用于镀膜工艺的喷淋头调平装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，所述喷淋头的一侧对着晶圆，另一侧设有用于对喷淋头进行调平的三组调整机构，每个调整机构采用蜗轮蜗杆副调整机构，所述蜗轮蜗杆副调整机构包括蜗轮和蜗杆，所述蜗轮和所述蜗杆相啮合，所述蜗杆的一端与所述喷淋头固定连接，蜗轮转动时带动蜗杆边转动边上下移动。本实用新型专利技术用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，由于采用蜗轮蜗杆副调整机构作为其调整机构，相比现有的采用的螺钉调整机构的喷淋头调平装置，不但提高了调整精度，而且由于其具有自锁功能，蜗杆不能反向移动，因此可以使得调整好位置的喷淋头保持正确位置不发生改变，确保了镀膜工艺的稳定性。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体镀膜领域，尤其涉及一种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置。
技术介绍
在半导体的镀膜工艺中，通常采用喷淋头对着晶圆喷吹高温金属气体，该喷淋头类似于圆盘体，在该喷淋头还设有用于加热金属气体的加热器。为了保证在半导体衬底上形成膜的厚度均勻，需要调整喷淋头的平整度或称水平度，使得喷淋头和半导体衬底相平行。现有通过三组螺钉组件对喷淋头的平整度进行调整，但其具有如下缺点，一方面螺钉组件的调整精度比较低，另一方面螺钉组件没有自锁功能，当喷淋头调整到正确位置时，在使用过程中，容易发生螺钉组件移位致使喷淋头的位置发生改变，从而影响镀膜的厚度，最终影响产品的良率。因此，如何提供一种调整精度较高且具有自锁功能的用于镀膜工艺的喷淋头调平装置及其施工方法是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，通过蜗轮蜗杆副调整机构不但可以提高调整精度，而且还具有锁功能，防止喷淋头在调整好位置后移位。为了达到上述的目的，本技术采用如下技术方案—种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，所述喷淋头的一侧对着晶圆，另一侧设有用于对喷淋头进行调平的三组调整机构，每个调整机构采用蜗轮蜗杆副调整机构。所述蜗轮蜗杆副调整机构包括蜗轮和蜗杆，所述蜗轮和所述蜗杆相啮合，所述蜗杆的一端与所述喷淋头固定连接，蜗轮转动时带动蜗杆边转动边上下移动。所述蜗杆的一端通过隔热层与所述喷淋头固定连接。所述蜗轮通过固定连接轴和手轮固定连接。所述蜗杆包括相连接的螺杆部和光杆部，所述蜗杆在螺杆部和蜗轮相啮合，所述光杆部的外侧端与所述喷淋头固定连接。所述蜗杆的外侧设有蜗杆护套，所述蜗轮的外侧设有蜗轮护套，所述蜗杆护套和所述蜗轮护套固定连接。所述蜗杆护套的外侧端与顶盖固定连接。所述光杆部的外侧端通过隔热层与所述喷淋头固定连接。本技术的有益效果如下本技术用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，由于采用蜗轮蜗杆副调整机构作为其调整机构，相比现有的采用的螺钉调整机构的喷淋头调平装置，不但可以提高调整精度， 而且由于其具有自锁功能，蜗杆不能反向移动，因此可以使得调整好位置的喷淋头保持正确位置不发生改变，确保了镀膜工艺的稳定性。附图说明本技术的用于镀膜工艺的喷淋头调平装置由以下的实施例及附图给出。图1为本技术实施例的结构示意图；图2为本技术实施例中的一组蜗轮蜗杆副调整机构安装到喷淋头的结构示意图；图3为本实施例中蜗轮、蜗杆和手轮的安装关系示意图。图中，1-喷淋头、2-晶圆、3-蜗轮蜗杆副调整机构、31-蜗轮、32-蜗杆、321-螺杆部、322-光杆部、33-蜗轮护套、34-蜗杆护套、35-手轮、4-隔热层、5-顶盖、6-晶圆固定机构、7-法兰。具体实施方式以下将对本技术的用于镀膜工艺的喷淋头调平装置作进一步的详细描述。下面将参照附图对本技术进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本技术的目的、特征更明显易懂，以下结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参阅图1-图3，其中，图1为本技术实施例的结构示意图；图2为本技术实施例中的一组蜗轮蜗杆副调整机构安装到喷淋头的结构示意图；图3为本实施例中蜗轮、蜗杆和手轮的安装关系示意图。这种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，所述喷淋头1的一侧对着晶圆2，另一侧设有用于对喷淋头1进行调平的三组调整机构，每个调整机构采用蜗轮蜗杆副调整机构3，所述蜗轮蜗杆副调整机构3不但可以提高调整精度，而且由于其具有自锁功能，蜗杆不能反向移动，因此可以使得调整好位置的喷淋头保持正确位置不发生改变，确保了镀膜工艺的稳定性。其中，所述晶圆2放置在晶圆固定机构上6。所述蜗轮蜗杆副调整机构3包括蜗轮31和蜗杆32，所述蜗轮31和所述蜗杆32相啮合，所述蜗杆32的一端与所述喷淋头1固定连接，蜗轮31转动时带动蜗杆32边转动边上下移动。优选的，所述蜗杆32的一端通过隔热层4与所述喷淋头1固定连接。通过增设隔热层4可以防止喷淋头1内的热量传输到蜗轮蜗杆副调整机构3。所述蜗轮31通过固定连接轴和手轮35固定连接。当转动手轮35时，手轮35可以带动蜗轮31转动。本实施例中，所述蜗轮蜗杆副调整机构3的具体结构如下请重点参看图3，所述蜗杆32包括相连接的螺杆部321和光杆部322，所述蜗杆32在螺杆部321和蜗轮31相啮合，所述光杆部322的外侧端与所述喷淋头1固定连接。所述蜗杆32的外侧设有蜗杆护套 34，所述蜗轮31的外侧设有蜗轮护套33，所述蜗杆护套34和所述蜗轮护套33固定连接。 所述蜗杆护套34的外侧端通过法兰7与顶盖5固定连接(如图2所示)。所述光杆部322 的外侧端通过隔热层4与所述喷淋头1固定连接(如图1所示)，通过增设隔热层4可以防止喷淋头1内的热量传输到蜗轮蜗杆副调整机构3。本技术用于镀膜工艺的喷淋头调平装置实施例的使用方法如下当喷淋头1位于晶圆2上方时，开始对喷淋头1进行调平。对喷淋头1进行调平是通过分别调整三组蜗轮蜗杆副调整机构3来实现的。每组蜗轮蜗杆副调整机构3的调整方式如下通过手动转动手轮35可以带动蜗轮31转动，蜗轮31转动可以带动所述蜗杆32 上下移动，从而改变喷淋头1和蜗杆32连接处的位置。由于三点可以确定喷淋头1所在平面的位置，因此通过分别调整这三组蜗轮蜗杆副调整机构3可以调整所述喷淋头1到所需的正确位置，使得喷淋头1和晶圆2相平行，即喷淋头1到晶圆2对应处的距离相等，从而使得实现在晶圆2镀膜时获得均勻的镀层，进而有效提高产品良率。本技术用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，由于采用蜗轮蜗杆副调整机构作为其调整机构，相比现有的采用的螺钉调整机构的喷淋头调平装置，不但提高了调整精度，而且由于其具有自锁功能，蜗杆不能反向移动，因此可以使得调整好位置的喷淋头保持正确位置不发生改变，确保了镀膜工艺的稳定性。显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，所述喷淋头的一侧对着晶圆，另一侧设有用于对喷淋头进行调平的三组调整机构，其特征在于，每个调整机构采用蜗轮蜗杆副调整机构。

【技术特征摘要】
1.一种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，所述喷淋头的一侧对着晶圆，另一侧设有用于对喷淋头进行调平的三组调整机构，其特征在于，每个调整机构采用蜗轮蜗杆副调整机构。2.根据权利要求1所述用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，其特征在于所述蜗轮蜗杆副调整机构包括蜗轮和蜗杆，所述蜗轮和所述蜗杆相啮合，所述蜗杆的一端与所述喷淋头固定连接，所述蜗轮转动时带动蜗杆边转动边上下移动。3.根据权利要求2所述用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，其特征在于所述蜗杆的一端通过隔热层与所述喷淋头固定连接。4.根据权利要求2所述用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，其特征在于所述蜗轮通过固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：田华，桂鹏，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31