基板卸载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基板卸载装置，其具有腔内传输机构及腔外传输机构，在腔内传输机构的两端分别安装有腔内感应系统，腔外传输机构的两端分别安装有腔外感应系统，且真空腔体及腔内传输机构上均设置有冷却水管，因此，在镀膜生产线上的高温基板经过腔内传输机构传输的同时，真空腔体及腔内传输机构上的冷却水管对基板进行有效冷却，避免现有技术中基板与冷却板直接接触的方式，不易损坏基板，提高生产的良品率，冷却后的基板经腔外传输机构进行卸载，实现在真空环境下对高温基板进行卸载的同时对其有效冷却，使操作精度高。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种基板卸载装置，尤其涉及一种对高温基板进行卸载的同时可 对基板进行有效冷却的装置。
技术介绍
真空镀膜技术是真空
的一个重要组成部分，其主要利用物理、化学等手 段在固体基板表面形成一层特殊性能的膜层，它已广泛的应用于光学、电子学、半导体制 品、能源开发、民用制品、表面科学等
中，在半导体工业中，真空镀膜技术一般是指 用物理方法沉积薄膜，真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀，其中，蒸发镀 膜技术即通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体基板表面，这种方法最早由M ·法拉第于 1857年提出，现代已成为常用镀膜技术之一，在蒸发镀膜过程中，蒸发物质如金属、化合物 等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，待镀工件例如金属、陶瓷、塑料等基板置于坩埚前 方，待系统抽至高真空后，加热坩埚使其中的物质蒸发，蒸发物质的原子或分子以冷凝方式 沉积在基板表面，薄膜厚度可由数百埃至数微米，膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间，并 与蒸发源和基片的距离有关，对于大面积镀膜，常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证 膜层厚度的均勻性，从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程， 以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。但镀膜工艺完成后，基板通常具有较高的温度，需先对基板进行冷却处理并卸载 后方能进行后续工艺，对基板进行冷却是以防止膜层高温暴露在环境中造成膜层损坏，或 者因工艺引起基板反常升温而造成膜层损坏，众所周知，热量的传递方式有三种辐射、传 导及对流，由于真空镀膜过程中分子极度稀薄，通过对流带走的热量极少，并且由于基板与 冷却板之间的温差不会太大，所以辐射带走的热量也不多，由于辐射及对流的方式在真空 中难以达到对基板快速降温目的，因此，目前普遍采用传导方式对真空中的基板进行降温， 即采用冷却板与基板直接接触对即基板进行降温，但这种接触式降温方式容易造成基板破 损或表面划伤，降低良品率，并且操作精度低。因此，急需一种在对基板进行卸载的同时对其进行冷却、冷却效果好且良品率高 的基板卸载装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种基板卸载装置，其在对基板进行卸载的同时能对 基板进行有效冷却，且良品率高。为实现上述目的，本技术的技术方案为提供一种基板卸载装置，适用于对高 温基板进行卸载并进行冷却，其包括控制系统、抽真空系统、感应系统、传输机构及具有腔 盖的真空腔体，所述抽真空系统、感应系统及传输机构均与所述控制系统连接，所述真空腔 体的前后两端分别设置有入口及出口，所述入口与上游设备密封连接，所述出口与下游设 备密封连接，所述真空腔体上还设置有抽真空口，所述抽真空系统与所述真空腔体的抽真空口密封连接，其中，所述传输机构包括腔内传输机构及腔外传输机构，所述腔内传输机构 设置于真空腔体内且对接于所述入口与所述出口之间，所述腔外传输机构设置于真空腔体 外且对接于所述出口处，所述腔内传输机构及腔外传输机构形成所述基板卸载通道，所述 感应系统包括腔内感应系统及腔外感应系统，所述腔内感应系统设置于所述腔内传输机构 的两端，所述腔外感应系统设置于所述腔外传输机构的两端，且所述真空腔体及所述腔内 传输机构上均设置有冷却水管。较佳地，所述腔内传输机构包括电机、固定座、磁流体及若干滚轮，所述滚轮通过 所述固定座安装于所述真空腔体内，所述滚轮用于传输所述基板，所述磁流体密封安装于 所述真空腔体上，所述电机安装于所述真空腔体外且所述电机的输出轴密封地穿过所述磁 流体与所述滚轮连接，所述电机带动所述滚轮转动，电机穿过磁流体与滚轮连接，实现真空 腔体内部良好的密封性，且电机不会污染真空腔体内部。较佳地，所述真空腔体的入口处设置有第一闸阀，所述出口处设置有第二闸阀，所 述第一间阀及第二间阀分别对所述真空腔体的入口及处口进行密封，且在卸载基板过程中 操作简便。较佳地，所述抽真空系统包括真空计、冷凝泵、前期泵及充氮气机构，所述冷凝泵、 前期泵及充氮气机构分别通过冷泵阀、前期泵阀、氮气充气阀与所述真空腔体的抽真空口 对接，所述真空计连接于所述抽真空口处，抽真空系统使真空腔体内部可在短时间内达到 高真空，且可以在高真空与标准大气压之间频繁快速的切换。较佳地，所述腔内感应系统包括第一光电传感器及第二光电传感器，所述第一光 电传感器及第二光电传感器分别设置于所述腔内传输机构的前后两端，所述腔外感应系统 包括第三光电传感器及第四光电传感器，所述第三光电传感器及第四光电传感器分别设置 于所述腔外传输机构的前后两端，使基板卸载过程的操作具有高精度。较佳地，所述腔外传输机构包括电机、固定座及若干滚轮，所述滚轮通过所述固定 座安装于所述真空腔体外且与所述腔内传输机构相对应，所述电机带动所述滚轮转动，冷 却后的基板通过腔外传输机构进行卸载，使生产连续，操作简便。较佳地，所述真空腔体的腔盖上还设置有冷却水管，用于进一步冷却基板。较佳地，所述真空腔体的腔盖上还设置有传感器，用于感应腔盖的关闭，便于全自 动控制，更具体地，所述真空腔体的腔盖上还设置有减振器，用于缓冲腔盖开启同时保护密 封圈。与现有技术相比，由于本技术基板卸载装置具有腔内传输机构及腔外传输机 构，在腔内传输机构的两端分别安装有腔内感应系统，腔外传输机构的两端分别安装有腔 外感应系统，且真空腔体及腔内传输机构上均设置有冷却水管，因此，在镀膜生产线上的高 温基板经过腔内传输机构传输的同时，真空腔体及腔内传输机构上的冷却水管对基板进行 有效冷却，避免现有技术中基板与冷却板直接接触的方式，不易损坏基板，提高生产的良品 率，冷却后的基板经腔外传输机构进行卸载，实现在真空环境下对高温基板进行卸载的同 时对其有效冷却，使操作精度高。附图说明图1是本技术基板卸载装置的结构示意图。图2是本技术基板卸载装置的系统框图。具体实施方式现在参考附图描述本技术的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元 件。如图1、图2所示，本技术基板卸载装置包括控制系统10、感应系统20、传输机 构30、抽真空系统40及具有腔盖504的真空腔体50，感应系统20、传输机构30、抽真空系 统40均与控制系统10连接，真空腔体50的腔盖504上设置有氟橡胶密封圈，腔盖504关 闭时实现真空腔体50的良好密封，真空腔体50的前后两端分别设置有入口及出口，入口处 还设置有第一闸阀501，出口处设置有第二闸阀502，第一闸阀501及第二闸阀502分别对 真空腔体50的入口及处口进行密封，使基板卸载过程中的操作简便，真空腔体50的入口与 上游设备密封连接，真空腔体50的出口与下游设备密封连接，真空腔体50上还设置有抽真 空口 503，用于与抽真空系统40密封连接；传输机构30包括腔内传输机构31及腔外传输 机构32，腔内传输机构31设置于真空腔体50内且对接于所述入口与出口之间，腔内传输 机构31包括电机(图未示)、磁流体(图未示)、固定座311及若干滚轮312，滚轮312通 过固定座311安装于真空腔体50内，磁流体密封安装于所述真空腔体上，电机安装于所述 真空腔体50外，且所述电机的输出轴密封地穿过所述磁流体与所述滚轮312连接，电机带 动所述腔体内的滚轮312转动，滚轮312用于传输所述基板6本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种基板卸载装置，适用于对高温基板进行卸载并进行冷却，其包括控制系统、抽真空系统、感应系统、传输机构及具有腔盖的真空腔体，所述抽真空系统、感应系统及传输机构均与所述控制系统连接，所述真空腔体的前后两端分别设置有入口及出口，所述入口与上游设备密封连接，所述出口与下游设备密封连接，所述真空腔体上还设置有抽真空口，所述抽真空系统与所述真空腔体的抽真空口密封连接，其特征在于：所述传输机构包括腔内传输机构及腔外传输机构，所述腔内传输机构设置于真空腔体内且对接于所述入口与所述出口之间，所述腔外传输机构设置于真空腔体外且对接于所述出口处，所述腔内传输机构及腔外传输机构形成所述基板卸载通道，所述感应系统包括腔内感应系统及腔外感应系统，所述腔内感应系统设置于所述腔内传输机构的两端，所述腔外感应系统设置于所述腔外传输机构的两端，且所述真空腔体及所述腔内传输机构上均设置有冷却水管。

【技术特征摘要】
1.一种基板卸载装置，适用于对高温基板进行卸载并进行冷却，其包括控制系统、抽 真空系统、感应系统、传输机构及具有腔盖的真空腔体，所述抽真空系统、感应系统及传输 机构均与所述控制系统连接，所述真空腔体的前后两端分别设置有入口及出口，所述入口 与上游设备密封连接，所述出口与下游设备密封连接，所述真空腔体上还设置有抽真空口， 所述抽真空系统与所述真空腔体的抽真空口密封连接，其特征在于所述传输机构包括腔 内传输机构及腔外传输机构，所述腔内传输机构设置于真空腔体内且对接于所述入口与所 述出口之间，所述腔外传输机构设置于真空腔体外且对接于所述出口处，所述腔内传输机 构及腔外传输机构形成所述基板卸载通道，所述感应系统包括腔内感应系统及腔外感应系 统，所述腔内感应系统设置于所述腔内传输机构的两端，所述腔外感应系统设置于所述腔 外传输机构的两端，且所述真空腔体及所述腔内传输机构上均设置有冷却水管。2.如权利要求1所述的基板卸载装置，其特征在于所述腔内传输机构包括电机、固定 座、磁流体及若干滚轮，所述滚轮通过所述固定座安装于所述真空腔体内，所述滚轮用于传 输所述基板，所述磁流体密封安装于所述真空腔体上，所述电机安装于所述真空腔体外且 所述电机的输出轴密封地穿过所述磁流体与所述滚轮连接，所述电机带动所述滚轮转动。3.如权利要求1所述的基板卸载...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，郭业祥，刘惠森，范继良，王曼媛，王勇，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44