激光诱导击穿光谱原位分析仪制造技术

一种激光诱导击穿光谱原位分析仪，属材料分析表征技术领域。包括激发光源系统、激光光束整形系统、分光系统、高速信号采集系统、信号解析系统、样品室真空系统、连续激发同步扫描定位系统以及样品表面成像系统。激光光源发出激光光束通过光束整形系统处理后，聚焦在可三维移动的被分析样品表面。样品室真空系统给被分析样品提供密闭环境以便充入保护气。分光系统和信号采集系统通过光电倍增管相互连接，在样品表面产生的等离子体光谱经过分光系统产生的光信号通过光电倍增管转换成电信号。数据处理系统对产生的光电信号进行处理和计算，输出样品中各元素含量、原位统计分布等结果。比现有技术的优势体现在功能的增加和样品范围的拓展。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属材料分析表征
，特别涉及一种激光诱导击穿光谱原位分析仪， 通过对激光剥蚀材料表面所产生的光谱信号进行高速数据采集和解析，可以实现块状固体材料中各元素含量的定量分析、涂镀层等表面处理材料深度方向各元素成分分布分析；大尺度范围内(cm2级及以上)各元素分布均勻度，偏析度，致密度和疏松度等的统计分析、表面缺陷及夹杂物分析等。
技术介绍
材料的化学成分及其分布对材料的性能有很大的影响。冶金过程不仅需要了解材料的化学成分，更期望了解各种化学成分在材料中的分布状况及形态等。扫描电子显微镜、 电子探针等技术可表征材料微区范围内(mm2)的化学组成及组织结构、是材料性能解析的十分重要的技术。材料大尺度范围内(CIIl2)化学成分、偏析、表面缺陷、夹杂物的含量是钢铁等材料生产质量控制最重要的四项内容。在传统技术中，采用硫印试验来检验元素在钢中偏析或分布，用酸浸试验来检验中心疏松，采用金相法检验夹杂物的形貌、分布，上述传统方法手续繁锁、分析速度慢，信息量少，结果无法定量化。基于火花源的金属原位统计分布分析仪成功地解决了平整规则金属材料表面大尺度范围内化学成分及其状态的原位统计分布分析本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种激光诱导击穿光谱原位分析仪，由激发光源系统、激光光束整形系统、分光系统、高速信号采集系统、信号解析系统、样品室真空系统、连续激发同步扫描定位系统、样品表面成像系统组成；分光系统处于整个仪器的中心，激发光源系统和分光系统通过螺丝固定到分光系统上方，样品室真空系统固定到分光系统的入光口处，连续激发同步扫描定位系统位于封闭的样品室真空系统内，样品表面成像系统固定于样品室真空系统上方，高速信号采集系统放置在样品室真空系统下侧，通过光电倍增管和分光系统相连接；激光光源系统产生的激光光束通过光束整形系统处理后聚焦于样品表面；样品室真空系统给样品室提供密闭环境以便充入保护气；分光系统和信号采集系统通...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈吉文，韩鹏程，陈永彦，赵雷，袁良经，姚宁娟，屈华阳，
申请(专利权)人：钢铁研究总院，
类型：发明
国别省市：11