【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及薄膜或光学元件表面激光损伤的判别方法及其判定装置。
技术介绍
在大功率高能量激光系统中，存在大量的薄膜元件，这些元件的抗激光损伤能力与系统能否正常有效运行密切相关。已有研究表明，薄膜元件在强激光下的破坏完全由元件表面薄膜的抗激光能力所决定。因此，随着高功率激光器应用范围的不断扩大，薄膜抗激光损伤性能的重要性日益突出，以致激光损伤阈值成为光学薄膜元件不可缺少的一项性能指标，因而对光学薄膜激光损伤阈值的测试也就成为亟待解决的技术问题。在激光损伤阈值测试过程中，如何准确、实时、快速、在线的判别薄膜是否损伤成为研究的核心一环。为得到薄膜的激光损伤阈值，首要的条件是对薄膜在强激光作用下是否发生损伤做出快速准确的判别，即薄膜发生怎样的变化即认为发生了损伤。目前判别薄膜及光学表面损伤的方法主要有相衬显微法、散射光强检测法、等离子体闪光法、光声测量法、光热法等，各种判定方法各有其优劣性。其中相衬显微法是国际标准IS0112M所推荐的一种检测方法，这种方法采用放大倍率为100-150倍的Normaski 显微镜对激光辐照后的表面进行观测，以判别薄膜是否发生损伤，这...
【技术保护点】
１．一种薄膜或光学元件表面激光损伤的判别方法，作用激光对样片进行单脉冲的激光辐照，如果样品表面没有发生损伤，其表面不发生等离子体闪光；如果样品表面发生了损伤，在损伤瞬间会发生强烈的等离子体闪光，分析闪光光谱，如果出现了Ｎ、Ｏ、Ｈ、Ｃ以外元素的发光峰，则判定出现损伤。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：苏俊宏，徐均琪，惠迎雪，梁海锋，杨利红，朱昌，
申请(专利权)人：西安工业大学，
类型：发明
国别省市：87
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