【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在半导体生产设备制造领域内,一种调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。经过调整,当T轴处于零位时,可使双臂机械手末端FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合,从而为双臂机械手运动轨迹提供了原始定位基准。
技术介绍
双臂机械手在吸附硅片时,硅片的圆心位置理论上即是未端臂FORK的圆心。无论双臂机械手的上下臂运动轨迹如何变化,但上下臂运动轨迹的原始基准是确定的。理论上讲,当T轴处于零位,双臂向前平伸,上下臂FORK的圆心是重合的。但由于制造误差的装配误差的存在,实际上的上下臂FORK的圆心是不重合的。为了使上下臂FORK的圆心不重合程度小于规定的指标,需要双臂机械手在装配调试时,一是要有一个确定双臂FORK圆心的基准,二是在双臂机械手的左右臂,要有在R轴旋转平面可以进行平移的调整机构。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种结构合理,能够方便、可靠地调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。本方法通过试验台提供确定的双臂FORK圆心基准,通过FORK调整夹头来对FORK圆心进行调整。本专利技术的专利技术目的是这样实现的一种调整双臂机械手FORK圆心重合的方法,所述方法使用的装置包括FORK调整夹头机构和FORK圆心基准试验台。FORK调整夹头机构包括FORK组合1、调整紧固螺钉2、调整夹头本体3、气路密封胶圈4、取片臂5、气路接口 6、取片臂下盖板7。FORK圆心基准试验台包括框架结构8、圆心调节装置底板9、小臂中间定位板10、圆心定位块11、小臂定位固定夹板12、小臂定位活动夹板13、主机支撑板14等。将气路接口 6的螺纹端拧入调整夹头本体3 ...
【技术保护点】
1.一种调整双臂机械手圆心重合的方法,包括使用FORK调整夹头机构和FORK圆心基准试验台;其特征在于:所述FORK调整夹头机构包括FORK组合(1)、调整紧固螺钉(2)、调整夹头本体(3)、气路密封胶圈(4)、取片臂(5)、气路接口(6)、取片臂下盖板(7);将气路接口(6)的螺纹端拧入调整夹头本体(3)旋紧到位后,把气路密封圈(4)放入调整夹头本体(3)上的密封圈槽内,将FORK组合(1)的气孔对正气路密封胶圈(4)的气孔,把FORK组合(1)后端放入调整夹头本体(3)的槽内,将8个紧固螺钉拧紧到位;经上述安装后的装配体放入取片臂(5)的凹槽内,将4个调整紧固螺钉(2)从取片臂(5)的长孔内拧入装配体但并不旋紧;此时装配体在取片臂(5)的槽中应能左右平移2mm;两个臂都完成上述装配后,将双臂机械手的主机放入圆心基准试验台内,先将主机的惟一位置固定,然后将T轴调至零位,T轴调正零位后,将两臂的小臂紧靠在圆心重合试验台的小臂中间定位板(10)上,并以小臂定位固定夹板(12)、小臂定位活动夹板(13)夹紧;此时,双臂机械手的大臂和小臂均以固定,只有取片臂(5)能够活动;将两个取片臂(5) ...
【技术特征摘要】
1.一种调整双臂机械手圆心重合的方法,包括使用FORK调整夹头机构和FORK圆心基准试验台;其特征在于所述FORK调整夹头机构包括FORK组合(1)、调整紧固螺钉O)、调整夹头本体(3)、气路密封胶圈G)、取片臂(5)、气路接口(6)、取片臂下盖板(7);将气路接口(6)的螺纹端拧入调整夹头本体C3)旋紧到位后,把气路密封圈(4)放入调整夹头本体(3)上的密封圈槽内,将FORK组合(1)的气孔对正气路密封胶圈(4)的气孔,把FORK组合(1)后端放入调整夹头本体(3)的槽内,将8个紧固螺钉拧紧到位;经上述安装后的装配体放入取片臂(5)的凹槽内,将4个调整紧固螺钉( 从取片臂(5)的长孔内拧入装配体但并不旋紧;此时装配体在取片臂( 的槽中应能左右平移2mm ;两个臂都完成上述装配后,将双臂机械手的主机放入圆心基准试验台内,先将主机的惟一位置固定,然后将T轴调至零位,T轴调正零位后,将两臂...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘延杰,吴明月,荣伟彬,孙立宁,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:93
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。