一种磨削晶体材料的磨头装置制造方法及图纸

一种磨削晶体材料的磨头装置，涉及一种晶体材料的加工设备，其中晶棒(20)夹持在夹紧机构(17)内，晶棒(20)一侧固定在夹紧机构(17)内，晶棒(20)的一端对应两个磨轮(16)之间的间隙，两个磨轮(16)通过旋转轴座(25)内的磨轮固定轴(38)做同向旋转，磨轮固定轴(38)由外部的旋转轴座带动，所述旋转轴座由外接电机(2)带动形成所述磨削晶棒的磨削机构；磨削晶棒的磨削机构与夹紧机构做轴向运动形成晶棒的进给；本发明专利技术通过将晶棒夹持在夹紧机构内，实现稳固定位，由磨头装置的磨削晶棒的磨削机构对晶棒较为准确的磨削，确保了后期使用时的提高接触面积，本发明专利技术结构简单，工艺稳定性远高于手工作业。

【技术实现步骤摘要】
一种磨削晶体材料的磨头装置
本专利技术涉及一种晶体材料的加工设备，具体涉及一种磨削晶体材料的磨头装置。
技术介绍
在使用西门子法生产多晶硅的过程中，硅芯搭接技术是非常重要的一个环节，它主要应用于多晶硅生产的还原反应过程。这个环节的还原反应过程的原理是所述还原反应是在一个密闭的还原炉中进行的，在装炉前先在还原炉内用硅芯搭接成若干个闭合回路，也就是行话中的“搭桥”;每个闭合回路都由两根竖硅芯和一根横硅芯组成；每一个闭合回路的两个竖硅芯分别接在炉底上的两个电极上，两个电极分别连接直流电源的正负极， 向密闭的还原炉内通入氢气和三氯氢硅，然后对硅芯进行加热，加热中一组搭接好的硅芯相当于一个大电阻，进行还原反应；这样，所需的多晶硅就会在硅芯表面生成。实现上述技术时，通过搭桥技术使一根横硅芯和两根竖硅芯进行联通，本专利技术人在先申请的两项中国专利公开了一种可有效提高接触面积和减小电阻的孔式硅芯搭接方法和一种可提高接触面积和减小电阻的插接式硅芯搭接结构及方法，其中的一个专利提出了一种圆球形硅芯的搭接方法，它是通过在横硅芯两端分别设置硅芯圆球体，并在两个硅芯圆球体的下部分别设置插孔，由竖硅芯上端的插柱与插孔吻配连接，形成提高接触面积和减少电阻的连接方式，在加工竖硅芯上部的插柱时，为了横硅芯和竖硅芯的接触面积更大，往往会在横硅芯两端的圆球体中部钻一锥孔，相应的在竖硅芯上端磨削出一上小下大的外圆锥体，在磨削竖硅芯上部的外圆锥体时，现有加工方式是通过手工扶持硅芯在磨体上对硅芯进行磨削，这种方式受到人为干扰的因素非常大；例如，技工师傅的熟练程度、所用设备的加工状况以及设备的新旧程度等，都可能使所磨削的竖硅芯上部的外圆锥体很不规范，使得后期搭接工艺中接触面得不到保证，也就是点接触或线接触，从而影响硅芯的加工品质。在另一个专利中为了克服上述专利在拉制横硅芯两端的圆球体时容易导致设备损坏等目的，提出了一种避免在横硅芯的两端拉制圆球体，可以直接在横、竖硅芯上直接加工“U”形槽或双面开槽形成的搭接面，在该种搭接方法中，为了增加两根竖硅芯在与电极连接时的接触面积，减少在装炉通电后，由于瞬间通入电流，使硅芯发生倒伏的现象，在两根竖硅芯的下端设置外圆锥体，与电极的连接孔紧配，目前的做法也是通过人工扶持对竖硅芯下端的外圆锥体进行加工。参考文献中国专利；专利名称、可有效提高接触面积和减小电阻的孔式硅芯搭接方法，公开号、CN101570890A，公开日、2009 年 11 月 4 日。中国专利；专利名称、可提高接触面积和减小电阻的插接式硅芯搭接结构及方法， 申请日、2011年6月2日，专利号为201110153461.9。
技术实现思路
为克服
技术介绍
中的不足，本专利技术提供一种磨削晶体材料的磨头装置，本专利技术所述的磨削晶体材料的磨头装置通过将晶棒夹持在夹紧机构内，实现稳固定位，由磨头装置的磨削晶棒的磨削机构对晶棒较为准确的磨削，确保了后期使用时的提高接触面积，本专利技术结构简单，工艺稳定性远高于手工作业。为了实现所述专利技术目的，本专利技术采用如下技术方案一种磨削晶体材料的磨头装置，其中晶棒夹持在夹紧机构内；所述磨头装置包括用于磨削晶棒的磨削机构；所述磨削晶棒的磨削机构，晶棒一侧固定在夹紧机构内，晶棒的一端对应两个磨轮之间的间隙，两个磨轮通过旋转轴座内的磨轮固定轴做同向旋转，磨轮固定轴由外部的旋转轴座带动，所述旋转轴座由外接电机带动形成所述磨削晶棒的磨削机构；磨削晶棒的磨削机构与夹紧机构做轴向运动形成晶棒的进给。所述的磨削晶体材料的磨头装置，所述用于磨削晶棒的磨削机构包括电机、磨轮、 旋转轴座、小齿轮、大齿轮、磨轮固定轴，旋转轴座设置在安装座内，所述旋转轴座内部设置有至少两根磨轮固定轴，在每一磨轮固定轴的一端固定有小齿轮，另一端分别固定有磨轮， 旋转轴座由电机带动做旋转运动，在所述小齿轮之间设置有大齿轮，所述大齿轮为固定设置且承担所述小齿轮之间的动力过渡，使磨轮固定轴另一端的所述磨轮同步同向旋转，由所述磨轮与磨轮之间的间隙形成晶棒端部的磨削。所述的磨削晶体材料的磨头装置，所述磨削晶棒的磨削机构与夹紧机构做轴向运动形成晶棒的进给为，磨削晶棒的磨削机构由大底板下面设置的滑块与导轨滑动配合，夹紧机构固定设置在大底板上，磨削晶棒的磨削机构由丝杠控制给进，其中用于磨削晶棒的磨削机构和夹紧机构为联动，进给机构包括机架、导轨、导轨支撑、大底板、减速机、减速机轴、联轴器、丝杠固定座、丝杠、丝母和滑块，丝杠的两端分别通过丝杠固定座固定在机架的上部面，丝杠的外端通过联轴器与减速机轴连接，所述减速机轴固定在减速机的内孔中，所述减速机的另一转动轴与电机连接，丝杠与固定在大底板下部面的丝母丝接配合，所述大底板的下部面设置有至少两个滑块，至少两个滑块分别与固定在导轨支撑上部面的导轨滑动配合，所述导轨支撑固定在机架的上部面上形成用于磨削晶棒的磨削机构和夹紧机构同步的进给或所述进给机构在不使用减速机、减速机轴、联轴器和电机的情况下，通过使用手轮实现手动调节进给；其中用于磨削晶棒的磨削机构与夹紧机构为一动一静，。所述的磨削晶体材料的磨头装置，所述用于磨削晶棒的磨削机构，电机通过电机座固定在压盖的上部面，在电机的转动轴端部固定有小动力轮，所述小动力轮连接设置在旋转轴座一侧外部的大动力轮，在旋转轴座的内壁上设有至少两个圆柱，所述圆柱的轴孔内插接磨轮固定轴，所述旋转轴座的外缘通过轴承A固定在安装座内，所述轴承A通过轴承压盖B紧固在安装座的内壁与旋转轴座之间，所述安装座通过压盖固定在固定座的内孔中，所述固定座固定在小托板的上部面上，磨轮固定轴的两端分别通过轴承B与旋转轴座的轴孔内壁连接，磨轮通过磨轮过渡套固定在磨轮固定轴的一端。所述的磨削晶体材料的磨头装置，所述大齿轮通过固定轴固定在旋转轴座压盖的内孔中。所述的磨削晶体材料的磨头装置，所述旋转轴座的外圆上设置有使轴承A间隔的凸起圆，在旋转轴座的一端设置有缩颈的定位台阶，所述定位台阶为大动力轮限位台阶；在旋转轴座圆柱的轴孔内设置有轴筒，所述磨轮固定轴的两端通过所述轴承B设置在轴筒内。所述的磨削晶体材料的磨头装置，所述小动力轮与大动力轮为皮带传动连接或链条传动连接；在安装座的一端设置有豁口，所述小动力轮与大动力轮的皮带传动连接或链传动连接途径所述豁口 ；在安装座的内孔中设置有轴承A的定位台。所述的磨削晶体材料的磨头装置，在磨轮的外部设置有冷却介质罩，所述冷却介质罩的一端固定在压盖或固定座或安装座的一侧，冷却介质罩的另一端设有冷却介质罩盖板，所述冷却介质罩盖板的中部设置有晶棒穿入孔，在冷却介质罩的上部设置有冷却介质喷口，在冷却介质罩的下部设置有冷却介质流出口，所述冷却介质流出口的下面设置有容器。所述的磨削晶体材料的磨头装置，所述冷却介质喷口与冷却介质输送管的一端连接，所述冷却介质输送管通过冷却介质输送管固定座固定在大底板上，在冷却介质输送管上设置有阀门，冷却介质输送管的另一端与冷却介质储存循环容器连接。由于采用上述技术方案，本专利技术具有如下有益效果本专利技术所述的磨削晶体材料的磨头装置通过将晶棒夹持在夹紧机构内，实现稳固定位，由磨头装置的两个磨轮对晶棒的端部磨削作业，其中磨轮设置为对应晶棒一侧直径较小，保证了晶棒端部的磨削锥度，实现了对晶棒较为准确的磨削，确保了后期本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种磨削晶体材料的磨头装置，其中晶棒（２０）夹持在夹紧机构（１７）内，其特征是：所述磨头装置包括用于磨削晶棒（２０）的磨削机构；所述磨削晶棒（２０）的磨削机构，晶棒（２０）一侧固定在夹紧机构（１７）内，晶棒（２０）的一端对应两个磨轮（１６）之间的间隙，两个磨轮（１６）通过旋转轴座（２５）内的磨轮固定轴（３８）做同向旋转，磨轮固定轴（３８）由外部的旋转轴座（２５）带动，所述旋转轴座（２５）由外接电机（２）带动形成所述磨削晶棒（２０）的磨削机构；磨削晶棒（２０）的磨削机构与夹紧机构（１７）做轴向运动形成晶棒（２０）的进给。

【技术特征摘要】
2010.12.30 CN 201010621300.31.一种磨削晶体材料的磨头装置，其中晶棒(20)夹持在夹紧机构(17)内，其特征是 所述磨头装置包括用于磨削晶棒(20)的磨削机构；所述磨削晶棒(20)的磨削机构，晶棒 (20) 一侧固定在夹紧机构(17)内，晶棒(20)的一端对应两个磨轮(16)之间的间隙，两个磨轮(16)通过旋转轴座(25)内的磨轮固定轴(38)做同向旋转，磨轮固定轴(38)由外部的旋转轴座(25)带动，所述旋转轴座(25)由外接电机(2)带动形成所述磨削晶棒(20)的磨削机构；磨削晶棒(20)的磨削机构与夹紧机构(17)做轴向运动形成晶棒(20)的进给。2.根据权利要求1所述的磨削晶体材料的磨头装置，其特征是所述用于磨削晶棒 (20)的磨削机构包括电机(2)、磨轮(16)、旋转轴座(25)、小齿轮(28)、大齿轮(30)、磨轮固定轴(38)，旋转轴座(25)设置在安装座(22)内，所述旋转轴座(25)内部设置有至少两根磨轮固定轴(38)，在每一磨轮固定轴(38)的一端固定有小齿轮(28)，另一端分别固定有磨轮(16)，旋转轴座(25)由电机(2)带动做旋转运动，在所述小齿轮(28)之间设置有大齿轮(30)，所述大齿轮(30)为固定设置且承担所述小齿轮(28)之间的动力过渡，使磨轮固定轴(38)另一端的所述磨轮(16)同步同向旋转，由所述磨轮(16)与磨轮(16)之间的间隙 (43)形成晶棒(20)端部的磨削。3.根据权利要求1所述的磨削晶体材料的磨头装置，其特征是所述磨削晶棒(20)的磨削机构与夹紧机构(17)做轴向运动形成晶棒(20)的进给为，磨削晶棒(20)的磨削机构由大底板(19)下面设置的滑块(48)与导轨(13)滑动配合，夹紧机构(17)固定设置在大底板(19)上，磨削晶棒(20)的磨削机构由丝杠(35)控制给进，其中用于磨削晶棒(20)的磨削机构和夹紧机构(17)为联动，进给机构包括机架(9)、导轨(13)、导轨支撑(14)、大底板 (19)、减速机、减速机轴、联轴器、丝杠固定座、丝杠、丝母和滑块(48)，丝杠的两端分别通过丝杠固定座固定在机架(9)的上部面，丝杠的外端通过联轴器与减速机轴连接，所述减速机轴固定在减速机的内孔中，所述减速机的另一转动轴与电机连接，丝杠与固定在大底板 (19)下部面的丝母丝接配合，所述大底板(19)的下部面设置有至少两个滑块(48)，至少两个滑块(48)分别与固定在导轨支撑(14)上部面的导轨(13)滑动配合，所述导轨支撑(14) 固定在机架(9)的上部面上形成用于磨削晶棒(20)的磨削机构和夹紧机构(17)同步的进给或所述进给机构在不使用减速机、减速机轴、联轴器和电机的情况下，通过使用手轮实现手动调节进给；其中用于磨削晶棒(20)的磨削机构与夹紧机构...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘朝轩，王晨光，
申请(专利权)人：洛阳金诺机械工程有限公司，
类型：发明
国别省市：41