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本发明涉及薄膜或光学元件表面激光损伤的判别方法及其判定装置。现有技术主观性强，工作强度大，测试效率低。本发明提供一种薄膜或光学元件表面激光损伤的判别方法，作用激光对样片进行单脉冲的激光辐照，如果样品表面没有发生损伤，其表面不发生等离子体闪光...
该专利属于西安工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安工业大学授权不得商用。

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