下载硅单晶炉翻板阀室观察窗的技术资料

文档序号:6593712

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本发明公开一种硅单晶炉翻板阀室观察窗,其包括安装于翻板阀室之上的观察玻璃,所述观察玻璃位于翻板阀室室内的表面上镀有反光层,所述反光层设置为环形结构,且于观察玻璃的中间位置留有透明的椭圆形结构的观察小窗,上述硅单晶炉翻板阀室观察窗的观察玻璃位...
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