对准衬底的方法技术

本发明专利技术提供一种对准衬底结合设备的第一衬底与第二衬底的方法，所述衬底结合设备包含用于对准各自包括多个对准标记的所述第一衬底与所述第二衬底的对准单元。所述第一衬底的所述多个对准标记中的一个与所述第二衬底的所述多个对准标记中的对应者被定义成一对对准标记。所述方法包含减少多个未对准值中的最大未对准值以便对准所述第一衬底与所述第二衬底，每一未对准值是从每一对对准标记获得。通过算术运算，搜索Ｘ、Ｙ和θ方向上使多对对准标记的未对准值皆落在容许范围内的虚拟移动算术值，且将所述衬底移动到所述虚拟移动算术值。这样，可通过移动所述衬底一次而无需移动多次来使所述衬底对准。因此，可缩短对准所述衬底所需的时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，且更明确地说，涉及以下一种， 其中多对对准标记的未对准值(misalignment value)包含在容许范围中。
技术介绍
在现有技术中，使用阴极射线管(cathode ray tube, CRT)作为显示设备。然而， CRT具有例如体积大且重量重的缺点。因此，近年来，对平板显示面板的使用日增，例如液晶 显示器(liquid crystal display, LCD)、等离子显示面板(plasma display panel, PDP) 和有机发光装置(organic light emitting device，OLED)。平板显示面板具有例如重量 轻、细长且低功率消耗的特性。平板显示面板通过附接一对上下衬底来制造。举例来说，在IXD的情况下，上面形 成有多个薄膜晶体管(thin film transistor)和像素电极(pixel electrode)的下衬底 由下卡盘(lower chuck)支撑且固定到所述下卡盘上。沿下衬底的边缘涂布例如密封剂 (sealant)之类的密封部件，且接着将液晶滴落到下衬底上。同样，上面形成有彩色滤光片 (color filter)禾口共同电极(common electrode)的上衬底由上卡盘(upper chuck)支撑， 所述上卡盘安置在下卡盘上方且面朝下卡盘。给上卡盘和下卡盘中的每一个提供用于支撑 并固定上衬底的静电卡盘(electrostatic chuck)。在附接上衬底与下衬底之前，所述衬底首先需要对准。为了此对准，要在上衬底和 下衬底的四个角处形成对准标记。上衬底处的一个对准标记与下衬底处的相应对准标记可 被定义成一对对准标记。可通过对准所述四对对准标记来使上衬底与下衬底对准。上衬底与下衬底的大小和形状由于(例如)切割期间的加工误差而可能不会完全 相同。同样，上衬底的对准标记的位置与下衬底的对准标记的位置也可能稍有不同。在现 有技术中，上衬底与下衬底是通过减小所述四对对准标记的平均未对准值来对准。举例来 说，上衬底与下衬底是通过最小化所述四对对准标记中的三对对准标记的未对准值以减小 平均未对准值来对准。因此，剩余的第四对对准标记的未对准值可在容许范围外，虽然所述 三对对准标记的未对准值包含在容许范围中仍如此，且因此，附接过程的结果可能变得有 缺陷。即，在一对对准标记的未对准值不包含在容许范围中时，上面形成有多个薄膜晶体管 的下衬底不与上面形成有彩色滤光片和共同电极的上衬底匹配，使得产生有缺陷的面板e。
技术实现思路
本专利技术提供一种，其中使最大未对准值减小，直到多对对准标记 的相应未对准值包含在容许范围中为止。根据示范性实施例，提供一种对准一衬底结合设备(substrate binding apparatus)的第一衬底与第二衬底的方法，所述衬底结合设备包含用于对准第一衬底与第 二衬底的对准单元，第一衬底和第二衬底中的每一个包括多个对准标记。第一衬底的所述 多个对准标记中的一个与第二衬底的所述多个对准标记中的对应者被定义成一对对准标记。所述方法包含减小多个未对准值中的最大未对准值以便对准第一衬底与第二衬底，每 一未对准值是从每一对对准标记获得。减小最大未对准值可包含对准第一衬底与第二衬底，使得多对对准标记的未对准 值包含在容许范围内。所述方法可包含在第一衬底和第二衬底中的任一个虚拟地移动的X、Y和θ方向 上设定虚拟移动算术范围，和通过将所述虚拟移动算术范围划分成若干个区段来设定虚拟 移动算术空间；在与虚拟移动算术范围内相应的虚拟移动算术空间对应的虚拟移动算术值 处执行算术运算，且存储Χ、γ和θ方向上在相应的虚拟移动算术值处所获得的最大未对准 值；搜索所述最大未对准值中的最小值和X、Y和θ方向上对应于所述最小值的虚拟移动 算术值；和将Χ、γ和θ方向上的虚拟移动算术空间与X、Y和θ方向上所述对准单元的分 辨率进行比较。在Χ、Υ和θ方向上虚拟移动算术空间中的至少一个大于X、Y和θ方向 上所述对准单元的分辨率的情况下，所述方法可还包含设定两个虚拟移动算术值之间的 范围作为Χ、γ和θ方向上的新虚拟移动算术范围，使得所述新虚拟移动算术范围小于先前 的虚拟移动算术范围；和通过将所述新虚拟移动算术范围划分成若干个区段来设定新虚拟 移动算术空间，使得所述新虚拟移动算术空间小于先前的虚拟移动算术空间。在χ、γ和Θ 方向上虚拟移动算术空间中的至少一个大于X、Y和θ方向上所述对准单元的分辨率的情 况下，所述方法可重复设定两个虚拟移动算术值之间的所述范围作为所述新虚拟移动算 术范围；设定所述新虚拟移动算术空间；执行所述算术运算，且存储所述最大未对准值；搜 索所述最大未对准值中的最小值和对应于所述最小值的虚拟移动算术值；和将Χ、γ和θ方 向上的虚拟移动算术空间与X、Y和θ方向上所述对准单元的分辨率进行比较。在Χ、Υ和 θ方向上相应的虚拟移动算术空间等于或小于Χ、Υ和θ方向上所述对准单元的分辨率的 情况下，所述方法可还包含沿Χ、γ和θ方向将第一衬底和第二衬底中的一个移动到对应于 所述最小值的虚拟移动算术值以对准第一衬底与第二衬底。在通过将虚拟移动算术范围划分成若干个区段来设定虚拟移动算术空间的期间， Χ、γ和θ方向上的虚拟移动算术空间经设定以在Χ、Υ和θ方向上具有在虚拟移动算术范 围中的恒定空间。虚拟移动算术值可为Χ、γ和θ方向上虚拟移动算术空间的边界点，且在所述虚拟 移动算术值处执行算术运算。将Χ、Υ和θ方向上的初始虚拟移动算术范围设定为Χ、Υ和θ方向上第一衬底与 第二衬底之间的最大未对准值。存储Χ、Υ和θ方向上对相应的虚拟移动算术值处所获得的最大未对准值可包含 对于对应于每一虚拟移动算术值的所有各对(pairs)的未对准标记进行X、Y和θ方向上 呈(χ，γ，θ)形式的组合，且相对于所有组合计算未对准值；和存储针对每一虚拟移动算术 值处的所有各对的未对准标记所获得的经计算的未对准值中的最大未对准值，作为每一虚 拟移动算术值的最大未对准值。在设定两个虚拟移动算术值之间的范围作为新虚拟移动算术范围的期间，所述两 个虚拟移动算术值中的一个可邻近于沿一个方向对应于最小值的虚拟移动算术值，且所述 两个虚拟移动算术值中的另一个可邻近于沿相反方向对应于最小值的虚拟移动算术值。在通过将新虚拟移动算术范围划分成若干个区段来设定新虚拟移动算术空间的期间，新虚拟移动算术范围中区段的数目是与先前虚拟移动算术范围中区段的数目相同。 附图说明可由结合附图所进行的以下描述来更详细地理解示范性实施例，在附图中图1是根据示范性实施例的衬底结合设备的示意图。图2是说明根据示范性实施例的的流程图。图3是用来说明第一衬底和第二衬底中的任一个在X、Y和θ方向上移动时最大 移动范围的示意图，以便描述根据示范性实施例的。图4是根据示范性实施例的形成于第一衬底和第二衬底中的每一个上的多个对 准标记的示意图。图5是根据现有技术的来对准的第一衬底和第二衬底的示意图。图6Α到图6D是第二衬底的虚拟移动以便用根据示范性实施例的方法来对准第一 衬底与第二衬底的示意图。图7Α和图7Β是说明根据示范性实施例的一种方法的曲线图，所述方法设定X方 向上的第一虚拟移动算术范围、第一虚拟移动算术空间、第二虚拟移动算术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对准衬底结合设备的第一衬底与第二衬底的方法，所述衬底结合设备包含用于对准各自包括多个对准标记的所述第一衬底与所述第二衬底的对准单元，其特征在于，所述第一衬底的所述多个对准标记中的一个与所述第二衬底的所述多个对准标记中的对应者被定义成一对对准标记，所述方法包括减少多个未对准值中的最大未对准值以便对准所述第一衬底与所述第二衬底，每一未对准值是从每一对对准标记获得。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴昇勋，金性秀，程成德，文元根，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]