在盖片（１２）上；限位块（１）上开有限位槽，限位槽上加工有定位通槽，限位槽的开槽方向与底盘（２）的定位凹台的凹面平行；连接杆（８）一端开有方形连接孔，连接杆（８）另一端开有限位孔，...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邓玉林，徐建栋，丁惠，李勤，耿丽娜，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：实用新型
国别省市：11