一种用于高频线圈的拉制孔盖板制造技术

一种用于高频线圈的拉制孔盖板，涉及人工晶体制备技术领域，本实用新型专利技术通过在板体（1）的下面设置固定板（2），然后将固定板插接在高频线圈（9）上的导流槽（10）内，使固定板遮盖高频线圈中部的内孔，防止冷却气体从高频线圈中部的内孔和导流槽进入原料棒熔区等，进而避免原料棒中部熔区结晶和原料棒流料的问题，本实用新型专利技术具有结构简单，制造方便等特点，特别适合在多晶硅行业推广实施。合在多晶硅行业推广实施。合在多晶硅行业推广实施。

【技术实现步骤摘要】
一种用于高频线圈的拉制孔盖板
[0001]
本技术涉及人工晶体制备
，具体涉及一种用于高频线圈的拉制孔盖板。
[0002]
技术介绍

[0003]已知的，在硅芯拉制过程中使用籽晶进行引晶。待引晶完成后再进行硅芯的拉制。此时，籽晶借助籽晶夹头夹持。待高频线圈将原料棒的端头局部融化成液体后，籽晶夹头带动籽晶下降，穿过高频线圈的拉制孔后插入原料棒上端的溶液内，随后通过籽晶夹头带动籽晶上升，籽晶带动溶液上升并重新结晶，最终形成所需长度的硅芯。在籽晶带着融液上升的过程中，当融液离开高频线圈的拉制孔后会逐渐冷却并重新结晶。此时带动籽晶上升的上轴的提升速度较慢，拉制直径为&8mm的硅芯时，上轴的提升速度为14mm/min左右，拉制直径为&10mm的硅芯时，上轴的提升速度为12mm/min左右，拉制硅芯的直径一般都在&8～&15mm之间。所拉制的硅芯直径越大，其后期在还原炉内的生长速度越快，生产效率越高，所以如何提高硅芯的生产效率和增大硅芯的直径就成了本领域的技术诉求之一。
[0004]针对上述技术问题，申请人给出了“一种用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置”的专利申请（专利申请号为201921012072.2、申请日为2019年07月02日、公告号为CN210560875U）。该申请借助于一吹气装置，有效的提高了硅芯的结晶速度。
[0005]上述专利申请虽然解决了硅芯结晶速度慢的问题，但在拉制硅芯的过程中，由于每个吹气管吹出的气体在对新拉制硅芯冷却的同时，有一部分气体会沿着高频线圈上导流槽和中部内孔接触高频线圈下端原料棒的熔区，进而造成原料棒中部熔区结晶，影响拉制速度，严重时还会导致原料棒熔区流料，无法实现硅芯的正常拉制等。
[0006]
技术实现思路

[0007]鉴于
技术介绍
中存在的不足，本技术公开了一种用于高频线圈的拉制孔盖板，本技术有效的避免了冷却气体从高频线圈中部的内孔和导流槽进入原料棒熔区等，进而避免原料棒中部熔区结晶和原料棒流料的问题，本技术具有结构简单，加工方便等特点。
[0008]为了实现上述专利技术的目的，本技术采用如下技术方案：
[0009]一种用于高频线圈的拉制孔盖板，包括板体和固定板，在所述板体的下面间隔设有复数个向下延伸的固定板，每个固定板分别插接在高频线圈上的导流槽内形成所述的用于高频线圈的拉制孔盖板。
[0010]所述的用于高频线圈的拉制孔盖板，所述板体的形状为圆形或椭圆形或梯形或平行四边形或多角形中的任意一种。
[0011]所述的用于高频线圈的拉制孔盖板，所述板体的形状优选为圆形，圆形板体的直径大于高频线圈中部拉制孔的直径。
[0012]所述的用于高频线圈的拉制孔盖板，所述板体的中部设有观察孔，所述观察孔对应高频线圈中部的内孔，在所述观察孔上面设有石英板。
[0013]所述的用于高频线圈的拉制孔盖板，所述石英板的形状为圆形或椭圆形或梯形或平行四边形或多角形中的任意一种。
[0014]所述的用于高频线圈的拉制孔盖板，所述观察孔上端的开口端设有倒角。
[0015]由于采用上述技术方案，本技术具有如下有益效果：
[0016]本技术通过在板体的下面设置固定板，然后将固定板插接在高频线圈上的导流槽内，使固定板遮盖高频线圈中部的内孔，防止冷却气体从高频线圈中部的内孔和导流槽进入原料棒熔区等，进而避免原料棒中部熔区结晶和原料棒流料的问题，本技术具有结构简单，制造方便等特点，特别适合在多晶硅行业推广实施。
[0017]【附图说明】
[0018]图1是本技术的立体结构示意图；
[0019]图2是本技术的替换结构示意图；
[0020]图3是本技术的应用示意图；
[0021]在图中：1、板体；2、固定板；3、倒角；4、观察孔；5、吹气环；6、吹气嘴；7、硅芯；8、拉制孔；9、高频线圈；10、导流槽；11、石英板。
[0022]【具体实施方式】
[0023]下面结合实施例对本技术进行进一步的说明；下面的实施例并不是对于本技术的限定，仅作为支持实现本技术的方式，在本技术所公开的技术框架内的任意等同结构替换，均为本技术的保护范围；
[0024]首先需要说明的是，本专利技术在描述结构时采用的“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的特征必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0025]结合附图1～2所述的一种用于高频线圈的拉制孔盖板，包括板体1和固定板2，所述板体1的形状为圆形或椭圆形或梯形或平行四边形或多角形中的任意一种，所述板体1的形状优选为圆形，圆形板体1的直径大于高频线圈9中部拉制孔的直径，圆形板体1的直径小于由所拉制硅芯7形成的内切圆的直径，也就是说，圆形板体1的直径在不影响硅芯7拉制的前提下，尽可能的大，这样可以避免气体进入高频线圈9下面的原料棒，具体实施时，板体1可以只设置一个平板结构，然后直接将板体1放置在高频线圈9中部的内孔上，但是此时必须要求板体1为透明材质，比如透明高纯的氧化铝板或石英板，这样既可以起到遮挡气体的作用，也可以实现观察原料棒熔化状态的目的。
[0026]进一步，为了提高板体1在高频线圈9上的稳定性及提高阻挡气体的可靠性，可以在板体1的下面设置固定板2，固定板2的作用有两个，一个是固定板体1，另一个则是封堵高频线圈9上的导流槽10等。
[0027]实施时，所述板体1放置在高频线圈9中部的内孔上并遮盖高频线圈9中部的内孔，在所述板体1的下面间隔设有复数个向下延伸的固定板2，每个固定板2分别插接在高频线圈9上的导流槽10内形成所述的用于高频线圈的拉制孔盖板。
[0028]进一步，当所述板体1选用不透明的高纯绝缘材料时，比如氧化铝陶瓷，此时需要在板体1的中部设置用于观察原料棒熔化状态的观察孔4，所述观察孔4上端的开口端设有倒角3，观察孔4对应高频线圈9中部的内孔，在所述观察孔4上面设有石英板11。所述石英板11的形状为圆形或椭圆形或梯形或平行四边形或多角形中的任意一种。
[0029]本技术在具体实施时，板体1的材料可以选择为无机绝缘材料，比如云母、瓷
器、玻璃等。
[0030]本技术的使用过程如下：
[0031]如图3所示，首先将原料棒送至高频线圈9下部，原料棒距高频线圈9越近越好，但是不得与高频线圈9底部面接触，然后在高频线圈9上的进水管路通电送水及出水管路通电排水，经过通电排水后的高频线圈9上高频电流促使高频线圈9产生强大的磁力线，使原料棒上端头靠近高频线圈9的部分利用磁力线进行感应加热，高频线圈9通过冷却介质通道内的冷却介质进行降温，待原料棒的端头靠近高频线圈9下面的部位融化后，籽晶夹头带着籽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于高频线圈的拉制孔盖板，包括板体（1）和固定板（2），其特征是：在所述板体（1）的下面间隔设有复数个向下延伸的固定板（2），每个固定板（2）分别插接在高频线圈（9）上的导流槽（10）内形成所述的用于高频线圈的拉制孔盖板。2.如权利要求1所述的用于高频线圈的拉制孔盖板，其特征是：所述板体（1）的形状为圆形或椭圆形或梯形或平行四边形或多角形中的任意一种。3.如权利要求2所述的用于高频线圈的拉制孔盖板，其特征是：所述板体（1）的形状为圆形，圆形板体（1）的直径大...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘奇丰，刘朝轩，
申请(专利权)人：洛阳金诺机械工程有限公司，
类型：新型
国别省市：