一种具有定向凝固组织多晶硅锭的制备装置制造方法及图纸

技术编号:6708697 阅读:298 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种具有定向凝固组织多晶硅锭的制备装置,它涉及一种多晶硅锭的制备装置,以解决现有多晶硅锭的制备是在陶瓷或石墨套筒中,套筒内壁对多晶硅产生污染,导致多晶硅锭纯度低的问题。冷却器设置在真空室的底板上,拉杆设置在冷却器中,拉杆与伺服电机连接,拉杆与石墨底座连接,石墨底座设置在冷坩埚中,冷坩埚上的每个通水孔分别通过细接管与方环状出水管连通,冷坩埚上的每个通水孔分别通过细接管与方环状进水管连通,进水接管的一端与方环状进水管连接,感应线圈缠绕在冷坩埚的外壁上,石墨管的出口与冷坩埚的内腔正对,聚料斗设置在石墨管上,壳体上的出口与聚料斗正对,螺杆设置在壳体上,料斗安在壳体进料口处。本发明专利技术用于制备多晶硅锭。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种多晶硅锭的制备装置。
技术介绍
目前市场上的硅太阳能电池主要有单晶硅、多晶硅和非晶硅三大类单晶硅太阳 能电池以其转换效率高04.5%)、质量稳定等特点在国际市场上得到了广泛的应用,但单 晶硅对原料的纯度要求高(99. 999999999% ),因此,单晶硅生产成本高,制约了单晶硅的 应用。多晶硅太阳能电池以其转换效率较高(19.8%),性能稳定和成本适中而得到广泛应 用,多晶硅电池对原料的纯度要求低,原料的来源渠道也较为广阔,可由铸锭而成,适合大 规模商业化生产,占据市场的主导地位。非晶硅太阳能电池转换效率较低(14.5%),性能 极不稳定,电池衰减快,其应用受到了制约。法国的E. Ehret和F. Durand等人将电磁连铸 技术应用于多晶硅连铸,这种方法制成的多晶硅定杂质含量基本相当,成本低,但是存在结 晶缺陷,多晶硅锭的组织不是定向凝固的柱状晶。定向凝固是在控制铸件内部传热、传质和 流动的条件下,金属(或晶体类材料)能够沿固定生长方向进行凝固或结晶的过程。定向 凝固后金属的组织特征是与凝固热流方向平行的一组平行柱状晶。定向凝固是在满足单向 的热量和质量传递基本条件下的特殊的材料加工工艺。目前定向凝固多晶硅锭的制备主要 是在直径为IOOmm左右的陶瓷(刚玉)或石墨套筒中进行,套筒内壁对多晶硅产生污染,以 致最后影响硅锭的纯度。
技术实现思路
本专利技术的目的是为解决现有多晶硅锭的制备主要是在陶瓷或石墨套筒中进行,套 筒内壁对多晶硅产生污染,导致多晶硅锭的纯度低的问题,提供一种具有定向凝固组织多 晶硅锭的制备装置。本专利技术包括炉体、真空室、真空泵、冷却器、拉杆、伺服电机、石墨底座、冷坩埚、方 环状出水管、出水接管、第一螺母、水箱进水管、方环状进水管、进水接管、第二螺母、水箱出 水管、感应线圈、石墨管、支撑板、聚料斗、壳体、螺杆、联轴器、可调式变速箱、步进电机和料 斗,真空室设置在炉体中,真空泵设置在真空室的侧壁上,真空泵的入口端与真空室连通, 冷却器设置在炉体和真空室的底板上,拉杆设置在冷却器中,拉杆的下端与伺服电机的输 出端连接,拉杆的上端与石墨底座连接,石墨底座设置在冷坩埚的内腔中,方环状出水管套 在冷坩埚的上端,冷坩埚上的每个通水孔分别通过细接管与方环状出水管连通,出水接管 的一端与方环状出水管连接,出水接管的另一端通过第一螺母与水箱进水管连接,方环状 进水管设置在方环状出水管的上方,冷坩埚上的每个通水孔分别通过细接管与方环状进水 管连通,进水接管的一端与方环状进水管连接,进水接管的另一端通过第二螺母与水箱出 水管连接,感应线圈位于方环状出水管的下方且缠绕在冷坩埚的外壁上,石墨管的下端出 口与冷坩埚的内腔正对,石墨管的上端固装在支撑板上,支撑板与真空室内壁固接,聚料斗 设置在石墨管上,壳体固装在支撑板上,且壳体上的出口与聚料斗正对,螺杆的两端分别通过轴承设置在壳体上,螺杆的输入端通过联轴器和可调式变速箱与步进电机传动连接,料 斗安装在壳体的进料口处。本专利技术具有以下优点一、由于定向凝固多晶硅锭是利用本专利技术设备制备的,且在 真空室内通过步进电机驱动螺杆连续送料,利用感应线圈加热与冷却器的强冷,冷坩埚内 的循环水路将加热的水强烈搅拌,使得多晶硅锭具有定向凝固组织的柱状晶,且柱状晶生 长连续、柱状晶大,柱状晶贯穿多晶硅锭的高度,因此,本专利技术方法制备的多晶硅锭纯度高 且无污染。二、本专利技术设备制备的多晶硅锭具有环保、低碳的优点。三、利用本专利技术设备制 备的具有定向凝固多晶硅锭适用于太阳能级多晶硅对纯度的要求。附图说明图1是本专利技术整体结构主剖视图, 图2是图1的A-A剖视图,图3是冷坩埚8的结构主剖视图, 图4是图3的B-B剖视图, 图5是图4的I局部放大图。具体实施例方式具体实施方式一结合图1和图2说明本实施方式,本实施方式包括炉体1、真空 室2、真空泵3、冷却器4、拉杆5、伺服电机6、石墨底座7、冷坩埚8、方环状出水管9、出水接 管10、第一螺母11、水箱进水管12、方环状进水管13、进水接管14、第二螺母15、水箱出水 管16、感应线圈17、石墨管18、支撑板19、聚料斗20、壳体21、螺杆22、联轴器23、可调式变 速箱对、步进电机25和料斗沈,真空室2设置在炉体1中,真空泵3设置在真空室2的侧 壁上,真空泵3的入口端与真空室2连通,冷却器4设置在炉体1和真空室2的底板上,拉 杆5设置在冷却器4中,拉杆5的下端与伺服电机6的输出端连接,拉杆5的上端与石墨底 座7连接,石墨底座7设置在冷坩埚8的内腔中,方环状出水管9套在冷坩埚8的上端,冷坩 埚8上的每个通水孔8-5分别通过细接管与方环状出水管9连通,出水接管10的一端与方 环状出水管9连接,出水接管10的另一端通过第一螺母11与水箱进水管12连接,方环状 进水管13设置在方环状出水管9的上方,冷坩埚8上的每个通水孔8-5分别通过细接管与 方环状进水管13连通,进水接管14的一端与方环状进水管13连接,进水接管14的另一端 通过第二螺母15与水箱出水管16连接,感应线圈17位于方环状出水管9的下方且缠绕在 冷坩埚8的外壁上,石墨管18的下端出口与冷坩埚8的内腔正对,石墨管18的上端固装在 支撑板19上,支撑板19与真空室2内壁固接,聚料斗20设置在石墨管18上,壳体21固装 在支撑板19上,且壳体21上的出口与聚料斗20正对,螺杆22的两端分别通过轴承设置在 壳体21上,螺杆22的输入端通过联轴器23和可调式变速箱M与步进电机25传动连接, 料斗26安装在壳体21的进料口处。冷却器4对液态金属有强烈的制冷效果。使用时,通 过感应线圈17向冷坩埚8内的颗粒硅感应加热,颗粒硅被感应熔化并形成熔体驼峰,冷坩 埚8下面的冷却器4为熔化颗粒硅提供强冷,形成定向凝固组织的柱状晶,柱状组织为外层 有Imm 2mm的多晶层,内部为平行于拉杆方向的柱状晶,将多晶层加工去除后即为具有定 向凝固多晶硅锭。冷坩埚8的材质为紫铜,紫铜颗粒硅不产生污染。伺服电机6的型号为4MHMA052A1C ;步进电机 25 的型号为 61K180RGN-CF。具体实施方式二 结合图3 图5说明本实施方式,本实施方式的冷坩埚8由上半 体8-1、下半体8-2和绝缘密封材料8-3组成,上半体8-1与下半体8_2固接,冷坩埚8的横 截面为方环状的空腔体,上半体8-1分割成十六个柱体8-4,十六个柱体8-4沿冷坩埚8截 面上的水平轴和垂直轴对称设置,每个柱体8-4的内部设有通水孔8-5,下半体8-2的侧壁 上对应通水孔8-5的位置处开有纵向盲孔8-6,每个纵向盲孔8-6与对应的通水孔8-5连 通,十六个盲孔8-6分为八组,每组两个盲孔8-6连通,每相邻两个柱体8-4之间留有间隙 T,所述间隙T内填充有绝缘密封材料8-3。绝缘密封材料8-3为天然云母片或环氧树脂。这 样设计使得坩埚具有更好的聚磁效果,使颗粒硅预热均勻,以制备出所需组织的多晶硅锭, 消除了硅颗粒预热度不够而造成感应熔化不良或感应熔化终止的现象,降低了冷坩埚自身 的能量损耗,提高了冷坩埚的电源利用率。其它组成及连接关系与具体实施方式一相同。具体实施方式三结合图3说明本实施方式,本实施方式的冷坩埚8的方环状空腔 体的内接圆本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有定向凝固组织多晶硅锭的制备装置,其特征在于:所述设备包括炉体(1)、真空室(2)、真空泵(3)、冷却器(4)、拉杆(5)、伺服电机(6)、石墨底座(7)、冷坩埚(8)、方环状出水管(9)、出水接管(10)、第一螺母(11)、水箱进水管(12)、方环状进水管(13)、进水接管(14)、第二螺母(15)、水箱出水管(16)、感应线圈(17)、石墨管(18)、支撑板(19)、聚料斗(20)、壳体(21)、螺杆(22)、联轴器(23)、可调式变速箱(24)、步进电机(25)和料斗(26),真空室(2)设置在炉体(1)中,真空泵(3)设置在真空室(2)的侧壁上,真空泵(3)的入口端与真空室(2)连通,冷却器(4)设置在炉体(1)和真空室(2)的底板上,拉杆(5)设置在冷却器(4)中,拉杆(5)的下端与伺服电机(6)的输出端连接,拉杆(5)的上端与石墨底座(7)连接,石墨底座(7)设置在冷坩埚(8)的内腔中,方环状出水管(9)套在冷坩埚(8)的上端,冷坩埚(8)上的每个通水孔(8-5)分别通过细接管与方环状出水管(9)连通,出水接管(10)的一端与方环状出水管(9)连接,出水接管(10)的另一端通过第一螺母(11)与水箱进水管(12)连接,方环状进水管(13)设置在方环状出水管(9)的上方,冷坩埚(8)上的每个通水孔(8-5)分别通过细接管与方环状进水管(13)连通,进水接管(14)的一端与方环状进水管(13)连接,进水接管(14)的另一端通过第二螺母(15)与水箱出水管(16)连接,感应线圈(17)位于方环状出水管(9)的下方且缠绕在冷坩埚(8)的外壁上,石墨管(18)的下端出口与冷坩埚(8)的内腔正对,石墨管(18)的上端固装在支撑板(19)上,支撑板(19)与真空室(2)内壁固接,聚料斗(20)设置在石墨管(18)上,壳体(21)固装在支撑板(19)上,且壳体(21)上的出口与聚料斗(20)正对,螺杆(22)的两端分别通过轴承设置在壳体(21)上,螺杆(22)的输入端通过联轴器(23)和可调式变速箱(24)与步进电机(25)传动连接,料斗(26)安装在壳体(21)的进料口处。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈瑞润黄锋郭景杰丁宏升苏彦庆李新中傅恒志
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学
类型:发明
国别省市:93

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