【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及钻机
,具体涉及一种可在硅芯或其它晶体材料上磨钻孔的钻机。
技术介绍
目前,在西门子法生产多晶硅的过程中硅芯搭接是一项非常重要的技术,传统的硅芯搭接技术采用“U”形口搭接或“V”形口搭接,即在竖硅芯上端开“U”形坡口或“V”形坡口,横硅芯端部搭接在坡口处。此搭接技术存在着以下两种缺陷第一,横硅芯端部与坡口搭接处形成线接触,接触面太小,造成搭接处接触不好电阻相应较大,在还原反应时此处得到的多晶硅质量较差,也就是行话叫法的“拐弯料”;第二,横硅芯在前后方向可以由U形或 V形槽定位,但在左右方向却无法定位;这样,在还原过程中容易造成硅芯倒伏。因此需改进为一种可有效提高接触面积和减小电阻的硅芯搭接方法,孔式硅芯搭接方法应用而生, 即在横硅芯上钻孔,将端部磨削好的竖硅芯穿入横硅芯两端的钻孔中。
技术实现思路
为了解决在硅芯上磨钻孔,从而更好的实施孔式搭接技术;本专利技术公开了一种可在硅芯或其它晶体材料上磨钻孔的钻机,该钻机可以满足孔式搭接技术中对硅芯孔的使用要求,实现在硅芯上磨钻孔且自动排屑,另外自动排屑功能减去了钻孔过程中的人工盯点, 不仅节约了成本,而 ...
【技术保护点】
1.一种可在硅芯或其它晶体材料上磨钻孔的钻机,包括机架上安装的进给系统、钻机头系统、卡具、冷却系统;所述钻机头系统设置在进给系统的大托盘(3)上,所述卡具对应于钻机头系统设置;其特征在于:所述钻机头系统包括电机A(31)、钻轴固定座(13)、设置在钻轴固定座上的钻轴(15)、设置在钻轴一端的钻头(14)、设置在钻轴另一端的旋转接头(23),钻轴(15)设置有内孔,钻头(14)和旋转接头设置有与钻轴(15)内孔贯通的冷却水通道;所述钻头(14)分为夹持部分(16)和钻头工作部分(17);钻头(14)内部设有冷却水通道(18),钻头设有进水孔(24)和出水孔(20);所述进水孔 ...
【技术特征摘要】
1.一种可在硅芯或其它晶体材料上磨钻孔的钻机,包括机架上安装的进给系统、钻机头系统、卡具、冷却系统;所述钻机头系统设置在进给系统的大托盘(3)上,所述卡具对应于钻机头系统设置;其特征在于所述钻机头系统包括电机A(31)、钻轴固定座(13)、设置在钻轴固定座上的钻轴(15)、设置在钻轴一端的钻头(14)、设置在钻轴另一端的旋转接头 (23),钻轴(15)设置有内孔,钻头(14)和旋转接头设置有与钻轴(15)内孔贯通的冷却水通道;所述钻头(14)分为夹持部分(16)和钻头工作部分(17);钻头(14)内部设有冷却水通道(18),钻头设有进水孔(24)和出水孔(20);所述进水孔(24)和出水孔(20)与冷却水通道(18)贯通;钻头工作部分(17)顶端设有钻头端面(19),钻头端面上至少设有一个出水孔(20),并且应有出水孔包含钻头(14)的回转中心点;包含钻头...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘朝轩,朱清奎,
申请(专利权)人:洛阳金诺机械工程有限公司,
类型:发明
国别省市:41
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