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本发明公开一种硅单晶炉炉盖观察窗,其包括设置于硅单晶炉炉盖之上的第一观察窗和第二观察窗,所述第一观察窗和第二观察窗均设置于炉盖所处平面的水平方向上,所述第一观察窗的窗口处设置有2个摄像头,摄像头沿炉盖的径向线并列设置,上述硅单晶炉炉盖观察窗...该专利属于无锡市惠德晶体控制设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡市惠德晶体控制设备有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种硅单晶炉炉盖观察窗,其包括设置于硅单晶炉炉盖之上的第一观察窗和第二观察窗,所述第一观察窗和第二观察窗均设置于炉盖所处平面的水平方向上,所述第一观察窗的窗口处设置有2个摄像头,摄像头沿炉盖的径向线并列设置,上述硅单晶炉炉盖观察窗...