划片装置制造方法及图纸

根据本实用新型专利技术的实施例的划片装置，能够包括：载物台，其构成为支撑基板；基板对齐单元，其构成为使载物台倾转而使装载于载物台的基板对齐；以及划片单元，其构成为在装载于载物台的基板上形成划片线，载物台能够构成为在基板向载物台的倾斜的一侧移动的过程中向基板喷射气体而使基板上浮，并在划片单元在基板上形成划片线的过程中停止向基板的气体的喷射。射。射。

【技术实现步骤摘要】
划片装置


[0001]本技术涉及一种为了切割基板而构成为在基板上形成划片线的划片装置(SCRIBING APPARATUS)。

技术介绍

[0002]一般来讲，在平板显示器上使用液晶显示面板、有机电致发光显示面板、无机电致发光显示面板、透射式投影仪基板、反射式投影仪基板。平板显示器使用从诸如玻璃之类的脆性母玻璃面板(基板)切割成规定的大小的单位玻璃面板(单位基板)。
[0003]切割基板的工序包括划片工序。划片工序在基板上沿着假想的预定线一边对划片轮进行加压一边使划片轮移动而形成划片线。
[0004]另一方面，在基板上形成划片线的工序之前需要使基板对齐的工序。根据现有技术，在对齐基板的工序中使用诸如相机(camera)、镜子之类的光学设备。因此，存在对齐基板所需的构成复杂且对齐基板的方法复杂之类的缺点。

技术实现思路

[0005](所要解决的问题)
[0006]本技术的目的在于提供一种使用简单的构造就能够使基板有效地对齐而不使用构造和控制方法复杂的光学设备的划片装置。
[0007](解决问题的方案)
[0008]旨在达到上述目的的根据本技术的实施例的划片装置能够包括：载物台(stage)，其构成为支撑基板；基板对齐单元，其构成为使载物台倾转而使装载于载物台的基板对齐；以及划片单元，其构成为在装载于载物台的基板形成划片线，载物台能够构成为在基板向载物台的倾斜的一侧移动的过程中向基板喷射气体而使基板上浮并在划片单元在基板形成划片线的过程中停止向基板的气体的喷射。
>[0009]另外，旨在达到上述目的的根据本技术的实施例的划片装置能够包括：载物台，其构成为支撑基板；基板对齐单元，其构成为使载物台倾转而使装载于载物台的基板对齐；以及划片单元，其构成为在装载于载物台的基板形成划片线，载物台能够构成为在基板向载物台的倾斜的一侧移动的过程中使基板上浮并在划片单元在基板形成划片线的过程中吸附基板。
[0010]另外，旨在达到上述目的的根据本技术的实施例的划片装置能够包括：载物台，其构成为支撑基板；基板输送单元，其构成为将基板装载于载物台；基板对齐单元，其构成为使载物台倾转而使装载于载物台的基板对齐；以及划片单元，其构成为在装载于载物台的基板形成划片线，基板输送单元在划片单元在基板形成划片线的过程中能够支撑基板。
[0011]基板输送单元能够在载物台倾斜的状态下将基板装载于载物台。
[0012]基板对齐单元能够包括：载物台倾转(tilting)模块，其使载物台倾转以使载物台
的一端向下倾斜；以及止动器(stopper)模块，其位于邻近载物台的一端的位置。
[0013]止动器模块能够包括：止动器部件，其构成为与基板的一端接触；以及移动单元，其使止动器部件沿传送基板的方向或与传送基板的方向正交的方向移动。
[0014](技术效果)
[0015]利用根据本技术的实施例的划片装置，则使用简单的构造就能够使基板有效地对齐而不使用构造和控制方法复杂的光学设备。
附图说明
[0016]图1是示意性地图示了根据本技术实施例的划片装置的俯视图。
[0017]图2是示意性地图示了根据本技术实施例的划片装置的侧视图。
[0018]图3是示意性地图示了根据本技术实施例的划片装置的侧视图。
[0019]图4至图7是依次图示了在根据本技术实施例的划片装置中相对于X轴对齐基板的过程的图。
[0020]图8至图10是依次图示了在根据本技术实施例的划片装置中相对于Y轴对齐基板的过程的图。
[0021]图11是示意性地图示了在根据本技术实施例的划片装置中基板已在载物台上被对齐的状态的图。
[0022]图12是示意性地图示了在根据本技术实施例的划片装置中在基板上形成划片线的过程的图。
[0023]图13至图16是图示了在根据本技术实施例的划片装置中基板装载于载物台上的过程的其它例子的图。
[0024](附图标记的说明)
[0025]10：载物台；20：划片单元；30：基板输送单元；
[0026]40：基板传送单元；50：基板对齐单元。
具体实施方式
[0027]以下，参照附图对根据本技术实施例的划片装置进行说明。
[0028]参照图1至图3，将传送要形成划片线的基板S的方向定义为Y轴方向。而且，将与基板S的传送方向(Y轴方向)垂直的方向定义为X轴方向。而且，将与用于置放基板的X
‑
Y平面垂直的方向定义为Z轴方向。另外，所谓划片线的用语是指在基板S的表面沿着规定方向延伸地形成的槽和/或裂纹(crack)。
[0029]如图1至图3中所图示，根据本技术的实施例的划片装置能够包括基座B、载物台10、划片单元20、基板输送单元30、基板传送单元40、基板对齐单元50以及控制单元(未图示)。
[0030]基座B发挥支撑构成划片装置的各种构件的作用。
[0031]控制单元发挥控制划片装置的构件的动作的作用。
[0032]载物台10构成为支撑基板S。
[0033]在载物台10中形成有多个孔101形成。空气供给器11与载物台10的多个孔101连接。从空气供给器11供给的气体向多个孔101喷出，由此基板S能够在载物台10上上浮。
[0034]另外，诸如真空发生器之类的负压源12与载物台10的多个孔101连接。通过负压源12来能够在多个孔101中形成负压。因此，基板S能够附着并固定于载物台10。
[0035]在基板S在载物台10上移动的过程中，基板S能够从载物台10上浮。在基板S形成划片线的过程中，基板S能够附着于载物台10。
[0036]划片单元20构成为在基板S的第一表面(图2中的基板S的上表面)和第二表面(图2中的基板S的下表面)形成划片线。但是，本技术并不限定于此。例如，划片单元20能够构成为仅在基板S的第一表面和第二表面中的一个表面形成划片线。
[0037]划片单元20能够包括第一支撑件21、第一划片头22、第二支撑件23以及第二划片头24。
[0038]第一支撑件21沿X轴方向延伸。
[0039]第一划片头22以能够沿X轴方向移动的方式设置于第一支撑件21。
[0040]第二支撑件23在第一支撑件21的下方与第一支撑件21平行地沿X轴方向延伸。
[0041]第二划片头24以能够沿X轴方向移动的方式设置于第二支撑件23。
[0042]在第一支撑件21与第二支撑件23之间能够形成供基板S通过的空间。第一支撑件21和第二支撑件23能够作为单独的部件制作之后组装，或者能够制作成一体。
[0043]在第一划片头22与第一支撑件21之间能够具备直线移动单元。直线移动单元构成为与第一划片头22连接而使第一划片头22沿X轴方向移动。例如，直线移动单元能够由使用气压或液压的执行器(ac本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种划片装置，其特征在于，包括：载物台，其构成为支撑基板；基板对齐单元，其构成为使上述载物台倾转而对齐装载于上述载物台的上述基板；以及划片单元，其构成为将划片线形成在装载于上述载物台的上述基板，上述载物台构成为在上述基板向上述载物台的倾斜的一侧移动的过程中向上述基板喷射气体而使上述基板向上浮并在上述划片单元将划片线形成在上述基板的过程中停止向上述基板的气体的喷射。2.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，上述基板对齐单元包括：载物台倾转模块，其使上述载物台倾转以使上述载物台的一端向下倾斜；以及止动器模块，其位于邻近上述载物台一端的位置。3.根据权利要求2所述的划片装置，其特征在于，上述止动器模块包括：止动器部件，其构成为与上述基板的一端接触；以及移动单元，其使上述止动器部件沿传送上述基板的方向或与传送上述基板的方向正交的方向移动。4.一种划片装置，其特征在于，包括：载物台，其构成为支撑基板；基板对齐单元，其构成为使上述载物台倾转而对齐装载于上述载物台的上述基板；以及划片单元，其构成为将划片线形成在装载于上述载物台的上述基板，上述载物台构成为在上述基板向上述载物台的倾斜的一侧移动的过程中使上述基板向上浮并在上述划片单元将划片线形成在上述基板的过程中吸附上述基板。5.根据权利要求4所述的划片装置，其特征在于，上述基板对齐单元包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：方圭龙，金贤正，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：新型
国别省市：