【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种镀膜装置,尤其涉及一种镀膜支架。
技术介绍
通常,照相机、数码相机、照相手机镜头模组等光学产品的各种光学镜片(Lens)、滤光 片等光学元件,因为要避免入射光在经过每个元件时,部分入射光反射而导致的光能损耗, 需要在每一个光学镜片的两面镀抗反射膜,或是在滤光片的一面镀上可滤掉某区段光的薄膜 (如红外滤光片,紫外滤光片),而在另一面镀上抗反射膜,通过这些光学薄膜以增加光学元 件的抗反射性能,防止光能损耗。所述光学薄膜的镀膜方式多以热蒸镀或溅镀方式进行。当光学元件两面都需镀上光学薄 膜时,其镀膜过程中通常包括抽真空、加热、 一面镀膜、冷却、破真空、手动翻转光学元 件夹具、抽真空、加热、另一面镀膜、冷却、破真空、取出光学元件等步骤(参见苏成彬等 人发表于1980年第2期的《仪表技术与传感器》上的《空心圆柱面镀膜用旋转支架》 一文, 介绍了一种用于圆柱形光学零件的镀膜用支架及其使用方法)。该镀膜过程中包括两次抽真 空、加热、镀膜、冷却以及破真空过程,占去相当多的制程时间,所以如何避免所述过程的 重复进行,降低制程的时间,对于两面镀膜的元件量产来讲是极 ...
【技术保护点】
一种镀膜支架,其包括: 一个支架本体,所述支架本体具有一中心转轴,所述支架本体可绕所述中心转轴旋转,所述支架本体上设置有多个容置通孔; 至少一基片夹具,所述每个基片夹具对应设置于每个容置通孔中,所述基片夹具和所述支架本体之间通过 转轴连接,所述每个基片夹具相连的转轴处设有一翻面导向槽;及 一个翻面控制装置,所述翻面控制装置包括至少一翻面杆及一控制元件,所述控制元件用于控制所述翻面杆移动至与所述基片夹具的翻面导向槽接近的位置,以使所述支架本体绕所述中心转轴旋转时 ,所述翻面杆在所述翻面导向槽的导引下,带动所述基片夹具翻面。
【技术特征摘要】
1.一种镀膜支架,其包括一个支架本体,所述支架本体具有一中心转轴,所述支架本体可绕所述中心转轴旋转,所述支架本体上设置有多个容置通孔;至少一基片夹具,所述每个基片夹具对应设置于每个容置通孔中,所述基片夹具和所述支架本体之间通过转轴连接,所述每个基片夹具相连的转轴处设有一翻面导向槽;及一个翻面控制装置,所述翻面控制装置包括至少一翻面杆及一控制元件,所述控制元件用于控制所述翻面杆移动至与所述基片夹具的翻面导向槽接近的位置,以使所述支架本体绕所述中心转轴旋转时,所述翻面杆在所述翻面导向槽的导引下,带动所述基片夹具翻面。2.如权利要求l所述的镀膜支架,其特征在于,所述翻面导向槽设 置于每一基片夹具的转轴末端的外侧。3.如权利要求l所述的镀膜支架,其特征在于,所述翻面导向槽为 圆弧形,由一第一挡块及一第二挡块共同配合形成。4.如权利要求3所述的镀膜支架,其特征在于,所述第一挡块为半 月形,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:简士哲,
申请(专利权)人:鸿富锦精密工业深圳有限公司,鸿海精密工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:94[中国|深圳]
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