【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅单晶炉翻板阀室，尤其涉及一种硅单晶炉翻板阀室观察窗。
技术介绍
硅单晶炉炉室部分由主室，翻板阀室和副室组成。翻板阀室在主室和副室之间，起联通和隔断作用。在晶体生长和取晶棒时都要经过翻板阀室，所以它有一个观察窗，当炉内高温时，由于热辐射吸收使这个观察窗发热。与之相接触的橡胶密封圈会过热而失去密封作用，通常有两个方案解决这个问题一是采用双层(石英)玻璃，中间水冷。它的缺点是一旦玻璃碎了，水会涌入高温炉室内，照成安全隐患。此外结构设计安装都比较复杂。二是采用单层石英玻璃。为了减少过热，将窗口尺寸减小很多。优点是结构简单，缺点是视野太小，观察操作不便。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅单晶炉翻板阀室观察窗，其具有结构简单，安装方便以及安全可靠性高的特点。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现一种硅单晶炉翻板阀室观察窗，其包括安装于翻板阀室之上的观察玻璃，其中，所述观察玻璃位于翻板阀室室内的表面上镀有反光层。特别地，所述反光层设置为环形结构，于观察玻璃的中间位置留有透明的观察小窗。特别地，所述观察玻璃为石英玻璃，所述反光层为具有反光特性的金属膜...
【技术保护点】
１．一种硅单晶炉翻板阀室观察窗，其包括安装于翻板阀室之上的观察玻璃，其特征在于：所述观察玻璃位于翻板阀室室内的表面上镀有反光层。
【技术特征摘要】
1.一种硅单晶炉翻板阀室观察窗，其包括安装于翻板阀室之上的观察玻璃，其特征在于所述观察玻璃位于翻板阀室室内的表面上镀有反光层。2.根据权利要求1所述的硅单晶炉翻板阀室观察窗；其特征在于所述反光层设置为环形结构，于观察玻璃的中间位置留有透明的观察小窗。3.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：惠梦君，
申请(专利权)人：无锡市惠德晶体控制设备有限公司，
类型：发明
国别省市：32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。