图案检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种图案检查装置，其不必使电极接触导电图案而可以判定交叉短路的位置。两个供电电极和两个检查电极呈大致十字状配置于传感器。该传感器沿着产生有交叉短路的交叉线移动。此时，供电电极向交叉线施加交流电压。另外，检查电极与对向的栅极线静电耦合。通过传感器的移动，检查电极移动到与产生交叉短路的栅极线相对向的位置时，在检查电极感应产生较大的交流电压。根据该感应产生的电压值的变化，判定交叉短路的位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于检査呈多列配置的导电图案的图案检査装置。
技术介绍
在液晶面板中，将被称为栅极线及Cs线的导电图案呈多列配置的 第一层、以及被称为源极线的导电图案呈多列配置的第二层进行叠加。 此时，源极线与栅极线及Cs线交叉配置，在第一层和第二层之间设置 有绝缘层，可防止源极线与栅极线及Cs线的电性连接。但是，在制造 过程中，在绝缘层上会产生微小的孔，即产生所谓的针孔，这样，源 极线与栅极线及Cs线有时会产生电性连接(短路)。在上述不同层之 间的导电图案的短路也称为交叉短路，从而导致液晶面板工作不良和 故障。另外，在交叉短路以外，也有时会产生邻接的导线图案电性连 接的普通短路、以及导线图案在中间断路的缺陷。上述的缺陷在制造 过程中需要明确判定并进行修理。因此，至今为止，有提出过一些用于判定该缺陷的技术。但是， 大多数都是将电极直接接触到导电图案而进行检査用信号提供的结 构；在所述的结构中，由于物理性的接触电极的导电图案，因此会导 致导电图案的损伤以及产生灰尘等问题。在下述文件1中，公开了利用静电耦合而判定导电图案有无缺陷 及其位置的技术。在该专利文件1中，无须使电极接触到导电图案， 即可向导电图案提供交流电压，同时检査作为捡查对象的导电图案所 产生的交流电压。通过上述结构，确实可防止导电图案的损伤以及产 生灰尘。专利文件1:特开2005-24518号公报
技术实现思路
但是，在该专利文件1中，关于所述的交叉短路的位置判定没有 具体的记载，另外，在专利文件1中，断路图案的判定以及判定其断 路位置时，检査电极是一个，施加交流电压的供电电极固定在设定的 位置。此时，通过检查电极、供电电极与断路位置之间的位置关系， 有时不能恰当地检査出断路。因此，本专利技术第一目的在于提供一种图案检査装置，其不必使电 极接触导电图案而可以判定交叉短路的位置。另外，本专利技术的第二目的在于提供一种图案检査装置，其可提高导电图案的检査精度。 解决问题的手段本专利技术的图案检査装置，是判定呈多列配置的第一导电图案、以及在与第一导电图案交叉的方向呈多列配置的第二导电图案电性连接的交叉短路位置的图案检査装置，其特征在于，具备有供电电极， 其与产生有交叉短路的第一导电图案即交叉图案之间保持微小的空间并沿该交叉图案移动，隔着上述微小空间通过静电耦合从而向交叉图 案施加交流电压；检查电极，其与供电电极联动，在与交叉图案平行的方向移动，通过与对向的第二导电图案静电耦合而接受来自该第二导电图案交流电压的感应；控制部，其根据检査电极所感应的交流电 压值的变化而判定交叉短路的位置。较理想的情形为，将供电电极沿移动方向邻接设置两个，将检査 电极在通过上述两个供电电极大致中间位置的线上邻接设置两个；另 一较理想的情形为，还具备有辅助电极，其设置于供电电极旁边，其 与该供电电极联动而移动，并向对向的导电图案施加与供电电极所施 加的交流电压电平相同、相位相差180。的第二交流电压。另一种本专利技术的图案检査装置，是能够检查衬底上呈多列配置的 导电图案的状态的图案检査装置，其特征在于，具备有第一供电电 极，其与衬底之间保持微小空间而移动，主要是向对向的导电图案施 加第一交流电压；第二供电电极，其与第一供电电极联动而移动，主 要是向对向的导电图案施加与第一交流电压相同电平、相位相差180° 的第二交流电压；检査电极，其与两个供电电极联动而移动，并对应 对向的导电图案感应产生的交流电压值而感应产生相应大小的交流电压；控制部，其根据检査电极所感应产生的交流电压值的变化而判断 导电图案的状态。较理想的情形为，两个供电电极在导电图案的端部旁边，沿配置 方向移动；将检査电极分别在两个供电电极的旁边各设置一个，与该 供电电极联动而移动；控制部，根据检査电极所感应产生的交流电压 值的变化，而从多个导电图案中判定产生断路的断路图案。另一较理想的情形为，在产生有断路的导电图案即断路图案的长 度方向上依次配置第一供电电极、检査电极、第二供电电极，并使这 三个电极沿所述断路图案移动，控制部根据检査电极所感应产生的交 流电压值的变化，而判定断路图案上产生断路的位置。另一较理想的情形为，将呈多列配置的第一导电图案、以及在与 第一图案交叉的方向呈多列配置的第二导电图案隔着绝缘层进行叠加 时，在第一导电图案的配置方向上依次配置第一供电电极、检査电极、 第二供电电极，并使这三个电极沿所述配置方向移动，控制部根据检 査电极所感应产生的交流电压值的变化，而判定与第二导电图案形成 短路的第一导电图案即交叉图案。专利技术效果在本专利技术的图案检査装置中，电极与导电图案之间通过静电耦合 进行电性连接，从而无须使电极接触导电图案而可判定交叉短路的位 置。另外，在本专利技术的图案检査装置中，同时向导电图案施加互相反 相的交流电压，因而，面板整体的电位大致稳定为O，从而可进一步提 高导电图案的检査精度。附图说明图1是本专利技术第一实施方式所述的图案检査装置的概况俯视图；图2是图案检査装置的概况侧视图；图3是表示其它的电极配置形式的一个示例图；图4是本专利技术第二实施方式所述的图案检査装置的概况俯视图；图5是本专利技术第三实施方式所述的图案检査装置的概况俯视图；图6是本专利技术第四实施方式所述的图案检查装置的概况俯视图；图7是本专利技术第五实施方式所述的图案检査装置的概况俯视图; 图8是表示使用图案检査装置进行交叉线判定时模样的视图。符号说明10图案检査装置12传感器14、16 供电电极18、20 检査电极22、24交流电源26、28 放大器50液晶面板52珊极线54a交叉线54源极线56绝缘层60导电图案62断路图案64短路图案具体实施方式下面，关于本专利技术的实施方式参照图示进行说明。在以下的说明 中，将用于液晶面板等上而在玻璃衬底上呈多列配置的导电图案作为 检查对象。但是，只要是呈多列配置的导电图案，也可以将用于液晶 面板以外装置上的导电图案作为检査对象。图1是本专利技术第一实施方式的图案检查装置10的概况俯视图。另 外，图2是其概况侧视图。该图案检查装置10是适用于判定交叉短路 位置情况的图案检査装置。在这里，在对该图案检査装置进行详细说 明之前，先对交叉短路进行简单说明一般的液晶面板50等，是由将被称为栅极线52的导电图案呈多 列配置的第一层、以及被称为源极线54的导电图案呈多列配置的第二 层进行叠加而构成。第一层的栅极线52与第二层的源极线54相互交 叉配置。在该第一层和第二层之间设置有绝缘层56，以防止源极线54与栅极线52的电性连接(短路)。但是，由于种种原因，在绝缘层56上 会产生微小的孔(针孔)，通过这些针孔，源极线54与栅极线52会有 产生电性连接的情况。该栅极线52和源极线54的电性相连称为交叉 短路。所述交叉短路成为液晶面板50工作不良和故障的原因。因此， 在液晶面板50制造过程的步骤中，必须要明确判定该交叉短路并进行 修理。在判定所述交叉短路时，首先，从多条源极线54中判定存在交叉 短路CS的源极线54，作为交叉线(交叉图案)54a。接着，从已经判 定的交叉线54a上判定存在交叉短路CS的位置。本实施方式的图案检 査装置10构成为适用于判定交叉线54后，判定存在于该交叉线54a 上的交叉短路CS的位置。另外，关于交叉线5本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案检查装置，可判定呈多列配置的第一导电图案、以及在与第一导电图案交叉的方向呈多列配置的第二导电图案电性连接的交叉短路的位置，其特征在于，具备：供电电极，其与产生有交叉短路的第一导电图案即交叉图案之间保持微小的空间并沿该交叉图案移动，隔着上述微小空间通过静电耦合从而向交叉图案施加交流电压；检查电极，其与供电电极联动，在与交叉图案平行的方向移动，通过与对向的第二导电图案静电耦合而接受来自该第二导电图案的交流电压的感应；控制部，其根据检查电极所感应产生的交流电压值的变化而判定交叉短路的位置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：板垣卓男，小原徹，
申请(专利权)人：株式会社联箭技术，
类型：发明
国别省市：JP[日本]