对准衬底的方法技术

提供一种衬底对准方法。所述方法包含将衬底安置在衬底对准设备上；确定是否识别出衬底的对准标记；以及在识别出所有对准标记的位置的条件下，基于识别出的对准来对准衬底，在未识别出一半以上的对准标记的位置的条件下，产生对准出错信号，或在识别出至少一半的对准标记的位置的条件下，基于识别出的对准标记的位置来确定未识别出的对准标记的位置，且使用未识别出的对准标记的经确定的位置和识别出的对准标记的位置来对准衬底。通过预测未识别出的对准标记的位置，即使未识别出对准标记中的一些，仍可迅速地确认对所述对准标记的识别，且可有效地对准衬底。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，且更明确地说，本专利技术涉及以下一种对准衬底的方 法，即，其甚至在未识别出对准标记中的一些的情况下仍能够使用对准标记来对准衬底。
技术介绍
通常，使用一种用于对准衬底的设备来将衬底定位在衬底安放单元(substrate seating unit)(例如,基座(susceptor)或表面板(surface plate))上或使两个衬底彼此 精确地对准。现今，正在使用更多的平板显示器，例如，液晶显示器(liquid crystaldisplay, LCD)装置、等离子显示面板(plasma display panel, PDP)和有机发光装置(organic light emitting device, OLED)。这些平板显示器是通过附接上面形成有精细图案(fine patterns)的一对平板衬底(flat panel substrates)而制造出来的。对准并附接两个衬底为极其重要的过程，这是因为衬底的附接通常是在面板处理 的最终阶段期间执行的。如果衬底在最终阶段期间未对准，那么只好丢弃整块面板。此外， 形成在衬底上的精细图案也应在对准过程期间对准，且因此需要极其本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于对准衬底的方法，其包括：将衬底安置在衬底对准设备上；确定是否识别出所述衬底的对准标记；以及在识别出所有所述对准标记的位置的条件下，基于识别出的所述对准来对准所述衬底，在未识别出一半以上的所述对准标记的位置的条件下，产生对准出错信号，或在识别出至少一半的所述对准标记的位置的条件下，基于所述识别出的所述对准标记的位置来确定未识别出的所述对准标记的位置，且使用所述未识别出的所述对准标记的经确定的所述位置和所述识别出的所述对准标记的所述位置来对准所述衬底。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴昇勋，卢成和，朴岘克，安致弘，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]