【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅单晶炉摄像头安装结构，尤其是涉及一种硅单晶炉摄像头安装支
技术介绍
硅单晶炉可以通过摄像头获取晶棒生长过程中固液界面的图像，请参阅图1及图 2所示，图1为传统的硅单晶炉摄像头安装结构的示意图，图2为传统的硅单晶炉摄像头安 装结构的俯视图，通常一台单晶炉配合观察窗1需要安装第一摄像头10和第二摄像头11， 所述观察窗1设置于单晶炉筒的竖直方向之上，第一摄像头10采用长焦镜头，聚焦在液面 中心，控制籽晶生长；第二摄像头11聚焦在晶棒外缘，控制晶棒生长，安装时，第一摄像头 10和第二摄像头11的中心在水平面上处同一圆周上，且在垂直面上有一定角度差别，这种 安装结构主要缺点是需要2个对立安装支架，分别调整，安装复杂，同时摄像头的俯角受观 察窗结构限制。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅单晶炉摄像头安装支架，其具有结构简单，安装方 便，调整容易以及摄像头的俯角受观察窗尺寸限制小的特点。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现一种硅单晶炉摄像头安装支架，其包括设置于观察窗上的立板，所述立板水平面 上与硅单晶炉筒径向线平行，且所述立板之上并列设置有若干个摄像头。特别地，所述摄像头设置为2个，且水平面上镜头的设置与硅单晶炉筒径向线重I=I O本专利技术的有益效果为，所述硅单晶炉摄像头安装支架不仅结构简单，易于实现；而 且安装方便，调整容易，摄像头的俯角受观察窗尺寸限制小，适用面宽。附图说明下面根据附图和实施例对本专利技术作进一步详细说明。图1为传统的硅单晶炉摄像头安装结构的示意图，图2为传统的硅单晶炉摄像头安装结构的俯视图，图3为本专利技术硅单晶...
【技术保护点】
１．一种硅单晶炉摄像头安装支架，其特征在于：包括设置于观察窗上的立板，所述立板水平面上与硅单晶炉筒径向线平行，且所述立板之上并列设置有若干个摄像头。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：惠梦君，
申请(专利权)人：无锡市惠德晶体控制设备有限公司，
类型：发明
国别省市：32
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