强化型扩散板制造技术

技术编号:6813072 阅读:144 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种强化型扩散板,包含一用以连接于一镀膜设备的设置板上的连接部、一与该连接部相间隔并形成有多个贯穿孔的底板部,以及一连接该底板部与连接部的弯折部。该弯折部、连接部、底板部相配合界定出一分流室,该弯折部包括一与该分流室同侧的内弯折段,以及一相反于该内弯折段的外弯折段,该内弯折段与外弯折段的最短切线厚度为4.06mm至6.72mm之间。藉由该弯折部的内弯折段的结构设计,而能加强该弯折部连接该连接部与底板部的强度,进而能避免因为长期使用而导致该底板部弯曲变形,因此能减少该镀膜设备停机维修的次数,而能提高整体镀膜产能。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

强化型扩散板
本技术是有关于一种气体扩散板,特别是关于一种强化型扩散板。
技术介绍
参阅图1,现有气体扩散板2是设置于一镀膜设备1的设置板11上,并包括一用以设置于该设置板11上的板体21、一由该板体21围绕界定的气室22,以及多个形成于该板体21上并使该气室22连通于外界的贯穿孔23。在实际使用时,该镀膜设备1包括一与现有气体扩散板2间隔设置的加热座12,并将一待镀物13放置于该加热座12上,接着将气体送入该气室22内,并藉由所述贯穿孔23 使气体分散输出,进而使气体受热之后能均勻地蒸镀于该待镀物13的表面,如此即可完成镀膜作业。参阅图2,由于现有气体扩散板2的整体强度不足,而且与该加热座12距离相当接近,因此在高温环境下该板体21的强度会降低,另外,位于该气室22内的气体在受热之后会膨胀而产生气体压力而将该板体21向外推。因此,现有气体扩散板2在高温环境与气体压力的双重影响之下容易产生弯曲变形的问题。而当现有气体扩散板2产生弯曲变形时,就会造成输出气体不均勻,而导致镀膜成品的厚度均勻性变差。因此必须将该镀膜设备1暂时停机,才能更换新的现有气体扩散板2,但是停机同时也会造成该镀膜设备1的产能利用率下降。所以,如何改善以上所述的缺点,一直是本
者持续努力的重要目标。
技术实现思路
因此,本技术的目的,即在提供一种能避免变形进而提升镀膜设备产能的强化型扩散板。于是,本技术强化型扩散板,用以设置于一镀膜设备的设置板上,该强化型扩散板包含一用以连接于该镀膜设备的设置板上的连接部、一与该连接部相间隔的底板部, 以及一连接该底板部与连接部的弯折部。该底板部包括一与该连接部相间隔的板体,以及多个形成于该板体上的贯穿孔。该弯折部与该连接部、底板部相配合界定出一分流室,该弯折部包括一与该分流室同侧的内弯折段,以及一相反于该内弯折段的外弯折段,该内弯折段与外弯折段的最短切线厚度为4. 06mm至6. 72mm之间。所述的强化型扩散板,其特征在于该内弯折段的弧度半径为3. Omm至10. Omm之间。所述的强化型扩散板,其特征在于该外弯折段的弧度半径为1.0mm至3. Omm之间。所述的强化型扩散板,其特征在于该弯折部的内弯折段的弧度半径为3. 0mm,该外弯折段的弧度半径为1. 5mm。3所述的强化型扩散板,其特征在于该底板部的每一贯穿孔具有一连通于该分流室的大孔径段、一连通于外界的小孔径段,以及一由该大孔径段朝小孔径段渐缩的中肩段, 该中肩段与水平线的夹角为10度至35度。所述的强化型扩散板,其特征在于每一贯穿孔的中肩段与水平线的夹角为12度。所述的强化型扩散板,其特征在于该底板部的每一贯穿孔具有一连通于该分流室的大肩段、一连通于该大肩段的大孔径段、一连通于外界的小肩段、一连通于该小肩段的小孔径段,以及一由该大孔径段朝小孔径段渐缩的中肩段,该中肩段与水平线的夹角为10 度至35度,该大肩段是由该大孔径段朝该分流室方向渐扩,该小肩段是由该小孔径段朝外界方向渐扩。所述的强化型扩散板,其特征在于每一贯穿孔的大肩段弧度半径为0.02mm至 0. 08mm之间,该小肩段弧度半径为0. 02mm至0. 08mm之间。所述的强化型扩散板,其特征在于每一贯穿孔的大肩段弧度半径为0.05mm,该小肩段弧度半径为0. 05mm。所述的强化型扩散板,其特征在于每一贯穿孔的中肩段与水平线的夹角为12度。所述的强化型扩散板,其特征在于该弯折部的截面厚度不小于该底板部的板体的截面厚度。所述的强化型扩散板,其特征在于该板体具有一连接于该弯折部的外围段,以及一受该外围段所围绕的中央段,该外围段的平均厚度是大于该中央段的平均厚度。所述的强化型扩散板,其特征在于该板体的厚度是由该外围段向该中央段渐减, 该外围段最大厚度与该中央段最小厚度的差值小于1mm。本技术的功效在于藉由该弯折部的内弯折段的结构设计,而能加强该弯折部连接该连接部与底板部的强度,进而能避免因为长期使用而导致该底板部弯曲变形,因此能减少该镀膜设备停机维修的次数,而能提高整体镀膜产能。附图说明图1是--剖视示意图,说明现有气体扩散板;图2是—-剖视示意图,辅助说明现有气体扩散板;图3是—-剖视示意图,说明本技术强化型扩散板的第一较佳实施例;图4是--仰视图,辅助说明该第一较佳实施例;图5是—-局部剖视图,辅助说明该第一较佳实施例;图6是—-局部剖视图,说明本技术强化型扩散板的第二较佳实施例;图7是--局部剖视图,辅助说明该第二较佳实施例的贯穿孔;图8是—-局部剖视图,辅助说明该第二较佳实施例的小肩段;图9是—-局部剖视图,辅助说明该第二较佳实施例的大肩段;以及图10是-一剖视示意图,说明本技术强化型扩散板的第三较佳实施例。3 · · 镀膜设备31 · · 设置板32 · · ·加热座33 · · 缓冲板331 · · 气孔34 · · 待镀物4 · · · 连接部5 · · · 底板部51 · · ·板体511 · · 外围段512 · · ·中央段52 · · 贯穿孔521 · · 大孔径段522 · · ·小孔径段523 · · ·中肩段524 · · 大肩段525 · · ·小肩段6 · · · 弯折部61 · · ·内弯折段62 · · 外弯折段7.....分流室8.....螺丝Tl · · · ·最短切线厚度具体实施方式有关本技术的前述及其他
技术实现思路
、特点与功效,在以下配合参考图式之三个较佳实施例的详细说明中,将可清楚的呈现。在本技术被详细描述之前,要注意的是,在以下的说明中,类似的元件是以相同的编号来表示。参阅图3与图4,为本技术强化型扩散板的第一较佳实施例,用以设置于一镀膜设备3的设置板31上。本技术强化型扩散板包含一用以连接于该镀膜设备3的设置板31上的连接部4、一与该连接部4相间隔的底板部5,以及一连接该底板部5与连接部4的弯折部6。特别说明的是,在本较佳实施例中是以多个螺丝8而能将本技术强化型扩散板螺合迫紧于该设置板31上,当然也可以使用卡榫或其他的连接方式,不应以本较佳实施例所揭露的内容为限。参阅图3与图5,该底板部5包括一与该连接部4相间隔的板体51,以及多个形成于该板体51上的贯穿孔52。在本较佳实施例中,该底板部5的每一贯穿孔52具有一连通于该分流室7的大孔径段521、一连通于外界的小孔径段522,以及一由该大孔径段521朝小孔径段522渐缩的中肩段523,该中肩段523与水平线的夹角为10度至35度。较佳地, 每一贯穿孔52的中肩段523与水平线的夹角为12度,藉由此夹角的结构设计可以达到较佳的气体导引效果。该弯折部6与该连接部4、底板部5相配合界定出一分流室7,该弯折部6包括一与该分流室7同侧的内弯折段61,以及一相反于该内弯折段61的外弯折段62,该内弯折段 61与外弯折段62的最短切线厚度Tl为4. 06mm至6. 72mm之间。在本较佳实施例中,该内弯折段61的弧度半径为3. Omm至10. Omm之间;该外弯折段62的弧度半径为1. Omm至3. Omm之间。较佳地,该内弯折段61之弧度半径为3. Omm ;该外弯折段6本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种强化型扩散板,设置于一镀膜设备的设置板上,其特征在于:该强化型扩散板包含:一连接部,用以连接于该镀膜设备的设置板上;一底板部,包括一与该连接部相间隔的板体,以及多个形成于该板体上的贯穿孔;以及一弯折部,连接该底板部与连接部,该弯折部并与该连接部、底板部相配合界定出一分流室,该弯折部包括一与该分流室同侧的内弯折段,以及一相反于该内弯折段的外弯折段,该内弯折段与外弯折段的最短切线厚度为4.06mm至6.72mm之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:许文雄
申请(专利权)人:光阳工业股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:71

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