一种波面融合重建方法及装置制造方法及图纸

技术编号:46503886 阅读:6 留言:0更新日期:2025-09-26 19:19
本发明专利技术公开了一种波面融合重建方法及装置,涉及光学精密测量技术领域。用于解决现有技术对面形复杂、曲率变化大的非球面面形检测存在限制,导致测量范围小以及检测精度低的问题。包括:根据奈奎斯特采样定律,确定待测非球面面形的波前斜率的极限分辨点坐标,根据所述极限分辨点坐标对所述待测非球面面形的波前斜率进行环带划分,根据环带区域内所占像素的大小,确定所述环带区域的剪切量;进行环带划分的所述待测非球面通过干涉装置,得到与每个环带区域对应的剪切干涉条纹图,对所述剪切干涉条纹图进行包裹相位提取,得到包裹相位值,对所述包裹相位值进行解包得到与所述环带区域对应的真实相位值;对所述真实相位值进行差分处理,得到相邻相位之间的相位差值,通过差分Zernike多项式对所述相位差值进行拟合,得到与每个所述环带区域对应环带区域面形;对多个所述环带区域面形进行拼接,得到与所述待测非球面面形大小相同的波前面形,通过差分Zernike多项式对所述波前面形进行拟合,得到与所述待测非球面对应的重建面形。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学精密测量,更具体的涉及一种波面融合重建方法及装置


技术介绍

1、非球面光学元件可以校正红外或可见光成像系统的像差与色差、增大视场、简化光学系统结构,使得光学设计更加灵活,近年来,随着制造技术的不断进步和对复杂光学曲面测量的需求增加,尤其是在光学、精密加工等领域,对非球面面形检测变得日益重要。

2、横向剪切干涉技术作为光学检测的有效手段之一,具有对测量环境稳定性要求不高、光源相干性要求低、抗干扰性能力强、无需额外参考面等优点。然而,传统的单一剪切量干涉技术在处理非球面表面时受到限制,尤其是在面形复杂、曲率变化大的情况下,其测量精度和稳定性受到挑战。具体而言,非球面环带曲率大小不一致,尤其是在非球面度较大时,表面与最适球之间的像差增大,导致非球面面形边缘区域的干涉条纹密集,出现条纹分布不均现象。干涉条纹过密使得干涉图样出现局部失真,边缘条纹的解析度降低,进而影响测量精度和准确性。


技术实现思路

1、本专利技术实施例提供一种波面融合重建方法及装置,用于解决现有技术对面形复杂、曲率变化本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种波面融合重建方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述极限分辨率坐标对所述待测非球面面形的波前斜率进行环带划分,根据环带区域的边界条纹所占像素数大小,确定所述环带区域的剪切量,包括:

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述待测非球面面形的波前斜率如下所示:

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,通过下列公式进行包裹相位提取:

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,通过下列公式确定相邻相位之间的相位差值:

6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,通过下列公式确定与每个所述环带区...

【技术特征摘要】

1.一种波面融合重建方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述极限分辨率坐标对所述待测非球面面形的波前斜率进行环带划分,根据环带区域的边界条纹所占像素数大小,确定所述环带区域的剪切量,包括:

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述待测非球面面形的波前斜率如下所示:

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,通过下列公式进行包裹相位提取:

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,通过下列公式确定相邻相位之间的相位差值:

6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,通过下列公...

【专利技术属性】
技术研发人员:王红军刘波田爱玲刘丙才王思淇朱学亮
申请(专利权)人:西安工业大学
类型:发明
国别省市:

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