一种位置校准系统及等离子体处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种位置校准系统，用以在二维方向上对传送装置上的待定位工件实施位置校准，该位置校准系统包括基座、推动部件、限位部件以及驱动推动部件的电机，所述限位部件至少包括设置在传送装置两侧的第一限位部件和第二限位部件以及沿待定位工件传送方向而设置的第三限位部件，每一个限位部件均设置在基座上并且与推动部件的外缘相抵，推动部件在电机的驱动下转动而使限位部件彼此远离或靠近，并通过接触待定位工件而对其位置进行校准。该位置校准系统用一个电机即可对待定位工件实现二维方向的位置校准，结构简单，运行费用低。本发明专利技术提供一种等离子体处理装置同样采用一个电机即可对待定位工件实现二维方向的位置校准。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于等离子体处理
，具体涉及一种用于调整待加工工件位置的位置校准系统以及应用上述位置校准系统的等离子体处理装置。
技术介绍
作为可再生的清洁能源——太阳能已成为未来人类有限地可利用的能源之一，人类正在努力探索将其合理利用以应对所面对的能源危机。从近几年的技术发展来看，通过太阳能电池来实现对太阳能的应用发展较快，已经成为太阳能应用方面的竞争焦点。因此， 太阳能电池的制造企业之间的竞争越来越激烈，这就需要生产企业尽可能地降低生产成本，以提高其竞争优势。众所周知，提高太阳能电池板生产过程的自动化程度是降低成本的一种手段。例如，在利用等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺处理太阳能电池板时，待定位工件(如电池片)放入化学气相沉积工艺腔室的过程就是由机械手自动完成的。电池片(或称晶片)的放入过程是借助图1所示的传送装置以及一个单片机械手和一个多片机械手来完成。请参阅图1，传送装置由皮带2和带轮3组成。电池片1放入工艺腔室的具体步骤如下首先由单片机械手将一片电池片1放置在传送装置的皮带2上，然后转动皮带2使电池片1向前移动一定距离，再由单片机械手将另一片电池片1放置在皮带2上，以此将多片电池片1均勻地放置在皮带2上，然后再由一个多片机械手将放置在皮带2上的多片电池片1 一次取走，并将该多片电池片同时放入工艺腔室内的且由多个限位顶针限定的载板位置。然而，在实际生产过程中，由于单片机械手的精度不高，其放置的电池片的位置常有偏差，导致多片机械手无法准确地将电池片1放置在工艺腔室内对应的载板位置，最终导致电池片在后续工艺中发生碎片，影响产品的成品率以及生产效率。尤其是在化学气相沉积工艺对电池片的位置精度要求高的情况，多片机械手能否准确地放置电池片尤为重要。解决电池片准确放置问题的方法有两种第一种方法是在取放电池片的机械手上安装位置识别系统(或称图像识别系统)，机械手借助设置在其上的位置识别系统将电池片准确地放置在皮带2上。然而，在实际应用中，考虑到设备的成本以及复杂程度，在机械手上不宜再集成位置识别系统，因此，通常不采用第一种方式来解决上述技术问题。第二种是增加电池片位置校准系统，当单片机械手将电池片1放置在皮带2上之后，首先通过位置校准机构对电池片1的位置进行校准而将其归位到预定的位置处，再由多片机械手从皮带2的预定位置处拾取电池片1并将其放入工艺腔室内，以此来保证多片机械手取片位置的准确性，进而保证多片机械手在工艺腔室内放片位置的准确性。目前所采用的位置校准机构有两种，一种为图2所示的位置校准机构。该位置校准机构包括两套设置在皮带2两侧的电机驱动机构，每一套电机驱动机构均包括一电机4 以及与电机轴相连的推动片5，通过电机轴转动来带动推动片5在电机轴方向上移动，以对电池片1实施图中所示Y方向的校准。如果要对图中所示的X方向进行位置校准，则需在X 方向另外增加两套电机驱动机构才能实现。因此，上述位置校准机构要想在两个方向进行位置校准，需要四套电机驱动机构，增加了位置校准系统的复杂程度；而且，由于电机数量较多，导致设备的造价和运行成本较高，能源消耗较多。另一种位置校准机构如图3所示，该位置校准机构包括导轨(图中未示出)、沿导轨移动的两个夹持件固定板6、凸轮9以及设置在夹持件固定板6上的夹持件12和轴承8。 夹持件12和轴承8相对设置在夹持件固定板6的两端，凸轮9设置在两个夹持件固定板6 的中间位置，两个夹持件固定板6由拉伸弹簧10连接，借助拉伸弹簧10的收缩力可使夹持件固定板6上的轴承8与凸轮9紧密接触。凸轮9为两端呈圆弧形、中间较窄且呈中心对称结构，其对称中心与电机的旋转轴7连接。当电机带动凸轮9转动时，凸轮9的外缘向轴承8施加作用力使其带动两个夹持件固定板6沿导轨移动。当轴承8与距离凸轮9中心最远处的外缘接触时，两个夹持件固定板6相距最远，即两个夹持件12之间的距离最大；当轴承8与距离凸轮9中心最近处的外缘接触时，两个夹持件固定板6相距最近，即两个夹持件 12之间的距离最小。当然，这个最小距离是预先设置的，其恰好等于电池片的轮廓尺寸。使用时，上述位置校准机构放置在传动皮带2的下方，皮带2从两个相对设置的夹持件12中间穿过。在单片机械手放置电池片之前，旋转凸轮9使夹持件12之间的距离最大，当单片机械手将电池片放置在皮带2之后，再次旋转凸轮9，使夹持件12之间的距离最小，从而实现对电池片的位置校准。由上可知，尽管现有的这种位置校准机构可以在一个方向上(即，垂直于传送方向的方向上)对诸如电池片等的待定位工件进行位置校准，但是在实际工作中，往往需要在两个方向上(例如，在传送方向上以及在与传送方向相垂直的方向上)对前述待定位工件进行位置校准，为此，就需要两套图3所示的位置校准机构，S卩，对于每一个待调整方向均配置一套上述位置校准机构，这样，为实现两个方向的位置校准就需要采用两个旋转凸轮及两台电机，这使得整个位置校准系统的结构比较复杂，并且系统造价和运行成本较高， 能源消耗较多。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术提供一种位置校准系统，其仅用一个电机就能在二维方向上对待定位工件进行位置校准，而且还具有结构简单、制造和运行费用低等特点。为解决上述问题，本专利技术还提供一种等离子体处理装置，其同样仅采用一个电机而在二维方向上对待定位工件进行位置校准，这简化了等离子体处理装置的结构、降低了设备的制造和运行成本。为此，本专利技术提供一种位置校准系统，用以在二维方向上对传送装置上的待定位工件实施位置校准，该位置校准系统包括基座、推动部件、限位部件以及一个驱动推动部件的电机，所述限位部件至少包括设置在传送装置两侧的第一限位部件和第二限位部件以及沿待定位工件传送方向而设置的第三限位部件，所述每一个限位部件均设置在基座上并且与所述推动部件的外缘相抵，所述推动部件在电机的驱动下转动而使所述限位部件彼此远离或靠近，并通过接触待定位工件而对其位置进行校准。其中，在所述第一限位部件与第二限位部件之间和/或第一限位部件与第三限位部件之间和/或第二限位部件与第三限位部件之间设置有弹性部件，所述第一限位部件、 第二限位部件和第三限位部件在推动部件的推动下彼此远离时，借助于所述弹性部件的弹性收缩力而使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件受到指向所述推动部件的收缩力，从而彼此靠近直至触及所述待定位工件而将其定位在期望的位置上。其中，在所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件与所述基座之间设有弹性部件，所述弹性部件的一端固定在所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件上，另一端设置在所述基座上，以使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件受到指向所述推动部件的收缩力，从而使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件彼此靠近直至触及所述待定位工件而将其定位在期望的位置上。其中，所述限位部件上设置有滚轴，所述限位部件借助于该滚轴而与所述推动部件的外缘相抵。其中，所述位置校准系统还包括移动导向装置，其设置在所述限位部件和基座之间，所述限位部件可在该移动导向装置上发生位移。其中，所述移动导向装置包括导轨和/或导杆和/或导槽、以及与它们相配合的滑块，所述限位部件设置在所述滑块上并在滑块的带动下产生位移。其中，所述推动部件包括这样一个轮盘即本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种位置校准系统，用以在二维方向上对传送装置上的待定位工件实施位置校准，该位置校准系统包括基座、推动部件、限位部件以及一个驱动推动部件的电机，其特征在于，所述限位部件至少包括设置在传送装置两侧的第一限位部件和第二限位部件以及沿待定位工件传送方向而设置的第三限位部件，所述每一个限位部件均设置在基座上并且与所述推动部件的外缘相抵，所述推动部件在电机的驱动下转动而使所述限位部件彼此远离或靠近，并通过接触待定位工件而对其位置进行校准。

【技术特征摘要】
1.一种位置校准系统，用以在二维方向上对传送装置上的待定位工件实施位置校准， 该位置校准系统包括基座、推动部件、限位部件以及一个驱动推动部件的电机，其特征在于，所述限位部件至少包括设置在传送装置两侧的第一限位部件和第二限位部件以及沿待定位工件传送方向而设置的第三限位部件，所述每一个限位部件均设置在基座上并且与所述推动部件的外缘相抵，所述推动部件在电机的驱动下转动而使所述限位部件彼此远离或靠近，并通过接触待定位工件而对其位置进行校准。2.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，在所述第一限位部件与第二限位部件之间和/或第一限位部件与第三限位部件之间和/或第二限位部件与第三限位部件之间设置有弹性部件，所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件在推动部件的推动下彼此远离时，借助于所述弹性部件的弹性收缩力而使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件受到指向所述推动部件的收缩力，从而彼此靠近直至触及所述待定位工件而将其定位在期望的位置上。3.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，在所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件与所述基座之间设有弹性部件，所述弹性部件的一端固定在所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件上，另一端设置在所述基座上，以使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件受到指向所述推动部件的收缩力，从而使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件彼此靠近直至触及所述待定位工件而将其定位在期望的位置上。4.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，所述限位...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金斌，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11