实时监控探针测试利用率的方法技术

本发明专利技术揭示了一种实时监控探针测试利用率的方法，用以监控多个探针台的工作状态，其从探针台的工作状态显示接口引出探针台的各种工作状态信号，并利用比较器将其转换为统一类型的电平信号，交由微处理器处理，利用微处理器将电平信号与相应的探针台信息转为通讯协议信号传输给远端的服务端，以在远端统一对所有探针台进行监控，避免了人员不断到各个探针台去巡视所带来的效率低下等技术问题。且可以根据不同探针台的工作状态显示接口的不同，设置所需数量的比较器，实现了对不同种类探针台的统一化管理，增加了探针台监控的实时性，进而可以提高探针台的利用率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体测试
，特别是涉及一种。
技术介绍
探针台是用在半导体领域对晶圆上的器件进行特性或故障分析而使用的精密机 台。对晶圆的测试过程由测试机、探针台等实现，通过探针台上的探针卡实现芯片上每个接 脚与测试机的稳定连接，由测试机判定晶圆上芯片的特性。探针台种类繁多，从操作上可分为手动、半自动以及全自动探针台；从功能上可分 为高温探针台，低温探针台，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针α寸。通常，在半导体测试领域，一个实验室或者企业需要配备多台或多个种类的探针 台，以满足不同产品的测试需求。为了提高测试效率，往往希望对这些探针台的使用状态进 行监控，然而，目前的监控方式为人工方式，即配备专门的工作人员，不断地到各个探针台 前巡视，这不仅浪费人力，而且会影响操作人员的工作，监控效果也不理想。即使，有些探针 台制造厂商为其探针台配备了监控系统，可是，其成本较高，需要另外购买，而且对于其他 厂商的探针台无法实现兼容，对于整个监控系统的扩展十分不利。为此，如何提供一种有效 的探针台实时监控方法实为本领域一重要课题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种，以解决现有探针台 监控效率低下等技术问题。为解决以上技术问题，本专利技术提供一种，用以监 控多个探针台的工作状态，其包括根据每个探针台的工作状态显示接口数量，为每个探针 台配置一监控单元，该监控单元包括微处理器以及分别与该微处理器连接的多个比较器、 存储器、通讯接口，其中每个监控单元内的比较器的数量为每个探针台的工作状态显示接 口数量；利用多个比较器分别接收其所连接的探针台的多种工作状态信号，并将所接收的 信号转换为电平信号；利用存储器存储对应的探针台的信息；利用微处理器将所述电平信 号与对应的探针台信息转换为通讯接口对应的通讯协议信号，以通过通讯接口将该通讯协 议信号传输给服务端；利用服务端根据所接收的通讯协议信号获取探针台的工作状态。进一步的，所述服务端包括集线器和工作机，且该方法还包括利用集线器接收多 每个监控单元所传输的通讯协议信号，并将其转换为工作机可以识别的信号；利用工作机 从集线器转换的信号中获得对应的探针台信息及其工作状态。进一步的，所述服务端与所述监控单元之间的信息交换方式为主动询问方式，即 服务端向监控单元发送询问信号，其中所述询问信号内包括一探针台的地址信息；对应于 所述询问信号内的探针台的地址信息的监控单元将其获得的探针台工作状态信号转换为通讯协议信号传输给服务端。进一步的，所述探针台的多种工作状态显示接口为状态指示灯接口。进一步的，所述探针台的状态指示灯包括红灯、绿灯与黄灯。进一步的，所述服务端包括显示装置与转换程序，所述转换程序运行将所接收到 的探针台工作状态信号转换为对应的指示灯颜色，并根据对应的探针台信息，于显示装置 上图形化显示各个探针台的工作状态。可见，以上方法从探针台的工作状态显示接口引出探针台的各种工作状态信号， 并利用比较器将其转换为电平信号，交由微处理器处理，利用微处理器将电平信号与相应 的探针台信息转为通讯协议信号传输给远端的服务端，以在远端统一对所有探针台进行监 控，避免了人员不断到各个探针台去巡视所带来的效率低下等技术问题。且可以根据不同 探针台的工作状态显示接口的不同，设置所需数量的比较器，实现了对不同种类探针台的 统一化管理，增加了探针台监控的实时性，进而可以提高探针台的利用率。附图说明图1为本专利技术一实施列所提供的探针测试实时监控系统的结构框图；图2为本专利技术一实施列所提供的探针测试实时监控系统的服务端所显示的信息 状态；图3为本专利技术一实施列所提供的流程示意图。 具体实施例方式为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举示例性实施例，并配合附 图，作详细说明如下。通常，在半导体测试领域，一个实验室或者企业需要配备多台或多个种类的探针 台，以满足不同产品的测试需求。然而，现有技术中却缺乏对这些探针台利用率的有效监 控，无法及时了解哪些探针台处于使用状态，哪些探针台处于闲置状态，对于出现故障的探 针台难以及时发现，使得整个实验室的探针台利用率无法达到最佳状态，进而使得测试效 率下降。本专利技术充分考虑到这一问题，对各种探针台做了研究，发现探针台为了方便操作 者实时观测到它的工作状态，往往引出多路接口信号，以控制不同的状态显示。一种较为常 见的方式就是控制状态指示灯的显示。例如，探针台P8、UF200、UF3000等都设置有状态指 示灯，分别为红灯、绿灯和黄灯。其中红灯闪烁表示机器故障，需要处理；绿灯表示机器正处 于工作状态；黄灯表示机器暂停工作，需要人为干预操作。本专利技术正是利用探针台引出的多路接口信号，将这些信号转换为一个远端的服务 端(例如，为计算机)可以识别及处理的信号，并将该信号传送给服务端，以在服务端集中 监控所有探针台的工作状态，从而提高探针台工作状态的监控效率。具体，请参考图1，其为本专利技术一实施列所提供的探针测试实时监控系统的结构框 图。如图宿松，该探针测试实时监控系统用以监控多个探针台10的工作状态，该系统包括 服务端30以及多个监控单元20，其中每个监控单元20连接一个探针台10，且服务端30通 过监控单元20获得探针台10的工作状态。具体监控单元20包括微处理器21，以及分别与该微处理器21连接的多个比较器22、存储器23和通讯接口 24。其中比较器21连接对应的探针台10，即每个监控单元20内，每个比较器21连接 一路探针台10的接口信号，例如在本实例中，探针台10具有三路接口信号分别代表机器故 障、正常运行、暂停工作等工作状态，每个比较器21接收一种工作状态信号，并将所接收的 信号转换为电平信号。这是因为，通常引出的接口信号的电压比较高，不利于后续处理，因 此，利用比较器将其转换为统一的电平信号，以便于后续微处理器的处理。举例而言，当引 出的接口信号为指示灯驱动信号时，其工作电压往往为MV，故为比较器施加24V (或略低) 的基准电压，当指示灯闪烁时，比较器就有等于或高于基准电压的输入，进而输出高电平， 代表信号灯闪烁，产生相应的工作状态；当指示灯不闪烁或未亮时，比较器就有低于基准电 压的输入，进而输出低电平，代表信号灯未亮，相应的工作状态未产生。存储器23存储对应的探针台10的信息，这里所说的信息可以包括探针台的地址 信息、配置信息等。这是因为，在对探针台的工作状态进行监控时，服务端30需要识别每个 探针台10，以将所接收到的工作状态信号与探针台对应起来。其中，可以为每个探针台编 号，利用序号来实现地址的记录。当然，本专利技术在此不以此为限，本领域技术人员可以根据 需要利用配置号或者其他信息来实现这种地址的记录。通讯接口 M用以与服务端30建立连接，在此，本专利技术不限制其连接方式，可以为 有线连接，也可以为无线连接。较佳的，采用有线连接的传输方式，例如双绞线传输，这样可 以有效的避免信号干扰给测试带来的不利。微处理器21是监控单元20的核心，用以协调比较器22、存储器23和通讯接口 M 之间的工作，具体其将比较器22所得到的电平信号与对应的存储器23内的探针台信息转 换为通讯接口 M对应的通讯协议信号，以通过该通讯接口 M将该通讯协议信号传输给服 务端本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种实时监控探针测试利用率的方法，用以监控多个探针台的工作状态，其特征是，包括：根据每个探针台的工作状态显示接口数量，为每个探针台配置一监控单元，该监控单元包括微处理器以及分别与该微处理器连接的多个比较器、存储器、通讯接口，其中每个监控单元内的比较器的数量为每个探针台的工作状态显示接口数量；利用多个比较器分别接收其所连接的探针台的多种工作状态信号，并将所接收的信号转换为统一类型的电平信号；利用存储器存储对应的探针台的信息；利用微处理器将所述统一的电平信号与对应的探针台信息转换为通讯接口对应的通讯协议信号，以通过通讯接口将该通讯协议信号传输给服务端；利用服务端根据所接收的通讯协议信号获取探针台的工作状态。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：祁建华，凌俭波，岳小兵，张杰，汪瑞祺，赵达君，王静，叶阳平，季海英，
申请(专利权)人：上海华岭集成电路技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：31