一种位置校准系统及等离子体处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种位置校准系统，用以在二维方向上对传送装置上的待定位工件实施位置校准，该位置校准系统包括基座、推动部件、限位部件以及驱动推动部件的电机，所述限位部件至少包括设置在传送装置两侧的第一限位部件和第二限位部件以及沿待定位工件传送方向而设置的第三限位部件，每一个限位部件均设置在基座上并且与推动部件的外缘相抵，推动部件在电机的驱动下转动而使限位部件彼此远离或靠近，并通过接触待定位工件而对其位置进行校准。该位置校准系统用一个电机即可对待定位工件实现二维方向的位置校准，结构简单，运行费用低。本发明专利技术提供一种等离子体处理装置同样采用一个电机即可对待定位工件实现二维方向的位置校准。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于等离子体处理
，具体涉及一种用于调整待加工工件位置的位置校准系统以及应用上述位置校准系统的等离子体处理装置。
技术介绍
作为可再生的清洁能源——太阳能已成为未来人类有限地可利用的能源之一，人类正在努力探索将其合理利用以应对所面对的能源危机。从近几年的技术发展来看，通过太阳能电池来实现对太阳能的应用发展较快，已经成为太阳能应用方面的竞争焦点。因此， 太阳能电池的制造企业之间的竞争越来越激烈，这就需要生产企业尽可能地降低生产成本，以提高其竞争优势。众所周知，提高太阳能电池板生产过程的自动化程度是降低成本的一种手段。例如，在利用等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺处理太阳能电池板时，待定位工件(如电池片)放入化学气相沉积工艺腔室的过程就是由机械手自动完成的。电池片(或称晶片)的放入过程是借助图1所示的传送装置以及一个单片机械手和一个多片机械手来完成。请参阅图1，传送装置由皮带2和带轮3组成。电池片1放入工艺腔室的具体步骤如下首先由单片机械手将一片电池片1放置在传送装置的皮带2上，然后转动皮带2使电池片1向前移动一定距离，再由单片机械手将另一片电池片1放置在皮带2上，本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种位置校准系统，用以在二维方向上对传送装置上的待定位工件实施位置校准，该位置校准系统包括基座、推动部件、限位部件以及一个驱动推动部件的电机，其特征在于，所述限位部件至少包括设置在传送装置两侧的第一限位部件和第二限位部件以及沿待定位工件传送方向而设置的第三限位部件，所述每一个限位部件均设置在基座上并且与所述推动部件的外缘相抵，所述推动部件在电机的驱动下转动而使所述限位部件彼此远离或靠近，并通过接触待定位工件而对其位置进行校准。

【技术特征摘要】
1.一种位置校准系统，用以在二维方向上对传送装置上的待定位工件实施位置校准， 该位置校准系统包括基座、推动部件、限位部件以及一个驱动推动部件的电机，其特征在于，所述限位部件至少包括设置在传送装置两侧的第一限位部件和第二限位部件以及沿待定位工件传送方向而设置的第三限位部件，所述每一个限位部件均设置在基座上并且与所述推动部件的外缘相抵，所述推动部件在电机的驱动下转动而使所述限位部件彼此远离或靠近，并通过接触待定位工件而对其位置进行校准。2.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，在所述第一限位部件与第二限位部件之间和/或第一限位部件与第三限位部件之间和/或第二限位部件与第三限位部件之间设置有弹性部件，所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件在推动部件的推动下彼此远离时，借助于所述弹性部件的弹性收缩力而使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件受到指向所述推动部件的收缩力，从而彼此靠近直至触及所述待定位工件而将其定位在期望的位置上。3.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，在所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件与所述基座之间设有弹性部件，所述弹性部件的一端固定在所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件上，另一端设置在所述基座上，以使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件受到指向所述推动部件的收缩力，从而使所述第一限位部件、第二限位部件和第三限位部件彼此靠近直至触及所述待定位工件而将其定位在期望的位置上。4.根据权利要求1所述的位置校准系统，其特征在于，所述限位...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金斌，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11