当前位置: 首页 > 专利查询>清华大学专利>正文

三维纳米结构阵列制造技术

技术编号:6957614 阅读:231 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种三维纳米结构阵列。所述三维纳米结构阵列包括一基底以及多个三维纳米结构以阵列形式设置于该基底至少一表面,其中,所述三维纳米结构为阶梯状结构。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种纳米材料,尤其涉及一种三维纳米结构阵列
技术介绍
纳米材料自问世以来,受到科学界追捧,成为材料科学现今最为活跃的研究领域。 纳米材料根据不同尺和性质,在电子行业、生物医药、环保、光学等领域都有着开发的巨大潜能。在将纳米材料应用到各行各业的同时,对纳米材料本身的制备方法和性质的研究也是目前国际上非常重视和争相探索的方向。纳米材料按维度分类,大致可分为四类零维、一维、二维和三维纳米材料。如果一个纳米材料的尺度在X、Y和Z三维空间受限,则称为零维,如纳米粒子;如果材料只在两个空间方向上受限,则称为一维,如纳米线和纳米管;如果是在一个空间方向上受限,则称为二维纳米材料,如石墨烯;如果在X、Y和Z三个方向上都不受限,但材料的组成部分是纳米孔、纳米粒子或纳米线,就被称为三维纳米结构材料。纳米材料作为新兴的材料,目前最大的问题是如何制备批量、均勻、纯净的这种微型物质,从而进一步研究这类材料的实际性能及其机理。从目前的研究情况来看,在诸多纳米材料中,一维的碳纳米管和二维的石墨烯材料的研究热度最高,而三维纳米结构的报道比较少,通常为纳米球、纳米柱等结构简单的三维纳米结构。专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种三维纳米结构阵列,其包括一基底以及多个三维纳米结构以阵列形式设置于该基底至少一表面,其特征在于,所述三维纳米结构为阶梯状结构。

【技术特征摘要】
1.一种三维纳米结构阵列,其包括一基底以及多个三维纳米结构以阵列形式设置于该基底至少一表面,其特征在于,所述三维纳米结构为阶梯状结构。2.如权利要求1所述的三维纳米结构阵列,其特征在于,所述三维纳米结构为设置在所述基底表面的阶梯状凸起结构或阶梯状凹陷结构。3.如权利要求2所述的三维纳米结构阵列,其特征在于,所述阶梯状凸起结构或阶梯状凹陷结构的尺度小于等于1000纳米。4.如权利要求1所述的三维纳米结构阵列,其特征在于,所述三维纳米结构为一多层阶梯状圆台结构。5.如权利要求4所述的三维纳米结构阵列,其特征在于,所述三维纳米结构包括一第一圆台以及一设置于该第一圆台表面的第二圆台。6.如权利要求5所述的三维纳米结构阵列,其特征在于,所述第一圆台与第二圆台同轴设置且形成一体结构。7.如权利要求5所述的三维纳米结构阵列,其特征在于,所述第一圆台靠近基底设置, 所述第一圆台的底面直径大于第二圆台的底面直径,所述第一圆台的侧面垂直于基底的表面,所述第二圆台的侧面垂直于第一圆台的底面。8.如权利要求5所述的三维纳米结构阵列,其特征在于,所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱振东李群庆范守善
申请(专利权)人:清华大学鸿富锦精密工业深圳有限公司
类型:发明
国别省市:11

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1