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在此公开了一种阵列测试装置。在所述装置中，用于检测基板是否存在缺陷的测试模块相对于基板在Ｘ－轴和Ｙ－轴方向上水平移动。因此，即使基板具有大面积，也可以有效地测试基板是否存在缺陷。...
该专利属于塔工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过塔工程有限公司授权不得商用。

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