硅单晶炉测温探头安装机构制造技术

本发明专利技术公开一种硅单晶炉测温探头安装机构，其包括测温探头，所述测温探头通过安装法兰安装于硅单晶炉体之上，所述安装法兰上开设有若干个不对称分布的安装孔，所述安装孔处于同一圆周上，利用固定螺钉穿过安装孔固定测温探头，上述硅单晶炉测温探头安装机构的安装法兰的安装孔采用不对称分布，避免了维修拆装时，产生的位置偏差，确保每次安装的一致性，不仅结构简单，易于实现，而且安装便捷，避免由于位置偏差导致的温度偏差。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅单晶炉测温装置，尤其涉及一种硅单晶炉测温探头安装机构。
技术介绍
目前，硅单晶炉工艺中有加热和控温过程，安装有测温探头。探头的安装方式可以是螺纹式或法兰式，法兰式采用几个(通常是4)均勻分布的螺钉固定，但是测温探头对安装位置，角度，以及探头本身的旋转角度比较敏感，在现实维护安装时上述安装方式无法保证重复性，结果会引起测量误差。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅单晶炉测温探头安装机构，其具有结构简单，安装便捷以及避免产生安装偏差的特点。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现一种硅单晶炉测温探头安装机构，其包括测温探头，所述测温探头通过安装法兰安装于硅单晶炉体之上，其中，所述安装法兰上开设有若干个不对称分布的安装孔，利用固定螺钉穿过安装孔固定测温探头。特别地，所述安装孔设置为3个，对应安装孔设置有3个固定螺钉。特别地，所述安装孔处于同一圆周上，且将所处圆周分割成中心角分别为 130° 130°和100°的三段圆弧。本专利技术的有益效果为，所述硅单晶炉测温探头安装机构的安装法兰的安装孔采用不对称分布，避免了维修拆装时，产生的位置偏差，确保每次安装的一致性，不仅本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种硅单晶炉测温探头安装机构，其包括测温探头，所述测温探头通过安装法兰安装于硅单晶炉体之上，其特征在于：所述安装法兰上开设有若干个不对称分布的安装孔，利用固定螺钉穿过安装孔固定测温探头。

【技术特征摘要】
1.一种硅单晶炉测温探头安装机构，其包括测温探头，所述测温探头通过安装法兰安装于硅单晶炉体之上，其特征在于所述安装法兰上开设有若干个不对称分布的安装孔，利用固定螺钉穿过安装孔固定测温探头。2.根据权利要求1所述的硅单晶炉测温探头...

【专利技术属性】
技术研发人员：惠梦君，
申请(专利权)人：无锡市惠德晶体控制设备有限公司，
类型：发明
国别省市：32