包含锌和锡的氧化物的蚀刻液以及蚀刻方法技术

本发明专利技术提供在包含锌和锡的氧化物的蚀刻中，具有适宜的蚀刻速率，相对于该氧化物的溶解，蚀刻速率的变化小，并且没有析出物的产生，而且对布线材料的腐蚀性小至可以忽视的程度，图案形状的直线性优异的蚀刻液。在本发明专利技术中，使用包含组分(A)以及(B)以及水，pH值为‑1～1的蚀刻液，组分(A)：选自由硫酸、硝酸、盐酸、甲磺酸、高氯酸、或者这些盐组成的组中的1种以上，组分(B)：草酸或者其盐。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480072101

【技术保护点】
一种蚀刻液，其为用于蚀刻至少包含锌和锡的氧化物的蚀刻液，该蚀刻液包含组分(A)、组分(B)以及水，pH值为‑1～1，组分(A)：选自由硫酸、硝酸、甲磺酸、盐酸、高氯酸、或者它们的盐组成的组中的1种以上，组分(B)：草酸或者其盐。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：茂田麻里，夕部邦夫，
申请(专利权)人：三菱瓦斯化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP