【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种镀膜治具,尤其涉及一种转动平稳的镀膜治具。
技术介绍
随着光学产品的发展,光学元件的应用范围越来越广。相应地,业界采用各种方法来制 造光学元件以适应市场对不同规格光学元件的需求(请参阅Fabrication of Diffractive Optical Lens for Beam splitting Using LIGA Process , Mechatronics and Automation, Proceedings of the 2006 IEEE International Conference on, 卯.1242-1247, 2006.06)。通常来说,制造出的光学元件需经过后续处理以获得适于应用 的良好性能。镀膜工序为后续处理中的重要步骤之一。镀膜是指以物理或化学方法在光学元件表面镀 上单层或多层薄膜,利用入射、反射及透射光线在薄膜界面产生的干涉作用实现聚焦、准直 、滤光、反射及折射等效果。光学元件的镀膜制程为首先,将光学元件安装于镀膜治具上 ,镀膜治具设置于一容器中;其次,密闭容器,对容器抽真空;然后,在镀膜治具转动过程 中,以蒸镀或溅镀等方法在光学元件需要镀膜的部位进行镀膜;最后,对容器破真空,将经 过镀膜的光学元件从镀膜治具上拆卸下来。在镀膜过程中, 一般采用马达驱动转轴使得镀膜治具转动,这种驱动方法使得转动过程 不平稳,影响镀膜的质量。
技术实现思路
有鉴于此,有必要提供一种转动平稳的镀膜治具。一种镀膜治具,其包括一个具有若干孔的伞形结构、固定装置和旋转装置,所述固定装 置固定在所述伞形结构的顶端,所述固定装置为 ...
【技术保护点】
一种镀膜治具,包括一个具有若干孔的伞形结构,其特征在于:进一步包括一个固定装置和一个旋转装置,所述固定装置固定在所述伞形结构的顶端,所述固定装置为一个由底座和侧壁组成的筒体,所述底座具有一个缺口且所述底座在筒体内的表面凹陷形成凹槽,所述旋转装置包括一个具有一个表面的圆柱体,所述圆柱体的表面凸起形成一个转轴和围绕所述转轴的固定圈,所述固定圈卡合在所述底座的凹槽内,所述固定圈上设置有阻挡装置以使所述旋转装置转动时带动所述固定装置一起转动。
【技术特征摘要】
权利要求1一种镀膜治具,包括一个具有若干孔的伞形结构,其特征在于进一步包括一个固定装置和一个旋转装置,所述固定装置固定在所述伞形结构的顶端,所述固定装置为一个由底座和侧壁组成的筒体,所述底座具有一个缺口且所述底座在筒体内的表面凹陷形成凹槽,所述旋转装置包括一个具有一个表面的圆柱体,所述圆柱体的表面凸起形成一个转轴和围绕所述转轴的固定圈,所述固定圈卡合在所述底座的凹槽内,所述固定圈上设置有阻挡装置以使所述旋转装置转动时带动所述固定装置一起转动。2 如权利要求l所述的镀膜治具,其特征在于所述侧壁固定在所 述伞形结构顶端。3 如权利要求2...
【专利技术属性】
技术研发人员:颜士杰,
申请(专利权)人:鸿富锦精密工业深圳有限公司,鸿海精密工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:94[中国|深圳]
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