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三维纳米结构阵列制造技术
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下载三维纳米结构阵列的技术资料
文档序号:6957614
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本发明涉及一种三维纳米结构阵列。所述三维纳米结构阵列包括一基底以及多个三维纳米结构以阵列形式设置于该基底至少一表面,其中,所述三维纳米结构为阶梯状结构。...
该专利属于清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司授权不得商用。
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