【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及表面传导电子发射平板显示技术，尤其涉及一种表面传导电子发射平板显示器的电子发射源及其制作方法。
技术介绍
表面传导电子发射显示器(Surface-conduction Electron-emitter Display, SED)是一种平面型的场发射阴极结构，作为一种性能优越的显示器，其制作工艺无需成本高昂、高精密度的半导体技术，可以在普通条件下制作；而且其所具有的表面传导发射体是一种平面场发射结构，发射性能稳定的多。表面传导电子发射现象的历史可以追溯到20世纪60年代初期，当时是由前苏联学者发现的，一般将其归类为薄膜场发射。SED的关键部分是下基板的制造，即表面传导场发射阴极，用来实现电子的表面传导发射，是SED研究的重点对象，决定SED的性能。佳能公司在材料和工艺上进行了改进，得到了稳定可靠的发射电流，进而研制出了可动态显示的显示器件。佳能用氧化钯纳米粒子代替了氧化锡，用其擅长的喷墨技术将与有机溶剂混合的直径IOnm左右的氧化钯粒子均勻地分散在阴极和引出极之间的缝隙上。经过高温烧结后，形成一层粒子薄膜。毫无疑问，这种薄膜上会存在许多导电通道。在发...
【技术保护点】
１．一种基于氧化物纳米结构的表面传导电子发射源，包括阴极基板，设置于该阴极基板表面的阴极、栅极及氧化物纳米结构的电子发射层，其特征在于：该阴极电极与该栅极电极平行交替排列，且该阴极电极与该栅极电极之间存在一个微米级间隙，该氧化物纳米结构的电子发射层覆盖于该阴极电极表面及该阴栅间隙内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张永爱，郭太良，叶芸，胡利勤，吴朝兴，郑泳，
申请(专利权)人：福州大学，
类型：发明
国别省市：35
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