【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅还原炉技术,特别是一种多晶硅还原炉的节电保温隔热罩。
技术介绍
在多晶硅还原炉中,由于辐射和气体对流传热的双重原因,加热硅棒的电能约有 85%的消耗在炉壁上,由于冷却的炉壁会带走加热硅棒的热量,所以目前很多技术人员都通过高温油冷或者高温水冷的方式来提高炉壁温度来减少加热硅棒的热量损失,但改善的程度有限。也有通过加石英保温钟罩的办法来减少损耗,但由于制作原材料和制作工艺的限制,钟罩的尺寸不能做得很大,只适合用于小型还原炉,并且价格昂贵,易破碎,所以需要设计一种新型的保温装置。
技术实现思路
本技术为解决上述问题提供了一种多晶硅还原炉的节电保温隔热罩,不仅具有良好的节电效果,还适用于各种还原炉,使用成本较低,不易碎。多晶硅还原炉的节电保温隔热罩,其特征在于所述节电保温隔热罩呈钟罩状,固定在炉内壁上,与炉内壁同圆心,保温隔热罩设置于多晶硅还原炉的炉内壁与炉内最外层的硅棒之间。所述节电保温隔热罩采用碳碳复合材料制成的圆环在炉内壁的纵向上叠加形成。所述节电保温隔热罩采用石墨制成的圆环在炉内壁纵向上叠加形成。所述节电保温隔热罩是钼片和碳毡形成圆环状的复合板,所述圆环状复合板在纵向上叠加形成节电保温隔热罩,节电保温隔热罩的钼片面朝向硅棒,隔热板的碳毡面朝向炉内壁。所述节电保温隔热罩是炭布和炭泡沫材料形成的复合板,所述圆环状的复合板在纵向上叠加形成,节电保温隔热罩的炭布面朝向硅棒,隔热板的炭泡沫材料面朝向炉内壁。所述炉内壁上焊接有固定螺帽,碳毡和钼片槽上设置有对应的螺栓孔,通过高纯石墨或碳碳复合材料螺栓将节电保温隔热罩固定于炉内壁上。所述炉内壁与炉内最外层硅棒中 ...
【技术保护点】
1.多晶硅还原炉的节电保温隔热罩,其特征在于:所述节电保温隔热罩呈钟罩状,固定在炉内壁上,与炉内壁同圆心,保温隔热罩设置于多晶硅还原炉的炉内壁与炉内最外层的硅棒之间。
【技术特征摘要】
1.多晶硅还原炉的节电保温隔热罩,其特征在于所述节电保温隔热罩呈钟罩状,固定在炉内壁上,与炉内壁同圆心,保温隔热罩设置于多晶硅还原炉的炉内壁与炉内最外层的硅棒之间。2.根据权利要求1所述多晶硅还原炉的节电保温隔热罩,其特征在于所述节电保温隔热罩采用碳碳复合材料制成的圆环在炉内壁的纵向上叠加形成。3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉的节电保温隔热罩,其特征在于所述节电保温隔热罩采用石墨制成的圆环在炉内壁纵向上叠加形成。4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉的节电保温隔热罩,其特征在于所述节电保温隔热罩是钼片和碳毡形成圆环状的复合板,所述圆环状复合板在纵向上叠加形成节电保温隔热罩...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯德志,易正义,戴自忠,
申请(专利权)人:四川永祥多晶硅有限公司,
类型:实用新型
国别省市:51
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