基板定位装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基板定位装置。该基板定位装置包括一个第一驱动单元及多个第一抵柱。所述第一驱动单元包括一个第一激励单元、两个第一齿轮、两个第一传送带，该两个第一齿轮相互啮合，该第二激励单元机械耦合于该两个第一齿轮其中之一者以带动该两个第一齿轮旋转，该两个第一传送带分别与该两个第一齿轮枢轴连接并由该两个第一齿轮驱动其由相反的方向旋转。所述多个第一抵柱分别连接于该两个第一传送带并分别由该两个第一传送带带动其沿第一方向作相向或相背运动。该基板定位装置结构简单，便于维修与调整。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种定位装置，特别是一种用于在制造平板显示器(Flat Panel Display, FPD)时定位基板的基板定位装置。
技术介绍
平板显示器主要包括液晶显示器(Liquid Crystal Display, LCD)、等离子显示器 (Plasma Display Panel, PDP)及有机发光二极管(Organic Electroluminescent, OEL)显示 器等类型。上述平板显示器是通过对由基板，如玻璃基板进行加工所制成，而对基板的加工 、检测过程通常需要先对基板进行定位，以保障基板的加工及检测精度。具体可参阅 Cresswell， M. W.等人在文献Microelectronic Test Structures, 1993. ICMTS 1993. Proceedings of the 1993 International Conference on (1993年3月)中发表的Test structure for the in—plane locations of project features with nanometer—leve本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板定位装置，其包括：　　　　一个第一驱动单元，其包括一个第一激励单元、两个第一齿轮、两个第一传送带，该两个第一齿轮相互啮合，该第二激励单元机械耦合于该两个第一齿轮其中之一者以带动该两个第一齿轮旋转，该两个第一传送带分别与该两个第一齿轮枢轴连接并由该两个第一齿轮驱动其由相反的方向旋转；　　　　多个第一抵柱，其分别连接于该两个第一传送带并分别由该两个第一传送带带动其沿第一方向作相向或相背运动。

【技术特征摘要】
1.一种基板定位装置，其包括一个第一驱动单元，其包括一个第一激励单元、两个第一齿轮、两个第一传送带，该两个第一齿轮相互啮合，该第二激励单元机械耦合于该两个第一齿轮其中之一者以带动该两个第一齿轮旋转，该两个第一传送带分别与该两个第一齿轮枢轴连接并由该两个第一齿轮驱动其由相反的方向旋转；多个第一抵柱，其分别连接于该两个第一传送带并分别由该两个第一传送带带动其沿第一方向作相向或相背运动。2.如权利要求l所述的基板定位装置，其特征在于，该基板定位装 置进一步包括一个第二驱动单元，其包括一个第二激励单元、两个第二齿轮、两个第二传送带，该 两个第二齿轮相互啮合，该第二激励单元机械耦合于该两个第二齿轮其中之一者以带动该两 个第二齿轮旋转，该两个第二传送带分别与该两个第二齿轮枢轴连接并由该两个第二齿轮驱 动其由相反的方向旋转；多个第二抵柱，其分别连接于该两个第二传送带并分别由该两个第二传送带带动其沿 与第一方向相垂直的第二方向作相向或相背运动。3.如权利要求2所述的基板定位装置，其特征在于，该第一、第二 激励单元为旋转汽缸或马达。4.如权利要求2所述的基板定位装置，其特征在于，该第一、第二 传送带分别为时规皮带。5.如权利要求2所述的基板定位装置，其特征在于，该第一、第二 驱动单元还分别包括一个第一主体及一个第二主体，该第一激励单元、两个第一齿轮、两个 第一传送带设置在该第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄俊凯，邱义君，姚明德，
申请(专利权)人：富士迈半导体精密工业上海有限公司，沛鑫半导体工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]