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本发明涉及一种基板定位装置。该基板定位装置包括一个第一驱动单元及多个第一抵柱。所述第一驱动单元包括一个第一激励单元、两个第一齿轮、两个第一传送带，该两个第一齿轮相互啮合，该第二激励单元机械耦合于该两个第一齿轮其中之一者以带动该两个第一齿轮旋...该专利属于富士迈半导体精密工业（上海）有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过富士迈半导体精密工业（上海）有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司授权不得商用。