划片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种划片装置，该划片装置可以包括：滑动部件，其构成为保持划片轮；第一驱动部，其向朝向基板的第一方向对滑动部件施加第一驱动力；以及第二驱动部，其向与第一方向相反的第二方向对滑动部件施加第二驱动力，而且可以以相当于滑动部件的自重和第一驱动力的合力与第二驱动力之差的加压力将划片轮加压到基板的表面上而在基板的表面形成划片线。线。线。

【技术实现步骤摘要】
划片装置


[0001]本技术涉及一种构成为在基板上形成划片线的划片(scribing)装置。

技术介绍

[0002]一般来讲，在平板显示器上使用的液晶显示面板、有机电致发光显示面板、无机电致发光显示面板、透射式投影仪基板、反射式投影仪基板等使用从诸如玻璃之类的脆性母玻璃面板(以下称为“基板”)切割成规定的大小的单位玻璃面板(以下称为“单位基板”)。
[0003]切割基板的工序包括划片工序，在该划片工序中，使划片轮一边沿着用于切割基板的假想的切割预定线对基板进行加压一边移动而形成划片线。
[0004]划片轮对基板施加加压力。加压力包括保持划片轮的滑动部件的自重和在驱动部产生的驱动力。
[0005]近来，对于切割厚度非常小的超薄板基板的技术的要求在增加。为了在薄的基板的表面形成划片线，有必要减小施加于划片轮的加压力。
[0006]虽然为了减小加压力而能够减小由驱动部产生的驱动力，但减小滑动部件的自重方面存在局限性。因此，存在不能将加压力调节成与滑动部件的自重相比小的加压力的问题。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种通过划片轮来能够以小于滑动部件的自重的加压力调节施加于基板表面的加压力的划片装置。
[0008]旨在达到上述目的的根据本技术的实施例的划片装置，可以包括：滑动部件，其构成为保持划片轮；第一驱动部，其向朝向基板的第一方向对滑动部件施加第一驱动力；以及第二驱动部，其向与第一方向相反的第二方向对滑动部件施加第二驱动力，且可以用一种加压力将划片轮加压到基板的表面上而在基板的表面形成划片线，其中，该加压力为滑动部件的自重和第一驱动力的合力与第二驱动力之差。
[0009]另外，旨在达到上述目的的根据本技术的实施例的划片装置，可以包括：加压单元，其包括以保持划片轮的方式构成的滑动部件；以及移动单元，其构成为使加压单元相对于基板移动，加压单元可以包括：第一驱动部，其向朝向基板的第一方向产生第一驱动力；第二驱动部，其向第一方向产生第二驱动力；以及方向转换部，其将第二驱动力的方向从第一方向转换到与第一方向相反的第二方向，且可以用一种加压力将划片轮加压到基板的表面上而在基板的表面形成划片线，其中，该加压力为滑动部件的自重和第一驱动力的合力与第二驱动力之差。
[0010]方向转换部可以包括：第一部件，其与滑动部件连接；第二部件，其与第二驱动部连接；以及连接部件，其连接于第一部件与第二部件之间，使得第一部件和第二部件朝彼此相反的方向移动。
[0011]第一部件、连接部件以及第二部件可以通过齿条
‑
齿轮连接构造或跷跷板连接构
造而相互连接。
[0012]连接部件可以构成为以位于第一部件与第二部件之间的旋转轴为中心旋转，旋转轴可以位于比第二部件更靠近第一部件的位置。
[0013]利用根据本技术的实施例的划片装置，则能够将通过划片轮来施加于基板的表面的加压力调节为小于滑动部件的自重的加压力，因此，能够在厚度小的基板的表面形成划片线而不会损坏基板。
附图说明
[0014]图1是示意性地图示了根据本技术第一实施例的划片装置的图。
[0015]图2是示意性地图示了根据本技术第一实施例的具备于划片装置的划片头的图。
[0016]图3至图5是依次图示了根据本技术第一实施例的划片装置的工作过程的图。
[0017]图6是示意性地图示了根据本技术第一实施例的划片装置的变形例的图。
[0018]图7是示意性地图示了根据本技术第一实施例的划片装置的另一变形例的图。
[0019]图8是示意性地图示了根据本技术第一实施例的划片装置的又一变形例的图。
[0020]图9是示意性地图示了根据本技术第二实施例的具备于划片装置的划片头的图。
[0021]图10至图12是依次图示了根据本技术第二实施例的划片装置的工作过程的图。
[0022](附图标记的说明)
[0023]50：划片头；61：划片轮；62：划片轮保持器；63：滑动部件；
[0024]64：第一驱动部；65：第二驱动部；66：方向转换部。
具体实施方式
[0025]以下，参照附图对根据本技术的实施例的划片装置进行说明。
[0026]参照图1和图2，将传送用于执行划片工序的基板S的方向定义为Y轴方向，并将与基板S的传送的方向(Y轴方向)交叉的方向定义为X轴方向。而且，将与用于置放基板S的X
‑
Y平面垂直的方向定义为Z轴方向。另外，所谓划片线的用语是指在基板的表面沿着规定方向延伸地形成的槽和/或裂纹。而且，所谓切割预定线的用语是指将形成划片线的假想的线。
[0027]如图1和图2中所图示，根据本技术的第一实施例的划片装置能够包括载物台10、基板传送单元20以及划片单元30。
[0028]在载物台10上搭载基板S。载物台10发挥在基板S朝向划片单元30移动期间支撑基板S的作用。另外，载物台10在基板S上形成划片线的过程中能够发挥支撑基板S的作用。
[0029]例如，载物台10可以包括多个带(belt)13。多个带13可以配置成在X轴方向上彼此隔开。
[0030]本技术并不限定于载物台10包括多个带13的构成，在将构成为喷射气体而使基板S漂浮的空气工作台(table)用作载物台10的构成也能够适用本技术。
[0031]基板传送单元20构成为夹持基板S的传送方向上的后方侧端部、即、基板S的后端而传送基板S。基板传送单元20可以包括夹持基板S的后端的夹持模块21和沿Y轴方向延伸而引导夹持模块21的移动的导轨22。
[0032]在夹持模块21与导轨22之间能够具备通过气压或液压来工作的执行器(actuator)、利用电磁相互作用工作的线性马达、或诸如滚珠丝杠单元之类的直线移动单元。因此，在夹持模块21夹持了基板S的后端的状态下，夹持模块21借助于直线移动单元沿着导轨22在Y轴方向上移动，由此，能够沿Y轴方向传送基板S。此时，带13与夹持模块21的移动同步。因此，带13以与夹持模块21相同的速度被驱动，从而能够稳定地支撑基板S的下表面。
[0033]夹持模块21可以是对基板S的后端以物理方式加压而加以保持的夹具。但本技术并不限定于此，对于构成为夹持模块21具备与真空源连接的真空孔而吸附基板S的后端的构成也能够适用本技术。
[0034]可以在X轴方向上具备多个导轨22。多个导轨22可以在X轴方向上彼此隔开。多个导轨22可以配置于多个带13之间。导轨22发挥引导夹持模块21沿Y轴方向移动的作用。
[0035]划片单元30构成为在由基板传送单元20所传送的基板S上沿X轴方向和/或Y轴方向形成划片线。
[0036]划片单元30可以包括沿X轴方向延伸的框架40和以能够沿X轴方向移动的方式设置于框架40的划片头50。
[0037]如图2中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种划片装置，其特征在于，包括：滑动部件，其构成为保持划片轮；第一驱动部，其向朝向基板的第一方向对上述滑动部件施加第一驱动力；以及第二驱动部，其向与上述第一方向相反的第二方向对上述滑动部件施加第二驱动力，且以相当于上述滑动部件的自重和上述第一驱动力的合力与上述第二驱动力之差的加压力将上述划片轮加压到上述基板的表面而在上述基板的表面形成划片线。2.一种划片装置，其特征在于，包括：加压单元，其包括以保持划片轮的方式构成的滑动部件；以及移动单元，其构成为使上述加压单元相对于基板移动，上述加压单元包括：第一驱动部，其向朝向上述基板的第一方向产生第一驱动力；第二驱动部，其向上述第一方向产生第二驱动力；以及方向转换部，其将上述第二驱动力的方向从上述第一方向转换到与上述第一方向相反的第二方向，且以相当于上述滑动部...

【专利技术属性】
技术研发人员：方圭龙，金贤正，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：新型
国别省市：