阵列测试装置制造方法及图纸

在此公开了一种阵列测试装置。在所述装置中，用于检测基板是否存在缺陷的测试模块相对于基板在Ｘ－轴和Ｙ－轴方向上水平移动。因此，即使基板具有大面积，也可以有效地测试基板是否存在缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及阵列测试装置。
技术介绍
一般地，平板显示器(FPD)是比具有布劳恩显像管(Braim tube)的电视或监视 器更薄更轻的图像显示设备。已经开发并使用的平板显示器的代表性实例是液晶显示器 (IXD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)。其中，IXD是这样的图像显示设备其通过向以矩阵方式排列的液晶单元单独提 供基于图像信息的数据信号，因此控制液晶单元的光传输性，显示希望的图像的显示设备。 由于LCD薄、轻并且也具有包括功率消耗和操作电压低的许多其它优点，因此它们被广泛 使用。以下将详细描述一般用于LCD的液晶显示面板的制造方法。首先，在上基板上形成彩色滤光片和共用电极。之后，在与上基板相对的下基板上 形成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。随后，将配向膜分别涂敷到上基板和下基板。然后，摩擦配向膜以便为将要在配向 膜之间形成的液晶层的液晶分子提供预倾角和排列方向。然后，通过向至少一个基板涂敷密封胶，形成密封胶图案，以便保持基板间的间 隙，防止液晶漏出和密封基板间的间隙。接着，在基板之间形成液晶层，从而完成液晶显示 面板。在上述过程中，例如通过检查栅极线或数据线是否断开或者检查像素单元是否显 色不佳，实施对具有TFT和像素电极的下基板(之后，称作“基板”)的缺陷测试操作。通常，包括光源、调制器和照相机的阵列测试装置被用来测试基板。当对调制器和 基板施加预定量的压力时，调制器接近基板。随后，如果基板不存在缺陷，则在调制器和基 板之间形成电场。然而，如果基板存在缺陷，则在调制器和基板之间不形成电场，或者电场 强度低。阵列测试装置测量调制器和基板之间的电场强度并使用所测量到的电场强度确定 基板是否存在缺陷。近来，为了提高液晶显示面板的生产效率，使用了具有大面积的大尺寸基板。因 此，需要能快速且准确地测试这种大尺寸基板的缺陷的方法。
技术实现思路
因此，牢记现有技术中出现的上述问题而完成了本专利技术，并且本专利技术的目的是提 供一种阵列测试装置，其中，用于检测基板是否存在缺陷的测试模块相对于所述基板在 X-轴方向上和Y-轴方向上水平移动，使得即使所述基板具有大面积，也可以有效地测试所 述基板是否存在缺陷。为了实现以上目的，本专利技术提供了一种阵列测试装置，包括其上放置有基板的托 台；在其上支撑所述托台的框架；设置在所述框架上以在Y-轴方向上可移动的支撑杆；以 及设置在所述支撑杆上以在X-轴方向上可移动的测试模块。所述测试模块可以包括光源；调制器，具有邻近所述基板放置的反射层，和根据 形成于所述基板和所述调制器之间的电场强度而改变光的透过率的电光材料层；以及照相 机，捕获所述调制器的图像。所述反射层可以由反射膜或反光玻璃制成。所述电光材料层可以由LC(液晶)或 PDLC (聚合物分散液晶)制成。所述阵列测试装置还可以包括反作用力抵消设备，用于抵消所述测试模块移动所 产生的反作用力。另外，定子可被设置在所述支撑杆上并在所述支撑杆的长度方向上延伸预定的长 度。移动件可被设置在所述测试模块上并与所述定子联接，以可沿着所述定子移动。所述 反作用力抵消设备可包括质量体，设置在与所述框架间隔开预定距离的位置处；以及接 合组件，将所述质量体连接到所述定子，以将由于所述测试模块移动而施加于所述定子的 反作用力传送到所述质量体。所述接合组件可包括连接器，从所述定子在X-轴方向上延伸预定的长度；以及 由所述质量体支撑的连接导引件。所述连接器可联接到所述连接导引件，以在Y-轴方向上 可移动。所述测试模块还可包括振动传感器，其感测所述测试模块移动时所产生的振动量。在此情况下，定子可以设置在所述支撑杆上并在所述支撑杆的长度方向上延伸预 定的长度。移动件可设置在所述测试模块上并与所述定子联接，以可沿着所述定子移动。所 述阵列测试装置还可包括振动控制单元，其基于所述振动传感器感测的振动量来控制所述 移动件的操作。所述阵列测试装置还可包括反作用力抵消设备，用于抵消所述支撑杆移动所产生 的反作用力。另外，定子可设置在所述框架上并在Y-轴方向上延伸。移动件可设置在所述支撑 杆上并与所述定子联接，以可沿着所述定子移动。所述反作用力抵消设备可包括质量体， 设置在与所述框架间隔开预定距离的位置处；以及连接器，将所述质量体连接到所述定子， 以将由于所述支撑杆移动而施加于所述定子的反作用力传送到所述质量体。所述支撑杆还可包括振动传感器，其感测当所述支撑杆移动时所产生的振动量。在此情况下，定子可设置在所述框架上并在Y-轴方向上延伸。移动件可设置在所 述支撑杆上并与所述定子联接，以可沿着所述定子移动。所述阵列测试装置还可包括振动 控制单元，其基于所述振动传感器感测的振动量来控制所述移动件的操作。在根据本专利技术的阵列测试装置中，测试基板缺陷的测试模块被安装为可以在 X-轴和Y-轴方向上移动。因此，所述装置可以测试基板的整个面积上的缺陷而不需要在测 试期间水平移动基板。因此，本专利技术可以防止阵列测试装置的尺寸变得过大，以保证用于水 平移动基板的空间。此外，本专利技术可以有效地测试基板整个面积上的缺陷。另外，本专利技术的阵列测试装置包括反作用力抵消设备，其抵消测试模块移动所产 生的反作用力，从而减轻了测试模块移动时所产生的振动。因此，可以稳定且精确地操作所 述阵列测试装置。此外，在阵列测试装置中，测试模块包括振动传感器，其感测测试模块移动时所产生的振动量。因此，基于振动传感器测量到的振动量，振动控制单元控制测试模块的移动件 的操作。因此，进一步减轻了测试模块移动所产生的振动。由此，可以更加稳定且精确地操 作所述阵列测试装置。此外，本专利技术的阵列测试装置包括反作用力抵消设备，其抵消支撑杆移动所产生 的反作用力，因而减轻了支撑杆移动时所产生的振动。因此，可以更加稳定且精确地操作所 述阵列测试装置。此外，在阵列测试装置中，支撑杆包括振动传感器，其感测支撑杆移动时所产生的 振动量。因此，基于振动传感器测量到的振动量，振动控制单元控制支撑杆的移动件的操 作。因此，进一步减轻了支撑杆移动所产生的振动。由此，可以更加稳定且精确地操作所述 阵列测试装置附图说明从结合附图的以下详细描述中，将会更清楚地理解本专利技术的以上和其他目的、特 征和优点，在附图中图1是根据本专利技术的第一实施例的阵列测试装置的透视图；图2是示出图1的阵列测试装置的测试模块的示意图；图3是设置在图1的阵列测试装置中的基于软件的振动控制单元的控制方框图。图4是对设置在图1的阵列测试装置中的反作用力抵消设备的质量体的质量进行 设置的方法的流程图；以及图5是控制图1的阵列测试装置的方法的流程图。图6是根据本专利技术的第二实施例的阵列测试装置的透视图。具体实施例方式下面将参考附图详细描述根据本专利技术优选实施例的阵列测试装置。如图1所示，根据本专利技术第一实施例的阵列测试装置包括其上放置有基板S的托 台15，支撑托台15的框架10，以及设置在框架10上以在Y-轴方向上可移动并且在X轴方 向上延伸预定长度的支撑杆20。阵列测试装置还包括设置在支撑杆20上以便在X-轴方向 上可移动的测试模块30以及抵消由于测试模块30在X-轴方向上移动所产生的反作用力 的反作用力抵消设备50。支撑杆20设置于托台15上方本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种阵列测试装置，包括：托台，其上放置有基板；框架，在该框架上支撑所述托台；支撑杆，设置在所述框架上以在Ｙ－轴方向上可移动；以及测试模块，设置在所述支撑杆上以在Ｘ－轴方向上可移动。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴种贤，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]