用于镀膜工艺的喷淋头调平装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，所述喷淋头的一侧对着晶圆，另一侧设有用于对喷淋头进行调平的三组调整机构，每个调整机构采用蜗轮蜗杆副调整机构，所述蜗轮蜗杆副调整机构包括蜗轮和蜗杆，所述蜗轮和所述蜗杆相啮合，所述蜗杆的一端与所述喷淋头固定连接，蜗轮转动时带动蜗杆边转动边上下移动。本实用新型专利技术用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，由于采用蜗轮蜗杆副调整机构作为其调整机构，相比现有的采用的螺钉调整机构的喷淋头调平装置，不但提高了调整精度，而且由于其具有自锁功能，蜗杆不能反向移动，因此可以使得调整好位置的喷淋头保持正确位置不发生改变，确保了镀膜工艺的稳定性。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体镀膜领域，尤其涉及一种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置。
技术介绍
在半导体的镀膜工艺中，通常采用喷淋头对着晶圆喷吹高温金属气体，该喷淋头类似于圆盘体，在该喷淋头还设有用于加热金属气体的加热器。为了保证在半导体衬底上形成膜的厚度均勻，需要调整喷淋头的平整度或称水平度，使得喷淋头和半导体衬底相平行。现有通过三组螺钉组件对喷淋头的平整度进行调整，但其具有如下缺点，一方面螺钉组件的调整精度比较低，另一方面螺钉组件没有自锁功能，当喷淋头调整到正确位置时，在使用过程中，容易发生螺钉组件移位致使喷淋头的位置发生改变，从而影响镀膜的厚度，最终影响产品的良率。因此，如何提供一种调整精度较高且具有自锁功能的用于镀膜工艺的喷淋头调平装置及其施工方法是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，通过蜗轮蜗杆副调整机构不但可以提高调整精度，而且还具有锁功能，防止喷淋头在调整好位置后移位。为了达到上述的目的，本技术采用如下技术方案—种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，所述喷淋头的一侧对着晶圆，另一侧设有用于对喷淋头进行调平的三组调整机构，每个调整机本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，所述喷淋头的一侧对着晶圆，另一侧设有用于对喷淋头进行调平的三组调整机构，其特征在于，每个调整机构采用蜗轮蜗杆副调整机构。

【技术特征摘要】
1.一种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，所述喷淋头的一侧对着晶圆，另一侧设有用于对喷淋头进行调平的三组调整机构，其特征在于，每个调整机构采用蜗轮蜗杆副调整机构。2.根据权利要求1所述用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，其特征在于所述蜗轮蜗杆副调整机构包括蜗轮和蜗杆，所述蜗轮和所述蜗杆相啮合，所述蜗杆的一端与所述喷淋头固定连接，所述蜗轮转动时带动蜗杆边转动边上下移动。3.根据权利要求2所述用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，其特征在于所述蜗杆的一端通过隔热层与所述喷淋头固定连接。4.根据权利要求2所述用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，其特征在于所述蜗轮通过固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：田华，桂鹏，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31