【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅单晶炉炉盖，尤其涉及一种硅单晶炉炉盖观察窗。
技术介绍
请参阅图1及图2所示，图1为传统的硅单晶炉炉盖观察窗的俯视图，图2为传统的硅单晶炉炉盖观察窗的侧视图，传统的硅单晶炉炉盖1上分别设置有第一观察窗10和第二观察窗11，所述第一观察窗10用于利用摄像机3进行观察，第二观察窗11用于人工进行观察，且所述第一观察窗10设置于炉盖1的竖直方向上，第二观察窗11设置于炉盖1的水平方向上，一般第一观察窗10处设置有2个摄像头，它们的俯角不一样。传统的硅单晶炉炉盖观察窗的设计会限制摄像头的俯角，存在观察盲区。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅单晶炉炉盖观察窗，其具有结构简单，对摄像头俯角限制小的特点。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现一种硅单晶炉炉盖观察窗，其包括设置于硅单晶炉炉盖之上的第一观察窗和第二观察窗，所述第一观察窗的窗口处设置有若干个摄像头，其中，且所述第一、第二观察窗均设置于炉盖所处平面的水平方向上。特别地，所述摄像头设置为2个，沿炉盖的径向线并列设置于第一观察窗窗口处。特别地，所述第一、第二观察窗为椭圆形、矩形或长圆形的任一种...
【技术保护点】
１．一种硅单晶炉炉盖观察窗，其包括设置于硅单晶炉炉盖之上的第一观察窗和第二观察窗，所述第一观察窗的窗口处设置有若干个摄像头，其特征在于：所述第一、第二观察窗均设置于炉盖所处平面的水平方向上。
【技术特征摘要】
1.一种硅单晶炉炉盖观察窗，其包括设置于硅单晶炉炉盖之上的第一观察窗和第二观察窗，所述第一观察窗的窗口处设置有若干个摄像头，其特征在于所述第一、第二观察窗均设置于炉盖所处平面的水平方向上。2.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：惠梦君，
申请(专利权)人：无锡市惠德晶体控制设备有限公司，
类型：发明
国别省市：32
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