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本实用新型公开了一种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，所述喷淋头的一侧对着晶圆，另一侧设有用于对喷淋头进行调平的三组调整机构，每个调整机构采用蜗轮蜗杆副调整机构，所述蜗轮蜗杆副调整机构包括蜗轮和蜗杆，所述蜗轮和所述蜗杆相啮合，所述蜗杆的一端与所...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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