本实用新型专利技术公开了一种划片装置，能够包括：划片轮，其构成为以能够旋转的方式安装于划片轮保持器，且在基板上形成划片线；划片轮旋转部件，其构成为配置于划片轮能够接近的位置，且与划片轮接触而使划片轮旋转；以及抽吸口，其构成为配置成邻近划片轮旋转部件，且抽吸划片轮旋转部件周围的空气。吸划片轮旋转部件周围的空气。吸划片轮旋转部件周围的空气。
【技术实现步骤摘要】
划片装置
[0001]本技术涉及一种构成为为了切割基板而将划片线形成于基板的划片装置(SCRIBING APPARATUS)。
技术介绍
[0002]一般来讲，在平板显示器上使用液晶显示面板、有机电致发光显示面板、无机电致发光显示面板、透射式投影仪基板、反射式投影仪基板。平板显示器使用从诸如玻璃之类的脆性母玻璃面板(基板)切割成规定的大小的单位玻璃面板(单位基板)。
[0003]切割基板的工序包括划片工序。划片工序在基板上沿着假想的预定线一边对划片轮进行加压一边使划片轮移动而形成划片线。
[0004]在基板上形成划片线的工序中，划片轮或基板在划片轮与基板的表面接触的状态下移动。此时，划片轮一边旋转(滚动)一边将划片线形成于基板。
[0005]但是，由于各种原因，尤其是在划片轮在划片线的起始点并不适宜地旋转的情况下，存在不能在基板上准确地形成划片线的问题。
技术实现思路
[0006](所要解决的问题)
[0007]本技术的目的在于提供一种划片装置，其在划片工序之前使划片轮预先旋转，从而能够使划片轮在划片工序中更可靠地旋转。
[0008](解决问题的方案)
[0009]旨在达到上述目的的根据本技术的实施例的划片装置能够包括：划片轮，其构成为以能够旋转的方式安装于划片轮保持器且在基板形成划片线；划片轮旋转部件，其构成为配置于划片轮能够接近的位置且与划片轮接触而使划片轮旋转；以及抽吸口，其构成为配置成邻近划片轮旋转部件且抽吸划片轮旋转部件周围的空气。
[0010]另外，根据本技术的实施例的划片装置进一步包括：气体供给器，其构成为供给气体；气动马达，其与划片轮旋转部件连接，且通过从气体供给器供给的气体的压力而产生使划片轮旋转部件旋转的旋转力；以及负压发生器，其与抽吸口连接，且通过从气体供给器供给的气体的压力而在抽吸口产生负压。
[0011]抽吸口的内径可以大于划片轮旋转部件的外径。
[0012]抽吸口的内径可以大于划片轮的外径与划片轮旋转部件的外径之和。
[0013]划片轮旋转部件的旋转中心轴与划片轮的旋转中心轴可以彼此隔开。
[0014]划片轮旋转部件的旋转所引起的划片轮的旋转速度可以大于在基板形成划片线时的划片轮的旋转速度。
[0015]划片轮的一部分可以从划片轮保持器突出，且在划片轮旋转部件的外周可以形成供划片轮的突出的一部分插入的插入槽。
[0016](技术效果)
[0017]利用根据本技术的实施例的划片装置，则在划片工序之前使划片轮预先旋转，从而能够使划片轮在划片工序中更可靠地旋转。因此，能够在基板更准确地形成划片线。因此，能够提高沿着划片线分割的基板的切割面的质量。
附图说明
[0018]图1是示意性地图示了根据本技术第一实施例的划片装置的俯视图。
[0019]图2和图3是示意性地图示了根据本技术第一实施例的划片装置的一部分的侧视图。
[0020]图4是根据本技术第一实施例的具备于划片装置的划片轮旋转单元的气动回路图。
[0021]图5是示意性地图示了根据本技术第一实施例的具备于划片装置的划片轮和划片轮旋转单元的图。
[0022]图6是示意性地图示了根据本技术第二实施例的具备于划片装置的划片轮和划片轮旋转单元的图。
[0023]图7是示意性地图示了根据本技术第三实施例的具备于划片装置的划片轮和划片轮旋转部件的图。
[0024]图8和图9是示意性地图示了根据本技术第四实施例的具备于划片装置的划片轮和划片轮旋转部件的图。
[0025](附图标记的说明)
[0026]32：划片头；33：划片轮；34：划片轮保持器；70：划片轮旋转单元；
[0027]71：划片轮旋转部件；72：抽吸口；73：气体供给器；74：气动马达；
[0028]75：负压发生器；76：调节器。
具体实施方式
[0029]以下，参照附图对根据本技术的实施例的划片装置进行说明。
[0030]以下，将要形成划片线的基板的传送方向定义为Y轴方向。将与基板的传送方向(Y轴方向)垂直的方向定义为X轴方向。而且，将与置放基板的X
‑
Y平面垂直的方向定义为Z轴方向。另外，所谓划片线的用语是指在基板S的表面沿着规定方向延伸地形成的槽和/或裂纹(crack)。
[0031]如图1至图3中所图示，根据本技术的第一实施例的划片装置能够包括划片单元30、第一传送单元20、第二传送单元40以及划片轮旋转单元70。
[0032]第一传送单元20构成为向划片单元30传送基板。第一传送单元20能够包括第一载物台21、夹持部件22、支撑杆23以及导轨24。
[0033]第一载物台21发挥支撑基板的作用。作为一个例子，第一载物台21能够由在X轴方向上彼此隔开的多个带(belt)构成。作为另一个例子，虽然未图示，但第一载物台21具备与气体供给源连接而喷射气体的多个气体喷射孔，且能够由朝向基板的下表面喷射气体而使基板漂浮的漂浮工作台(table)构成。作为又一个例子，虽然未图示，但第一载物台21能够由一个带构成。
[0034]夹持部件22构成为夹持支撑于第一载物台21上的基板的尾端。
[0035]支撑杆23与夹持部件22连接且沿X轴方向延伸。
[0036]导轨24与支撑杆23连接且沿Y轴方向延伸。
[0037]在支撑杆23与导轨24之间能够具备通过气压或液压而工作的执行器、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或诸如滚珠丝杠(ball screw)单元之类的直线移动单元。因此，支撑杆23在夹持部件22夹持了基板的状态下通过直线移动单元来沿Y轴方向移动，由此，能够沿Y轴方向传送基板。此时，第一载物台21(例如，带)能够随着夹持部件22的移动而旋转并稳定地支撑基板。
[0038]夹持部件22可以是将基板加压而保持的夹具。作为另一个例子，夹持部件22能够构成为具备与真空源连接的真空孔而吸附基板。
[0039]另一方面，在本技术的第一实施例中对于如下构成进行了说明：在基板装载于第一载物台21的状态下，夹持部件22夹持基板的尾端而沿Y轴方向移动，由此基板沿Y轴方向移动。
[0040]但是，本技术并不限定于这种构成。例如，划片装置能够包括X轴驱动单元、Y轴驱动单元以及旋转单元。X轴驱动单元能够构成为使第一载物台21沿X轴方向移动。Y轴驱动单元能够构成为使第一载物台21沿Y轴方向移动。旋转单元能够构成为使第一载物台21以Z轴为中心旋转。
[0041]根据这种构成，X轴驱动单元使第一载物台21沿X轴方向移动，由此，装载于第一载物台21的基板能够沿X轴方向移动。另外，Y轴驱动单元使第一载物台21沿Y轴方向移动，由此，装载于第一载物台21的基板能够沿Y轴方向移动。另外，旋转单元使第一载物台21以Z轴为中心旋转，由此，装载于第一载本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种划片装置，其特征在于，包括：划片轮，其构成为以能够旋转的方式安装于划片轮保持器且将划片线形成于基板；划片轮旋转部件，其构成为配置于上述划片轮能够接近的位置且与上述划片轮接触而使上述划片轮旋转；以及抽吸口，其构成为配置成邻近上述划片轮旋转部件且抽吸上述划片轮旋转部件周围的空气。2.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，进一步包括：气体供给器，其构成为供给气体；气动马达，其与上述划片轮旋转部件连接，且通过从上述气体供给器供给的气体的压力来产生使上述划片轮旋转部件旋转的旋转力；以及负压发生器，其与上述抽吸口连接，且通过从上述气体供给器供给的气体的压力来在上述抽吸口产生负压。3.根据权利要求1所述的划片装...
【专利技术属性】
技术研发人员：方圭龙，金贤正，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
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