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本发明提供一种位置校准系统,用以在二维方向上对传送装置上的待定位工件实施位置校准,该位置校准系统包括基座、推动部件、限位部件以及驱动推动部件的电机,所述限位部件至少包括设置在传送装置两侧的第一限位部件和第二限位部件以及沿待定位工件传送方向而...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。