薄膜形成用气相沉积材、具备该薄膜的薄膜片材和层压片材制造技术

本发明专利技术提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明专利技术的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，第一氧化物粉末为SnO2粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，第二氧化物粉末为选自ZnO、MgO和CaO中的一种粉末或两种以上的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及适合形成透明性、阻气性等诸特性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。更具体地，涉及用于形成这些诸特性优异，特别是适合作为液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池模块等的阻气材的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。
技术介绍
液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池等机器通常不耐湿，由于吸湿使其特性快速劣化，因此必须装备具有高防湿性、即具有防止氧或水蒸气等透过或侵入的阻气性的部件。例如，在太阳能电池的例子中，在与太阳能电池模块的受光面相反侧的背面设置有底座(back seat) 0该底座典型地在基材上由具有高防湿性的阻气材和保护它们的部件等构成。作为这样的构成太阳能电池模块的底座，例如公开了通过高强度的耐热性耐气候性树脂夹入防湿性金属箔，进而在其一方设置玻璃质的气相沉积薄膜而成的太阳能电池模块的背面保护用片材材料(例如，参考专利文献1)。在该片材材料中，作为阻气材使用铝箔、镀锌铁箔、镀锡铁箔等金属箔。另外，公开了将高防湿薄膜和高耐气候薄膜层压并一体化而成的太阳能电池覆盖材用于背面侧保护部件的太阳能电池(例如，参考专利文献2)。 该太阳能电本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种气相沉积材，为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，所述第一氧化物粉末为ＳｎＯ２粉末，所述第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为９８％以上，所述第二氧化物粉末为选自ＺｎＯ、ＭｇＯ和ＣａＯ中的一种粉末或两种以上的混合粉末，所述第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为９８％以上，所述气相沉积材由含有所述第一氧化物粒子和所述第二氧化物粒子的颗粒构成，所述气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为５～８５∶９５～１５，且所述颗粒的碱度为０．１以上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：黛良享，有泉久美子，黑光祥郎，
申请(专利权)人：三菱综合材料株式会社，
类型：发明
国别省市：JP